[發(fā)明專(zhuān)利]帶有折箱干涉測(cè)量換能器的微氣壓計(jì)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201380067937.4
• 申請(qǐng)日: 2013-12-18
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104884921B
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-07-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: S·奧利維爾;D·龐塞奧
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 原子能及能源替代委員會(huì)
• 主分類(lèi)號(hào): G01L7/06
• 分類(lèi)號(hào): G01L7/06;G01L11/02
• 代理公司: 中國(guó)國(guó)際貿(mào)易促進(jìn)委員會(huì)專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所 11038
• 代理人: 郭思宇

1.一種折箱式微氣壓計(jì)，包括：

參考底座(11、21)；

折箱(12、22)，該折箱的一端固定在該底座的參考表面上，該折箱的延伸方向與該參考表面垂直；

將該折箱的另一端封閉的蓋板(13、23)，以便使該折箱與外界密封隔離，折箱處于長(zhǎng)度變化與其周?chē)温暡ㄒ鸬膲毫ψ兓烧鹊臓顟B(tài)；

與蓋板連成一體的反射部件(14、24)；

被布置為與蓋板(13、23)正對(duì)著的干涉測(cè)量元件(16、26)，帶有正對(duì)著反射部件的、與折箱的延伸方向平行的輸入-輸出光路，能夠接收來(lái)自于光源的光束，并與底座的參考表面聯(lián)結(jié)，以便能向該反射部件發(fā)射部分光束并在該光束被該反射部件反射后接收該光束，該干涉測(cè)量元件采用集成技術(shù)，在同一基片內(nèi)包含光導(dǎo)路線(31、33、34、39、36、41、42、44、45)、光分離區(qū)和光合并區(qū)(32、38、35、40、43)，

該微氣壓計(jì)的干涉測(cè)量元件由二氧化硅基片構(gòu)成，二氧化硅基片中的一些區(qū)域經(jīng)過(guò)改變以便形成所述光導(dǎo)路線、分離區(qū)和合并區(qū)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微氣壓計(jì)，該微氣壓計(jì)的折箱(12)位于參考表面和干涉測(cè)量元件(16)之間，反射部件(14)安裝在蓋板的外表面上。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的微氣壓計(jì)，其中干涉測(cè)量元件通過(guò)布置在折箱周?chē)男A柱(11A)與參考表面連成一體。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的微氣壓計(jì)，該微氣壓計(jì)的小圓柱由金屬與因瓦合金混合制成，遵循比例使得小圓柱垂直于參考表面的熱膨脹系數(shù)與折箱的熱膨脹系數(shù)基本上相等。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微氣壓計(jì)，該微氣壓計(jì)的集成光學(xué)的反射部件(24)和干涉測(cè)量元件(26)位于折箱(22)的內(nèi)部，反射部件(24)安裝于蓋板的內(nèi)表面，并且干涉測(cè)量元件沿著底座的參考表面。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的微氣壓計(jì)，還包括圍繞折箱和干涉測(cè)量元件的外罩(58)，該外罩固定于底座上，包括在環(huán)繞折箱的殼體內(nèi)的空氣進(jìn)入孔(60)，以及能夠與單色且相干發(fā)光源和干涉測(cè)量信號(hào)處理設(shè)備光連接的連接導(dǎo)管(57)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的微氣壓計(jì)，微氣壓計(jì)的集成光學(xué)干涉測(cè)量元件包括用于輸入信號(hào)的輸入和四個(gè)輸出，即兩個(gè)正交干涉測(cè)量信號(hào)的輸出、一個(gè)部分輸入信號(hào)的輸出、一個(gè)反射部件反射后的信號(hào)的輸出。

8.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的微氣壓計(jì)，其中反射部件是平面鏡。

9.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的微氣壓計(jì)，其中折箱的腔體是粗真空。