[發(fā)明專利]基材輸送輥

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201380066932.X
• 申請日: 2013-11-25
• 公開（公告）號: CN104854256A
• 公開（公告）日: 2015-08-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 大庭尚樹;玉垣浩
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社神戶制鋼所
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C16/54
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 陳國慧;李婷

1.?一種基材輸送輥，在對基材的表面實(shí)施成膜處理的成膜裝置中能夠繞特定的中心軸旋轉(zhuǎn)地設(shè)置來輸送上述基材，其特征在于，所述基材輸送輥包括：

中央部段，設(shè)置在沿著上述中心軸的軸向上的中央部，具有第1外周面；一對端部段，分別位于上述中央部段的軸向的兩外側(cè)，分別具有與上述中心軸同軸的圓筒狀的第2外周面和第3外周面，這些第2外周面和第3外周面通過在上述基材與該第2外周面和第3外周面接觸的狀態(tài)下旋轉(zhuǎn)來輸送該基材，并且具有比該第1外周面的直徑大的直徑，以阻止該基材與上述第1外周面接觸；

中央部升降溫機(jī)構(gòu)，使上述中央部段的溫度變化；和

兩端部升降溫機(jī)構(gòu)，使上述各端部段的溫度與上述中央部段獨(dú)立地變化。

2.?如權(quán)利要求1所述的基材輸送輥，其特征在于，

上述中央部段和上述端部段相互分離。

3.?如權(quán)利要求1所述的基材輸送輥，其特征在于，

上述中央部段和上述端部段相互同步地旋轉(zhuǎn)。

4.?如權(quán)利要求2所述的基材輸送輥，其特征在于，

上述中央部段不旋轉(zhuǎn)，上述端部段旋轉(zhuǎn)。

5.?如權(quán)利要求2所述的基材輸送輥，其特征在于，

還包括在上述中央部段與上述端部段之間產(chǎn)生溫度梯度的溫度梯度部。