[發(fā)明專利]角加速度傳感器以及加速度傳感器

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201380064793.7
• 申請(qǐng)日: 2013-12-09
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104838274A
• 公開(kāi)（公告）日: 2015-08-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 北居正弘;市丸正幸
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社村田制作所
• 主分類號(hào): G01P15/12
• 分類號(hào): G01P15/12;H01L29/84
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 張?chǎng)?/td>

1.一種角加速度傳感器，其特征在于，

具有平板面，包括：

固定部；

錘部，該錘部相對(duì)于所述固定部被支承；

梁部，該梁部在所述平板面內(nèi)延伸，連接所述固定部以及所述錘部；以及

檢測(cè)元件，該檢測(cè)元件設(shè)置在所述梁部，檢測(cè)由所述梁部的平板面內(nèi)的彎曲產(chǎn)生的應(yīng)力，

所述梁部包括寬度方向凸部，該寬度方向凸部在所述寬度方向突出，

所述檢測(cè)元件在所述延伸方向上的位置同所述寬度方向凸部錯(cuò)開(kāi)。

2.一種角加速度傳感器，其特征在于，

具有平板面，包括：

固定部；

錘部，該錘部相對(duì)于所述固定部被支承；

梁部，該梁部在所述平板面內(nèi)延伸，連接所述固定部以及所述錘部；以及

檢測(cè)元件，該檢測(cè)元件設(shè)置在所述梁部，檢測(cè)由所述梁部的平板面內(nèi)的彎曲產(chǎn)生的應(yīng)力，

所述梁部包括貫通孔，該貫通孔在垂直于平板面的板厚方向上貫通，

所述檢測(cè)元件在所述延伸方向上的位置與所述貫通孔重疊。

3.如權(quán)利要求2所述的角加速度傳感器，其特征在于，

所述梁部包括寬度方向凸部，該寬度方向凸部在所述寬度方向突出，

所述檢測(cè)元件在所述延伸方向上的位置同所述寬度方向凸部錯(cuò)開(kāi)。

4.如權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的角加速度傳感器，其特征在于，

所述梁部中在平板面內(nèi)與延伸方向垂直的寬度方向的尺寸，大于所述梁部和所述固定部的連接部中所述寬度方向的尺寸。

5.如權(quán)利要求1～4中任一項(xiàng)所述的角加速度傳感器，其特征在于，

所述梁部包括：

固定部側(cè)梁端部，該固定部側(cè)梁端部連接所述固定部；

錘部側(cè)梁端部，該錘部側(cè)梁端部連接所述錘部；以及

平板部，該平板部連接在所述固定部側(cè)梁端部和所述錘部側(cè)梁端部之間，垂直于平板面的板厚方向的尺寸小于所述固定部側(cè)梁端部以及所述錘部側(cè)梁端部的所述板厚方向的尺寸，

所述檢測(cè)元件設(shè)置在所述平板部。

6.如權(quán)利要求5所述的角加速度傳感器，其特征在于，

所述平板部中所述寬度方向的尺寸大于所述固定部側(cè)梁端部中所述寬度方向的尺寸。

7.如權(quán)利要求1～6中任一項(xiàng)所述的角加速度傳感器，其特征在于，

所述錘部具有在所述寬度方向凹陷的凹部，

所述固定部具有在所述寬度方向突出、與所述凹部相對(duì)的凸部，

所述梁部在所述錘部的重心位置的附近連接所述凸部和所述凹部。

8.一種加速度傳感器，其特征在于，

具有平板面，包括：

固定部；

錘部，該錘部相對(duì)于所述固定部被支承；

梁部，該梁部在所述平板面內(nèi)延伸，連接所述固定部以及所述錘部；以及

檢測(cè)元件，該檢測(cè)元件設(shè)置在所述梁部，檢測(cè)由所述梁部的平板面內(nèi)的彎曲產(chǎn)生的應(yīng)力，

所述梁部包括寬度方向凸部，該寬度方向凸部在所述寬度方向突出，

所述檢測(cè)元件在所述延伸方向上的位置同所述寬度方向凸部錯(cuò)開(kāi)。

9.一種加速度傳感器，其特征在于，

具有平板面，包括：

固定部；

錘部，該錘部相對(duì)于所述固定部被支承；

梁部，該梁部在所述平板面內(nèi)延伸，連接所述固定部以及所述錘部；以及

檢測(cè)元件，該檢測(cè)元件設(shè)置在所述梁部，檢測(cè)由所述梁部的平板面內(nèi)的彎曲產(chǎn)生的應(yīng)力，

所述梁部包括貫通孔，該貫通孔在垂直于平板面的板厚方向上貫通，

所述檢測(cè)元件在所述延伸方向上的位置與所述貫通孔重疊。

10.如權(quán)利要求9所述的加速度傳感器，其特征在于，

所述梁部包括寬度方向凸部，該寬度方向凸部在所述寬度方向突出，

所述檢測(cè)元件在所述延伸方向上的位置同所述寬度方向凸部錯(cuò)開(kāi)。

11.如權(quán)利要求8～10中任一項(xiàng)所述的加速度傳感器，其特征在于，

所述梁部中在平板面內(nèi)與延伸方向垂直的寬度方向的尺寸，大于所述梁部和所述固定部的連接部中所述寬度方向的尺寸。