[發明專利]曝光裝置、曝光方法、器件制造方法、程序及記錄介質

在審

• 申請號: 201380064286.3
• 申請日: 2013-10-08
• 公開（公告）號: CN104838471A
• 公開（公告）日: 2015-08-12
• 發明（設計）人: 佐藤真路
• 申請（專利權）人: 株式會社尼康
• 主分類號: H01L21/027
• 分類號: H01L21/027;G03F7/20
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 陳偉;王娟娟

1.一種曝光裝置，其一邊使襯底相對于從光學部件的射出面射出的曝光用光沿掃描方向移動，一邊經由所述射出面與所述襯底之間的液體并利用所述曝光用光對所述襯底的多個曝光區域的每一個依次進行曝光，所述曝光裝置的特征在于，包括：

能夠形成所述液體的液浸空間的液浸部件，該液浸部件包括配置在所述光學部件的周圍的至少一部分中的第1部件、和配置在所述光學部件的周圍的一部分中的第2部件；

能夠使所述第2部件相對于所述第1部件移動的驅動裝置；和

控制所述驅動裝置的控制裝置，

在所述襯底中一個列所包含的沿與所述掃描方向交叉的方向配置的多個曝光區域的每一個被依次曝光前或曝光后，進行對與所述一個列不同的列的曝光區域的曝光，

所述控制裝置控制所述驅動裝置，以使得從同一列所包含的第1曝光區域的曝光結束到第2曝光區域的曝光開始的所述襯底的第1移動期間中的、所述第2部件的第1動作與從某列的第3曝光區域的曝光結束到另一列的第4曝光區域的曝光開始的所述襯底的第2移動期間中的、所述第2部件的第2動作不同。

2.一種曝光裝置，其一邊使襯底相對于從光學部件的射出面射出的曝光用光沿掃描方向移動，一邊經由所述射出面與所述襯底之間的液體并利用所述曝光用光對所述襯底的多個曝光區域的每一個依次進行曝光，所述曝光裝置的特征在于，包括：

能夠形成所述液體的液浸空間的液浸部件，該液浸部件包括配置在所述光學部件的周圍的至少一部分中的第1部件、和配置在所述曝光用光的光路的周圍的至少一部分中的第2部件，所述第1部件具有第1下表面，所述第2部件具有隔著間隙而與所述第1下表面相對的第2上表面以及能夠與所述襯底相對的第2下表面；

能夠使所述第2部件相對于所述第1部件移動的驅動裝置；和

控制所述驅動裝置的控制裝置，

在所述襯底中一個列所包含的沿與所述掃描方向交叉的方向配置的多個曝光區域的每一個被依次曝光前或曝光后，進行對與所述一個列不同的列的曝光區域的曝光，

所述控制裝置控制所述驅動裝置，以使得從同一列所包含的第1曝光區域的曝光結束到第2曝光區域的曝光開始的所述襯底的第1移動期間中的、所述第2部件的第1動作與從某列的第3曝光區域的曝光結束到另一列的第4曝光區域的曝光開始的所述襯底的第2移動期間中的、所述第2部件的第2動作不同。

3.根據權利要求1或2所述的曝光裝置，其特征在于，

所述第3曝光區域包含在與所述第1曝光區域相同的列中。

4.根據權利要求1至3中任一項所述的曝光裝置，其特征在于，

所述第2曝光區域關于與所述掃描方向交叉的方向而配置在所述第1曝光區域的相鄰位置。

5.根據權利要求1至4中任一項所述的曝光裝置，其特征在于，

包含所述第4曝光區域的列關于所述掃描方向而配置在包含所述第3曝光區域的列的相鄰位置。

6.根據權利要求1至5中任一項所述的曝光裝置，其特征在于，

在所述第1移動期間與所述第2移動期間，所述第2部件的移動方向是不同的。

7.根據權利要求6所述的曝光裝置，其特征在于，

所述移動方向包含與所述掃描方向交叉的方向。

8.根據權利要求6或7所述的曝光裝置，其特征在于，

在所述第1移動期間，所述第2部件關于與所述掃描方向交叉的方向而向一側移動，

在所述第2移動期間，所述第2部件關于與所述掃描方向交叉的方向而向一側及另一側移動。

9.根據權利要求8所述的曝光裝置，其特征在于，

在所述第1移動期間，所述襯底關于與所述掃描方向交叉的方向而向一側移動，

在所述第2移動期間，所述襯底關于與所述掃描方向交叉的方向而向一側及另一側移動。

10.根據權利要求1至9中任一項所述的曝光裝置，其特征在于，

在所述第1移動期間與所述第2移動期間，所述第2部件的移動距離是不同的。

11.根據權利要求10所述的曝光裝置，其特征在于，

所述移動距離包括關于與所述掃描方向交叉的方向的移動距離。