[發明專利]基于電荷積分的靜電夾監測器

在審

• 申請號: 201380063897.6
• 申請日: 2013-12-24
• 公開（公告）號: CN104854687A
• 公開（公告）日: 2015-08-19
• 發明（設計）人: 愛德華·麥金泰爾;愛德華·蘭德尼;納撒尼爾·羅賓遜;W·戴維斯·李
• 申請（專利權）人: 艾克塞利斯科技公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/683;H01L21/687
• 代理公司: 北京中原華和知識產權代理有限責任公司 11019
• 代理人: 壽寧;張華輝

1.一種靜電夾監測系統，其包括：

靜電夾，其配置成通過一個或多個電極選擇性地將工件靜電夾持至與其相關的夾持面；

電性連接至所述靜電夾的電源，其中該電源配置成選擇性地向所述靜電夾的所述一個或多個電極供應鉗制電壓；

數據采集系統，其可操作地耦接至所述電源并配置以測量供應至所述一個或多個電極的電流，從而定義經測電流；

控制器，其配置成對所述經測電流在時間上積分，從而確定與所述工件及所述靜電夾之間夾持力相關的電荷值；

存儲器，其配置成存儲多個夾持周期中與所述工件及靜電夾之間夾持力相關的電荷值，從而定義多個電荷值，其中所述控制器進一步配置成基于當前確定的電荷值與所述多個電荷值的對比來確定所述靜電夾的夾持能力。

2.如權利要求1所述的靜電夾監測系統，其中所述控制器配置成基于所述當前確定的電荷值及所述多個電荷值來確定所述靜電夾的夾持能力的當前狀態。

3.如權利要求2所述的靜電夾監測系統，其中所述控制器配置成基于所述當前確定的電荷值與所述多個電荷值的對比來確定所述靜電夾的夾持能力的當前狀態。

4.如權利要求1所述的靜電夾監測系統，其中所述控制器配置成基于所述當前確定的電荷值及所述多個電荷值來預測所述靜電夾的夾持能力的未來狀態。

5.如權利要求4所述的靜電夾監測系統，其中所述控制器配置成基于所述當前確定的電荷值與所述多個電荷值的對比來預測所述靜電夾的夾持能力的未來狀態。

6.如權利要求1所述的靜電夾監測系統，其中所述控制器進一步配置成基于所述當前確定的電荷值與所述多個電荷值的對比來確定所述靜電夾與所述工件之間的夾持力。

7.如權利要求1所述的靜電夾監測系統，其中所述控制器包括數值積分器，其配置成執行所述經測電流的數值積分。

8.如權利要求1所述的靜電夾監測系統，其中所述電源包括交流電源，并且所述數據采集系統進一步配置成測量供應至所述一個或多個電極的電流的極性。

9.如權利要求1所述的靜電夾監測系統，其中所述靜電夾包括三相靜電夾，并且所述電源配置成選擇性地向所述靜電夾的所述一個或多個電極交替供應三相鉗制電壓。

10.一種用于監測靜電夾的夾持能力的方法，該方法包括：

向靜電夾的一個或多個電極施加鉗制電壓，從而將工件靜電吸引至所述靜電夾的夾持面；

測量與施加至所述一個或多個電極的所述鉗制電壓相關的電流，從而定義經測電流；

對所述經測電流在時間上積分，從而定義與所述工件及所述靜電夾之間夾持力相關的電荷值；

將所述電荷值存儲在存儲器中；以及

基于所述電荷值確定所述靜電夾的夾持能力。

11.如權利要求10所述的方法，其中確定所述靜電夾的夾持能力包括基于當前確定的電荷值與先前存儲的多個電荷值確定所述靜電夾的夾持能力的當前狀態。

12.如權利要求11所述的方法，其中確定所述靜電夾的夾持能力的當前狀態包括當前確定的電荷與所述多個電荷值的對比。

13.如權利要求12所述的方法，其中確定所述靜電夾的夾持能力包括識別當前確定的電荷值中相較于先前存儲的多個電荷值的異常。

14.如權利要求10所述的方法，其中確定所述靜電夾的夾持能力包括基于當前確定的電荷值與先前存儲的多個電荷值預測所述靜電夾的夾持能力的未來狀態。

15.如權利要求14所述的方法，其中預測所述靜電夾的夾持能力的未來狀態包括形成先前存儲的多個電荷值與當前確定的電荷值的模型。

16.如權利要求10所述的方法，其中確定所述靜電夾的夾持能力包括基于所述電荷值確定所述靜電夾與所述工件之間的夾持力。

17.如權利要求16所述的方法，其中確定夾持力進一步基于先前存儲的多個電荷值。