[發明專利]具備防振裝置的曝光裝置

有效

• 申請號: 201380063011.8
• 申請日: 2013-10-08
• 公開（公告）號: CN104838470B
• 公開（公告）日: 2018-09-21
• 發明（設計）人: 佐藤真路
• 申請（專利權）人: 株式會社尼康
• 主分類號: H01L21/027
• 分類號: H01L21/027
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 陳偉;王娟娟

1.一種曝光裝置，經由光學部件與基板之間的液體以曝光用光對所述基板進行曝光，該曝光裝置具備：

裝置框架；

光學系統，其包括所述光學部件；

液浸部件，其能夠形成液浸空間，并且包括配置于所述光學部件周圍的至少一部分的第1部件、和配置于所述光學部件周圍的至少一部分的第2部件；

驅動裝置，其能夠使所述第2部件相對于所述第1部件移動；和

防振裝置，經由所述防振裝置而使所述第1部件支承于所述裝置框架，

在所述第2部件與物體之間形成了所述液浸空間的一部分的狀態下，以使所述第2部件與所述物體的相對速度變小的方式使所述第2部件沿與所述光學部件的光軸垂直的方向移動。

2.根據權利要求1所述的曝光裝置，其中，

所述防振裝置包括致動器。

3.根據權利要求1或2所述的曝光裝置，其中，

所述防振裝置構成為：至少控制與所述光學部件的光軸實質上平行或者實質上垂直的所述第1部件的動作。

4.根據權利要求1或2所述的曝光裝置，其中，

所述防振裝置構成為：控制所述第1部件相對于基準部件的位置。

5.根據權利要求4所述的曝光裝置，其中，

所述曝光裝置還具備檢測所述第1部件的位置的第1檢測裝置，

所述防振裝置構成為：基于所述第1檢測裝置的檢測結果，控制所述第1部件的動作。

6.根據權利要求5所述的曝光裝置，其中，

所述第1檢測裝置檢測所述第1部件相對于所述基準部件的位置，

所述防振裝置構成為：基于所述第1檢測裝置的檢測結果，控制所述第1部件相對于所述基準部件的位置。

7.根據權利要求4所述的曝光裝置，其中，

所述曝光裝置還具備檢測所述第1部件的加速度的第2檢測裝置，

所述防振裝置構成為：基于所述第2檢測裝置的檢測結果，控制所述第1部件的動作。

8.根據權利要求7所述的曝光裝置，其中，

所述防振裝置構成為：基于所述第2檢測裝置的檢測結果，控制所述第1部件相對于所述基準部件的位置。

9.根據權利要求1或2所述的曝光裝置，其中，

所述驅動裝置的至少一部分被支承于所述裝置框架。

10.根據權利要求1或2所述的曝光裝置，其中，

所述驅動裝置構成為：抑制隨著所述第2部件的移動而產生的反作用力向所述裝置框架的傳遞。

11.根據權利要求1或2所述的曝光裝置，其中，

所述驅動裝置構成為：使隨著所述第2部件的移動而產生的反作用力抵消。

12.根據權利要求1或2所述的曝光裝置，其中，

所述驅動裝置具有使隨著所述第2部件的移動而產生的反作用力的至少一部分消除的機構。

13.根據權利要求1或2所述的曝光裝置，其中，

所述第2部件經由所述防振裝置而被支承于所述裝置框架。