[發明專利]真空泵

有效

• 申請號: 201380062505.4
• 申請日: 2013-10-24
• 公開（公告）號: CN104797823A
• 公開（公告）日: 2015-07-22
• 發明（設計）人: S.凱拉薩姆;A.E.K.霍爾布魯克
• 申請（專利權）人: 愛德華茲有限公司
• 主分類號: F04C23/00
• 分類號: F04C23/00;F04C25/02;F04C27/00
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 李晨;譚祐祥

技術領域

本發明涉及一種真空泵，特別地涉及一種多級真空泵和這種泵的定子。

背景技術

真空泵可以由具有串聯連接的一個或多個泵級的正排量泵（諸如羅茨泵或爪式泵（claw?pump））形成。多級泵是可取的，因為多級泵相對于串聯的多個單級泵涉及更低的制造成本和裝配時間。

多級羅茨泵或爪式泵可以以蛤殼（clamshell）的形式制造和裝配。如圖1所示，這種泵的定子100包括第一和第二半殼定子部件102、104，所述第一和第二半殼定子部件102、104一起限定多個泵室106、108、110、112、114、116。半殼中的每個具有第一和第二縱向延伸面，當半殼配合在一起時，其與另一半殼的相應的縱向延伸面相互接合。半殼102的僅僅兩個縱向延伸表面118、120在圖中可見。在裝配期間，兩個半殼被在由箭頭R所示的大致徑向方向上被結合在一起。

定子100還包括第一和第二端部定子部件122、124。當半殼已經配合在一起時，第一和第二端部部件在由箭頭L所示的大致軸向或縱向方向上配合到所結合的半殼的相應端面126、128。端部部件的內面130、132與半殼的相應端面126、128相互接合。

泵室106-116中的每個在半殼的橫向壁134之間形成。僅僅半殼102的橫向壁能夠在圖1中看到。當半殼被裝配時，橫向壁提供一個泵室與相鄰泵室之間或者端部泵室106、116與端部定子部件之間的軸向間隔。該示例示出用于具有兩個縱向延伸的軸（未示出）的羅茨泵或爪式泵的典型的定子布置，當半殼配合在一起時，所述兩個縱向延伸的軸定位在形成在橫向壁134中的孔隙136中。在裝配之前，羅茨泵（未示出）配合到軸以使得兩個轉子定位在每個泵室中。盡管在該簡化的附圖中未示出，端部部件各自具有兩個孔隙，軸延伸穿過所述兩個孔隙。軸由軸承支撐在端部部件中并且由馬達和齒輪機構驅動。

多級真空泵在泵室內在小于大氣壓力并且可能低至10^-3mbar的壓力處操作。因此，大氣與泵內側之間將存在壓力差。因此，必須防止在定子部件之間的結合部處周圍的氣體泄漏到泵中，所述定子部件在半殼的縱向延伸表面118、120之間以及半殼的端面126、128與端部部件的內面130、132之間形成。粘合劑通常用于在半殼之間和在半殼與端部部件之間密封，但是粘合劑特別易于由腐蝕性的泵送氣體破壞并且總是施加粘合劑是困難的并且耗時的。粘合劑還可能抑制拆卸和維護。

一種已知的可替代的密封布置在US2002155014中公開，其提供單體式密封構件，所述單體式密封構件包括兩個縱向部和兩個環形部。然而，將密封構件配合到位通常是十分復雜的并且其制造起來是昂貴。

發明內容

本發明提供一種用于密封蛤殼泵的改進的密封布置。

本發明提供一種多級真空泵，其包括第一和第二半殼定子部件、第一和第二端部定子部件、襯墊（gasket）和O形環，所述第一和第二半殼定子部件限定多個泵室，用于沿著相應的縱向面裝配在一起；所述第一和第二端部定子部件用于在所述第一和第二半殼定子部件的相應端面處進行裝配；所述襯墊用于在相應縱向面的縱向凹部中定位，以當所述第一和第二半殼定子部件裝配在一起時在兩者之間進行密封；并且所述O形環用于在沉入相應端面中的環形通道中進行定位，用于當所述第一和第二端部定子部件和所述第一和第二半殼定子部件裝配時在兩者之間進行密封；其中，所述環形通道與所述縱向凹部相交，并且每個縱向凹部包括相對于所述相交部固定的止動件，并且所述襯墊和所述縱向凹部構造為在裝配期間當所述襯墊定位在所述凹部中時，所述襯墊被偏壓抵靠所述止動件，用于相對于所述相交部來定位所述襯墊的端部。

本發明還提供一種用于裝配多級真空泵的裝置，所述裝置包括工具和這種多級真空泵的部分，其中，當所述襯墊已經被配合到所述縱向凹部中并在所述半殼定子部分之間的襯墊的壓縮之前，所述工具被布置用于將所述襯墊的成形的端部與所述環形通道和所述縱向凹部之間的相應成形的相交部對準。