[發(fā)明專利]負(fù)型感光性樹脂組合物、樹脂固化膜、分隔壁和光學(xué)元件

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201380062334.5
• 申請(qǐng)日: 2013-11-27
• 公開（公告）號(hào): CN104823108B
• 公開（公告）日: 2020-02-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 松浦啟吾;川島正行;高橋秀幸;小林大介
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: AGC株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G03F7/004
• 分類號(hào): G03F7/004;G02B5/20;G03F7/027;G03F7/075;H01L51/50;H05B33/12;H05B33/22
• 代理公司: 北京林達(dá)劉知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;李茂家

1.一種負(fù)型感光性樹脂組合物，其特征在于，含有：具有烯屬雙鍵的堿溶性樹脂或堿溶性單體(A)、光聚合引發(fā)劑(B)、1分子中具有3個(gè)以上巰基的硫醇化合物(C)、以及拒墨劑(D)，

所述硫醇化合物(C)為選自季戊四醇四(3-巰基丁酸酯)、三羥甲基丙烷三(3-巰基丙酸酯)、季戊四醇四(3-巰基丙酸酯)、三-[(3-巰基丙酰氧基)-乙基]-異氰脲酸酯、二季戊四醇六(3-巰基丙酸酯)、三羥甲基丙烷三(3-巰基丁酸酯)、季戊四醇四(3-巰基丁酸酯)、二季戊四醇六(3-巰基丁酸酯)、1,3,5-三(3-巰基丁酰氧基乙基)-1,3,5-三嗪-2,4,6-(1H,3H,5H)-三酮、三苯酚甲烷三(3-巰基丙酸酯)、三苯酚甲烷三(3-巰基丁酸酯)、三羥甲基乙烷三(3-巰基丁酸酯)、2,4,6-三巰基-均三嗪中的至少一種；

所述拒墨劑(D)具有氟原子，所述拒墨劑(D)中的氟原子的含有率為1～40質(zhì)量％；所述拒墨劑(D)為具有烯屬雙鍵的化合物。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的負(fù)型感光性樹脂組合物，其中，在負(fù)型感光性樹脂組合物中的全部固體成分中含有5～80質(zhì)量％具有烯屬雙鍵的堿溶性樹脂或堿溶性單體(A)、0.1～50質(zhì)量％光聚合引發(fā)劑(B)、以及0.01～15質(zhì)量％拒墨劑(D)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的負(fù)型感光性樹脂組合物，其中，以使所述硫醇化合物(C)所具有的巰基相對(duì)于所述負(fù)型感光性樹脂組合物中的全部固體成分所具有的烯屬雙鍵1摩爾為0.0001～1摩爾的方式含有該化合物。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的負(fù)型感光性樹脂組合物，其中，所述拒墨劑(D)為水解性硅烷化合物的部分水解縮合物。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的負(fù)型感光性樹脂組合物，其中，所述部分水解縮合物為水解性硅烷化合物混合物的部分水解縮合物，所述水解性硅烷化合物混合物包含具有氟亞烷基和/或氟烷基以及水解性基團(tuán)的水解性硅烷化合物(s1)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的負(fù)型感光性樹脂組合物，其中，所述水解性硅烷化合物混合物還包含在硅原子上鍵合有4個(gè)水解性基團(tuán)的水解性硅烷化合物(s2)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的負(fù)型感光性樹脂組合物，其中，所述水解性硅烷化合物混合物還包含具有具備烯屬雙鍵的基團(tuán)和水解性基團(tuán)、且不含氟原子的水解性硅烷化合物(s3)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的負(fù)型感光性樹脂組合物，其還包含1分子中具有2個(gè)以上烯屬雙鍵、且不具有酸性基團(tuán)的交聯(lián)劑(E)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的負(fù)型感光性樹脂組合物，其還包含溶劑(F)。

10.一種樹脂固化膜，其使用權(quán)利要求1～9中任一項(xiàng)所述的負(fù)型感光性樹脂組合物而形成。

11.一種樹脂固化膜，其為形成于基板上的權(quán)利要求10所述的樹脂固化膜，

在利用使用了Ar濺射離子的X射線光電子能譜法(XPS)進(jìn)行的所述樹脂固化膜的厚度方向的組成分析中，

所述樹脂固化膜的表面的氟原子濃度相對(duì)于碳原子濃度的比值[F/C]_(i)為0.100～3.000，該[F/C]_(i)大于表層內(nèi)部區(qū)域的氟原子濃度相對(duì)于碳原子濃度的比值的平均值[F/C]_(ii)，其中，所述表層內(nèi)部區(qū)域以距所述樹脂固化膜的表面4nm厚的位置為起點(diǎn)且以距該表面7nm厚的位置為終點(diǎn)，并且，

所述樹脂固化膜的表面的硫原子濃度相對(duì)于碳原子濃度的比值[S/C]_(i)、以及所述樹脂固化膜的所述表層內(nèi)部區(qū)域的硫原子濃度相對(duì)于碳原子濃度的比值的平均值[S/C]_(ii)為0.001～0.050。

12.一種分隔壁，其形成為將基板表面分隔成用于形成點(diǎn)的多個(gè)分區(qū)的形狀，所述分隔壁由權(quán)利要求10或11所述的樹脂固化膜形成。