[發(fā)明專利]具有可離開平面運(yùn)動的移動質(zhì)量塊的微機(jī)電裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201380062279.X
• 申請日: 2013-12-24
• 公開（公告）號: CN104955767A
• 公開（公告）日: 2015-09-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 弗朗索瓦-格扎維埃·布瓦洛;雷米·拉歐比;紀(jì)堯姆·茹爾當(dāng)
• 申請（專利權(quán)）人: 特羅尼克斯微系統(tǒng)公司
• 主分類號: B81B3/00
• 分類號: B81B3/00;G01P15/08;G01P15/12;G01P15/125
• 代理公司: 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 44224
• 代理人: 鄧云鵬

1.一種形成自半導(dǎo)體基底的微機(jī)電設(shè)備，所述基底具有沿x軸和y軸定義平面的層，垂直于所述層的軸定義為z軸，所述設(shè)備包括：

至少一個(gè)錨定區(qū)域(4、14、24、34、44)，所述錨定區(qū)域相對所述基底固定；

至少一個(gè)移動質(zhì)量塊，所述移動質(zhì)量塊能夠通過繞沿x軸指向的旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，沿z軸離開基底平面；

至少一個(gè)變形元件(10、110、210、310、410)，所述變形元件(10、110、210、310、410)將所述移動質(zhì)量塊連接至所述錨定區(qū)域(4、14、24、34、44)；和

至少一個(gè)探測所述移動質(zhì)量塊的位移的探測組件(3)，其特征在于，

所述移動質(zhì)量塊具有形成支撐結(jié)構(gòu)(8、18、28、38、48)的第一部分以及形成移動質(zhì)量塊的主體(11、111、211、311、411)的第二部分，所述第一部分(8、18、28、38、48)通過變形元件(10、110、210、310、410)與所述錨定區(qū)域相連，所述第一部分與第二部分(11、111、211、311、411)通過至少兩個(gè)柔性部分(7、117、217、227、307、337、437)相連，所述柔性部分形成固定于所述第一部分(8、18、28、38、48)的不同兩側(cè)的解耦彈簧，所述第二部分包括至少一個(gè)使所述第二部分和所述基底之間配合的區(qū)域，形成限制所述移動質(zhì)量塊的第二部分(11、111、211、311、411)相對于所述錨定區(qū)域移動的阻擋部(9、119、229、309)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，所述第一部分形成圍繞構(gòu)成所述移動質(zhì)量塊的主體的第二部分的框架。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，形成所述移動質(zhì)量塊的主體的第二部分設(shè)置于所述第一分部的邊緣。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，所述柔性部分(7、117)沿y軸相互間隔的距離大于所述移動質(zhì)量塊的內(nèi)部體(11、111)沿y軸方向的長度的一半。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，所述柔性部分(7、307)為柔性變形梁。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，所述柔性部分(117、217、227、337、437)包括多個(gè)相互具有非零角的連續(xù)片段。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，所述設(shè)備包括至少四個(gè)柔性部分(7)，所述柔性部分(7)兩兩相對設(shè)置。

8.根據(jù)權(quán)利要求1-7中任意一項(xiàng)所述的設(shè)備，其特征在于，所述移動質(zhì)量塊的主體(11、111、211、311)的形成阻擋部(9、119、229、309)的區(qū)域設(shè)置在所述移動質(zhì)量塊的位于所述錨定區(qū)域(4、14、24、34)的對面的一側(cè)的前方。

9.根據(jù)權(quán)利要求1-8中任意一項(xiàng)所述的設(shè)備，其特征在于，所述移動質(zhì)量塊的主體(411)的形成阻擋部(429)的區(qū)域?yàn)楣潭ㄔ谒龌咨喜⑴溥m于所述移動質(zhì)量塊的主體(411)的凹陷部內(nèi)的臺柱。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的設(shè)備，其特征在于，所述阻擋部(9、119、309)在俯視圖中呈T形。

11.根據(jù)權(quán)利要求8-10中任意一項(xiàng)所述的設(shè)備，其特征在于，所述阻擋部(119)的側(cè)面具有凸出部。

12.根據(jù)權(quán)利要求8-11中任意一項(xiàng)所述的設(shè)備，其特征在于，所述移動質(zhì)量塊的主體(11、111、311、411)具有基本上與所述阻擋部(9、119、309、429)互補(bǔ)的凹陷部。

13.根據(jù)權(quán)利要求8-11中任意一項(xiàng)所述的設(shè)備，其特征在于，形成側(cè)面阻擋部的所述區(qū)域(139)相對于所述移動質(zhì)量塊的側(cè)面設(shè)置。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的設(shè)備，其特征在于，形成所述側(cè)面阻擋部的所述區(qū)域(139)具有圓形的突起。

15.根據(jù)權(quán)利要求1-14中任意一項(xiàng)所述的設(shè)備，其特征在于，所述設(shè)備包括至少一個(gè)沿x軸的第一柔性部分(217)和至少一個(gè)沿y軸的第二柔性部分。