[發(fā)明專利]激光加工裝置和激光加工方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201380061517.5
• 申請(qǐng)日: 2013-08-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104797373B
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-05-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 山上健太郎;武川裕亮;西部達(dá)矢;立石秀典
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 維亞機(jī)械株式會(huì)社
• 主分類號(hào): B23K26/00
• 分類號(hào): B23K26/00;B23K26/06;B23K26/067;H05K3/00
• 代理公司: 中國(guó)專利代理(香港)有限公司72001
• 代理人: 秦琳,陳嵐

1.一種激光加工裝置，其特征在于，包含：激光脈沖振蕩單元，對(duì)固定周期的激光脈沖進(jìn)行振蕩；光指向單元，按所述激光脈沖的每一個(gè)指向在被加工物的加工中使用的加工方向或在加工中不使用的非加工方向的任意一個(gè)；光學(xué)系統(tǒng)，對(duì)在該光指向單元中指向所述加工方向的激光脈沖進(jìn)行光接收并向被加工物照射；對(duì)載置所述被加工物的工作臺(tái)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的單元；規(guī)定移動(dòng)量檢測(cè)單元，周期性地檢測(cè)所述工作臺(tái)的規(guī)定量的移動(dòng)；以及控制單元，對(duì)所述光指向單元進(jìn)行控制，使得在該規(guī)定移動(dòng)量檢測(cè)單元檢測(cè)到規(guī)定的移動(dòng)量的時(shí)間點(diǎn)，使從所述激光脈沖振蕩單元輸出的激光脈沖指向所述加工方向，在所述規(guī)定移動(dòng)量檢測(cè)單元未檢測(cè)到規(guī)定的移動(dòng)量的期間，使從所述激光脈沖振蕩單元輸出的激光脈沖指向所述非加工方向。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于，所述控制單元進(jìn)行控制，以使在所述光指向單元中使激光脈沖指向所述加工方向的情況下避開(kāi)該激光脈沖的過(guò)渡期部來(lái)進(jìn)行指向。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2的任一項(xiàng)所述的激光加工裝置，其特征在于，所述規(guī)定移動(dòng)量檢測(cè)單元檢測(cè)二維方向的移動(dòng)量的合成值。

4.一種激光加工方法，將激光脈沖照射到被加工物來(lái)加工被加工物，其特征在于，能夠按從對(duì)固定周期的激光脈沖進(jìn)行振蕩的激光脈沖振蕩單元輸出的激光脈沖的每一個(gè)指向在被加工物的加工中使用的加工方向或在加工中不使用的非加工方向的任意一個(gè)，在檢測(cè)到載置所述被加工物的工作臺(tái)移動(dòng)規(guī)定量的時(shí)間點(diǎn)，使從所述激光脈沖振蕩單元振蕩的激光脈沖指向所述加工方向，在未檢測(cè)到載置所述被加工物的工作臺(tái)移動(dòng)規(guī)定量的期間，使從所述激光脈沖振蕩單元振蕩的激光脈沖指向所述非加工方向。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的激光加工方法，其特征在于，在使激光脈沖指向所述加工方向的情況下，避開(kāi)該激光脈沖的過(guò)渡期部來(lái)進(jìn)行指向。

6.根據(jù)權(quán)利要求4或5的任一項(xiàng)所述的激光加工方法，其特征在于，所述工作臺(tái)的移動(dòng)檢測(cè)基于二維方向的移動(dòng)量的合成值。