[發(fā)明專利]感光樹脂組合物、抗蝕劑層壓體及它們的固化產(chǎn)物

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201380061133.3
• 申請日: 2013-11-21
• 公開（公告）號: CN104813234B
• 公開（公告）日: 2019-03-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 今泉尚子;稻垣真也;本田那央
• 申請（專利權(quán)）人: 日本化藥株式會社
• 主分類號: G03F7/038
• 分類號: G03F7/038;G03F7/004;C08G59/62
• 代理公司: 中原信達知識產(chǎn)權(quán)代理有限責任公司 11219
• 代理人: 楊青;穆德駿

1.感光樹脂組合物，其包含：環(huán)氧樹脂A，多元醇化合物B，陽離子光聚合引發(fā)劑C，含環(huán)氧基的硅烷化合物D，和反應(yīng)性環(huán)氧單體E；

環(huán)氧樹脂A包含從下式(1)表示的苯酚衍生物與表鹵代醇的反應(yīng)得到的環(huán)氧樹脂a：

和下式(2)表示的環(huán)氧樹脂b：

其中m是平均值，表示在2至30范圍內(nèi)的實數(shù)，R₁和R₂各自獨立地表示氫原子、具有1至4個碳原子的烷基、或三氟甲基，X各自獨立地表示氫原子或縮水甘油基，并且存在的多個X中的至少一個是縮水甘油基；

多元醇化合物B包含下式(3)表示的聚酯多元醇：

其中x是平均值，表示在1至15范圍內(nèi)的實數(shù)，和R₃表示二價脂族烴基，其可以在碳鏈內(nèi)含有至少一個醚鍵；

和/或下式(4)表示的聚酯多元醇：

其中y是平均值，表示在1至6范圍內(nèi)的實數(shù)，和R₄表示三價脂族烴基，其可以在碳鏈內(nèi)含有至少一個醚鍵；和

反應(yīng)性環(huán)氧單體E包含下式(10)表示的環(huán)氧化合物和/或下式(11)表示的環(huán)氧化合物：

其中R₅表示具有1至11個碳原子的二價脂族烴基；

其中R₆表示具有1至11個碳原子的三價脂族烴基，

相對于所述環(huán)氧樹脂a的質(zhì)量，所述環(huán)氧樹脂b的用量是2質(zhì)量％～4900質(zhì)量％，

相對于所述環(huán)氧樹脂A的總質(zhì)量，所述多元醇化合物B的摻合比是1質(zhì)量％至30質(zhì)量％，

相對于所述環(huán)氧樹脂A、所述多元醇化合物B和所述反應(yīng)性環(huán)氧單體E的總質(zhì)量，所述陽離子光聚合引發(fā)劑C的摻合比是0.1質(zhì)量％至15質(zhì)量％，

相對于所述環(huán)氧樹脂A、所述多元醇化合物B、所述陽離子光聚合引發(fā)劑C和所述反應(yīng)性環(huán)氧單體E的總質(zhì)量，所述含環(huán)氧基的硅烷化合物D的摻合比是1質(zhì)量％至15質(zhì)量％，且

相對于所述環(huán)氧樹脂A和所述多元醇化合物B的總質(zhì)量，所述反應(yīng)性環(huán)氧單體E的摻合比為2質(zhì)量％至12質(zhì)量％。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光樹脂組合物，其中所述反應(yīng)性環(huán)氧單體E包括三羥甲基丙烷三縮水甘油醚。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光樹脂組合物，其中所述含環(huán)氧基的硅烷化合物D是含環(huán)氧基的烷氧基硅烷化合物。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光樹脂組合物，其還包含溶劑F。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的感光樹脂組合物，其中相對于包括所述溶劑F的感光樹脂組合物的總質(zhì)量，所述溶劑F的摻合比是5質(zhì)量％至95質(zhì)量％。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至5任一項所述的感光樹脂組合物的固化產(chǎn)物。

7.抗蝕劑層壓體，其包含夾在兩個襯底之間的根據(jù)權(quán)利要求1至5任一項所述的感光樹脂組合物。

8.由根據(jù)權(quán)利要求7所述的抗蝕劑層壓體得到的干膜抗蝕劑的固化產(chǎn)物。