[發明專利]試樣臺、帶電粒子束裝置及試樣觀察方法

在審

• 申請號: 201380060806.3
• 申請日: 2013-11-26
• 公開（公告）號: CN104798172A
• 公開（公告）日: 2015-07-22
• 發明（設計）人: 大南佑介;大島卓;伊東佑博
• 申請（專利權）人: 株式會社日立高新技術
• 主分類號: H01J37/20
• 分類號: H01J37/20;H01J37/16;H01J37/18;H01J37/22;H01J37/244
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 鐘晶;李家浩

1.一種試樣臺，是將通過照射帶電粒子束來觀察的試樣進行搭載的試樣臺，其特征在于，

具有形成所述試樣臺的至少一部分且利用將所述試樣的內部透射或散射的帶電粒子而發光的發光部件，

在所述發光部件上，直接或隔著規定的部件配置所述試樣，

至少在配置所述試樣的部位，和所述試樣臺中與配置所述試樣的部位相對的面之間，特定或全部波長區域的可見光或紫外光或紅外光能夠通過。

2.如權利要求1所述的試樣臺，其特征在于，所述試樣臺能夠作為透射式光學顯微鏡的試樣臺利用。

3.如權利要求2所述的試樣臺，其特征在于，能夠在將所述試樣配置于所述試樣臺的狀態下利用所述透射式光學顯微鏡進行觀察。

4.如權利要求1所述的試樣臺，其特征在于，

具備支持所述發光部件的基座，

特定或全部波長區域的可見光或紫外光或紅外光能夠通過所述基座。

5.如權利要求4所述的試樣臺，其特征在于，在所述基座的周緣部具有側壁。

6.如權利要求4所述的試樣臺，其特征在于，配置所述試樣的部位與所述基座的載置所述試樣一側的面是相同的高度。

7.如權利要求4所述的試樣臺，其特征在于，所述基座的載置所述試樣的側面的整面是所述發光部件。

8.如權利要求4所述的試樣臺，其特征在于，在所述基座上配置有多個所述發光部件。

9.如權利要求1所述的試樣臺，其特征在于，所述規定的部件設置于所述發光部件和所述試樣之間，是所述帶電粒子束的至少一部分能夠透射的厚度。

10.如權利要求4所述的試樣臺，其特征在于，所述發光部件的配置試樣的側面和所述基座的載置試樣的側面的距離為數百微米以下。

11.如權利要求4所述的試樣臺，其特征在于，所述發光部件具有與所述基座的厚度相同的厚度。

12.如權利要求4所述的試樣臺，其特征在于，在所述發光部件或所述基座上，具有能夠記載所述試樣的信息的部位。

13.一種帶電粒子束裝置，其特征在于，具有：

帶電粒子光學鏡筒，其將一次帶電粒子束照射至試樣、

真空泵，其將所述帶電粒子光學鏡筒的內部抽真空、

試樣平臺，其能夠裝卸地配置利用將所述試樣的內部透射或散射的帶電粒子而發光的發光部件或具有所述發光部件的試樣臺、和

光轉換檢測器，將至少通過配置有所述試樣的部位和所述試樣臺中與配置有所述試樣的部位相對的面之間的來自所述發光部件的發光轉換成電信號。

14.如權利要求13所述的帶電粒子束裝置，其特征在于，

具有能夠裝卸的隔膜，所述隔膜被配置成隔離載置有所述試樣的空間和所述帶電粒子光學鏡筒，并使所述一次帶電粒子束透射或通過，

具有所述試樣及所述發光部件的試樣臺保持在與帶電粒子光學鏡筒的內部不同的壓力狀態的氣氛下，

相對于所述試樣，所述發光部件被載置在所述隔膜的相反側。

15.如權利要求13所述的帶電粒子束裝置，其特征在于，

具有光學顯微鏡，所述光學顯微鏡利用至少通過配置有所述試樣的部位和所述試樣臺中與配置有所述試樣的部位相對的面之間的特定或全部波長區域的可見光或紫外光或紅外光來成像光學顯微鏡圖像，并且與所述帶電粒子光學鏡筒同軸地配置。

16.一種試樣觀察方法，是由帶電粒子束顯微鏡通過照射帶電粒子束來觀察試樣的試樣觀察方法，其特征在于，具有下述步驟：

對于在形成試樣臺的至少一部分且利用將所述試樣的內部透射或散射的帶電粒子而發光的發光部件上直接或隔著規定的部件而配置的所述試樣，照射所述帶電粒子束的步驟、

檢測所述發光部件的發光，取得帶電粒子顯微鏡圖像的步驟、和

在將所述試樣配置在所述試樣臺的狀態下利用光學顯微鏡來取得光學顯微鏡圖像的步驟。