[發(fā)明專(zhuān)利]固持工件用的系統(tǒng)和承載器及對(duì)準(zhǔn)承載器內(nèi)的工件的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201380060451.8
• 申請(qǐng)日: 2013-07-17
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104798190B
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-04-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 威廉·T·維弗;查理斯·T·卡爾森;斯卡特·A·史密斯;麥可·A·貝克;亞隆·P·威波;詹姆斯·D·史瑞斯奈;羅倫斯·R·葛拉維;麥可·C·席夢(mèng)思
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 瓦里安半導(dǎo)體設(shè)備公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/673
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/673;H01L21/687;C23C14/04
• 代理公司: 北京同立鈞成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11205
• 代理人: 馬爽,臧建明

1.一種用于固持至少一個(gè)工件的系統(tǒng)，包括：

承載器，包括

多個(gè)壁，布置為柵格，其中所述壁中的四個(gè)界定單元的周邊，其中所述單元經(jīng)配置以固持工件；

沿著所述周邊的第一側(cè)邊定位的一個(gè)對(duì)準(zhǔn)銷(xiāo)以及沿著所述周邊的第二側(cè)邊定位的一個(gè)對(duì)準(zhǔn)銷(xiāo)，所述第二側(cè)邊鄰近且垂直于所述第一側(cè)邊；

多個(gè)可移動(dòng)突起，沿著所述單元的所述周邊的第三側(cè)邊以及第四側(cè)邊定位，其中所述第三側(cè)邊以及所述第四側(cè)邊分別與所述第一側(cè)邊以及所述第二側(cè)邊相對(duì)，且其中所述可移動(dòng)突起各自包括開(kāi)口；以及

偏置構(gòu)件，與所述可移動(dòng)突起中的每一個(gè)連通以使得所述可移動(dòng)突起自然地偏置到所述周邊中；以及

致動(dòng)器，經(jīng)配置以進(jìn)入所述可移動(dòng)突起中的每一個(gè)中的所述開(kāi)口，所述致動(dòng)器使所述可移動(dòng)突起遠(yuǎn)離所述周邊而移動(dòng)到固持位置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于固持至少一個(gè)工件的系統(tǒng)，還包括沿著所述第一側(cè)邊以及所述第二側(cè)邊定位的多個(gè)額外可移動(dòng)突起，每一所述額外可移動(dòng)突起與額外偏置構(gòu)件連通以使得所述額外可移動(dòng)突起自然地偏置遠(yuǎn)離所述周邊。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于固持至少一個(gè)工件的系統(tǒng)，其中所述額外可移動(dòng)突起各自包括相應(yīng)致動(dòng)器進(jìn)入所穿過(guò)的開(kāi)口，所述相應(yīng)致動(dòng)器使所述額外可移動(dòng)突起中的一個(gè)朝所述周邊移動(dòng)到所述額外可移動(dòng)突起的固持位置。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于固持至少一個(gè)工件的系統(tǒng)，還包括與所述第一側(cè)邊鄰近的第二單元，其中沿著所述第一側(cè)邊的所述額外可移動(dòng)突起做為沿著鄰近的所述單元中的所述第三側(cè)邊的所述可移動(dòng)突起。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于固持至少一個(gè)工件的系統(tǒng)，還包括位于所述單元的底部的壓板，所述壓板包括至少一個(gè)開(kāi)口，升降銷(xiāo)延伸穿過(guò)所述開(kāi)口以從所述單元移出所述工件。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于固持至少一個(gè)工件的系統(tǒng)，包括設(shè)備，所述設(shè)備包括：

頂板，所述承載器設(shè)置在所述頂板上；

可移動(dòng)致動(dòng)器板，與第一線性致動(dòng)器連通，包括自其向上延伸的所述致動(dòng)器；以及

可移動(dòng)升降板，與第二線性致動(dòng)器連通，包括自其延伸的升降銷(xiāo)以從所述承載器升起所述工件。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于固持至少一個(gè)工件的系統(tǒng)，其中第一群組的所述致動(dòng)器具有第一高度，且第二群組的所述致動(dòng)器具有小于所述第一高度的第二高度，且其中所述第一群組的所述致動(dòng)器中的一個(gè)與所述第四側(cè)邊的所述可移動(dòng)突起中的所述開(kāi)口對(duì)準(zhǔn)，且所述第二群組的所述致動(dòng)器中的一個(gè)與所述第三側(cè)邊上的所述可移動(dòng)突起中的所述開(kāi)口對(duì)準(zhǔn)，以使得當(dāng)所述可移動(dòng)致動(dòng)器板移動(dòng)遠(yuǎn)離所述承載器時(shí)，在所述第四側(cè)邊上的所述可移動(dòng)突起變得與所述第一群組的所述致動(dòng)器脫離之前，所述第三側(cè)邊上的所述可移動(dòng)突起變得與所述第二群組的所述致動(dòng)器脫離。

8.一種用于固持一個(gè)或一個(gè)以上工件的承載器，包括：

多個(gè)壁，布置為柵格，其中所述壁中的四個(gè)界定單元的周邊，其中所述單元經(jīng)配置以固持工件；

沿著所述周邊的第一側(cè)邊定位的一個(gè)對(duì)準(zhǔn)銷(xiāo)以及沿著所述周邊的第二側(cè)邊定位的一個(gè)對(duì)準(zhǔn)銷(xiāo)，所述第二側(cè)邊鄰近且垂直于所述第一側(cè)邊；

多個(gè)可移動(dòng)突起，沿著所述單元的所述周邊的第三側(cè)邊以及第四側(cè)邊定位，其中所述第三側(cè)邊以及所述第四側(cè)邊分別與所述第一側(cè)邊以及所述第二側(cè)邊相對(duì)，且其中所述可移動(dòng)突起具有固持位置以及自然偏置位置；以及

偏置構(gòu)件，與所述可移動(dòng)突起中的每一個(gè)連通以使得所述可移動(dòng)突起在處于所述自然偏置位置時(shí)自然地偏置到所述周邊中。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的用于固持一個(gè)或一個(gè)以上工件的承載器，還包括沿著所述第一側(cè)邊以及所述第二側(cè)邊定位的多個(gè)額外可移動(dòng)突起，每一所述額外可移動(dòng)突起與額外偏置構(gòu)件連通以使得所述額外可移動(dòng)突起在所述自然偏置位置自然地偏置遠(yuǎn)離所述周邊。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的用于固持一個(gè)或一個(gè)以上工件的承載器，其中所述額外可移動(dòng)突起各自包括致動(dòng)器進(jìn)入所穿過(guò)的開(kāi)口，所述致動(dòng)器使所述額外可移動(dòng)突起朝所述周邊移動(dòng)到所述額外可移動(dòng)突起的固持位置。

11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的用于固持一個(gè)或一個(gè)以上工件的承載器，還包括與所述第一側(cè)邊鄰近的第二單元，其中沿著所述第一側(cè)邊的所述額外可移動(dòng)突起做為沿著鄰近的所述單元中的所述第三側(cè)邊的所述可移動(dòng)突起。