[發明專利]半導體器件測試環境中的調試

在審

• 申請號: 201380060064.4
• 申請日: 2013-11-08
• 公開（公告）號: CN104797948A
• 公開（公告）日: 2015-07-22
• 發明（設計）人: 馬克·魯本·哈特納;約翰·F·羅
• 申請（專利權）人: 泰拉丁公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28;G06F9/455
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 戚傳江;金潔

背景技術

1.技術領域

本發明整體涉及電子系統(諸如片上系統半導體器件)的測試。

2.相關領域

已知自動測試設備(通常稱為“測試儀”)用于測試許多類型的電子被測器件(DUT)。例如，已知用于測試印刷電路板和半導體器件的測試儀。

在某些情況下，在電子器件制造期間使用測試儀。從功能上來看，測試儀用于識別缺陷，使得測試結果可用于通過依據測試結果調節某些操作來影響DUT的制造。例如，通常僅在對器件的測試指示器件正在正常工作的情況下才進行產生被封裝并運送給客戶的器件的制造步驟。如果此類測試指示器件沒有正常工作，則通常轉移該器件，使得進行用于返工或廢棄該器件的不同操作。

測試儀通常被配置成運行多種測試場景，這些測試場景模擬DUT在操作中可能經歷的各種真實世界的條件。例如，每個測試場景可具有啟動或利用在特定使用場景中所涉及的DUT的不同部分的一系列步驟。測試場景集合可被選擇來確定是否DUT的所有部分已被正確地制造。

測試儀可通過執行一個或多個測試程序來實施此類測試場景。測試程序指定待由測試儀執行的操作，即生成激勵信號并且測量響應以供與預期從正常工作的器件得到的響應進行比較。測試程序的執行可能需要施加“測試模式”以控制在連接到DUT的許多測試點處生成或測量數字信號的電路。測試模式是固定二進制數據集，其針對多個連續測試儀循環中的每一個指示測試儀中的儀器是生成還是測量測試信號。該模式還可指示關于測試信號的其他信息，諸如其數字值。

還在正在開發產品器件時使用測試儀-測試芯片以驗證特定產品特征。在開發期間，設計工程師可使用測試儀來執行測試程序。這些測試程序被設計用來執行DUT的多個部分，并且通常針對DUT中的表面設計缺陷進行編寫。針對這個目的而創建的測試程序可限于一次測試DUT的若干個較小部分。

通常，開發過程是迭代的，其中工程師無論是開發DUT還是測試程序，首先創建測試程序然后將該測試程序加載到測試儀中。可用連接到測試儀的DUT執行測試程序。基于執行測試程序的結果，可對DUT的設計進行變更。然而，也可產生測試程序的變化。例如，可進行變更來解決測試程序中的初始缺陷或作為增量式設計方法的一部分，其中一旦驗證了測試程序或DUT的若干部分，就可添加與那些部分交互的其他部分。

在測試程序被改變時，可將其重新加載到測試儀中，并且可進行執行測試程序、評估結果并修改測試程序的過程的進一步迭代。如果在測試期間識別到與DUT的設計相關的問題，從而需要變更設計，則可混合這些迭代。

還可能在已經制成器件之后使用測試系統。例如，如果已被制成并且投入使用的多個器件經受類似缺陷，則器件制造商可能想要測試樣品以確定故障是與設計的潛在缺陷有關還是與器件制造的系統性缺陷有關。此類測試還可通過開發測試程序(可能迭代地)來進行，以識別缺陷來源。

發明內容

發明人已經認識到并且理解，可通過向測試系統提供與調試器的接口來加速將新半導體器件投放市場的時間。調試系統可提供用戶接口，用戶可通過該用戶接口交互式地提供調試命令并且接收將測試信號施加到實施那些調試命令的DUT的結果。那些調試命令可例如允許用戶單步調試測試程序并且觀測將程序中的每個步驟施加到DUT的結果，運行測試程序直至達到由調試命令指定的斷點為止或以其它方式基于測試程序。

此類接口可將基于測試程序和調試命令導出的命令轉換為可由測試系統處理的高級命令。由測試系統進行的處理可在運行時最終生成測試模式和其他儀器控制信號。通過使用調試系統，用戶可進行多個操作而不必重新編寫和重新加載測試程序。因而，可減少調試DUT和/或測試程序的時間。

因此，在至少一個方面，本發明涉及至少一種計算機可讀存儲介質，這種介質包含計算機可執行指令，這些計算機可執行指令當在計算裝置的至少一個處理器上執行時實施調試方法，該調試方法包括交互式地從計算裝置的用戶接收調試輸入并且存取測試程序，該測試程序包括多個測試程序命令。該方法還可包括根據這些調試輸入和這些測試程序命令生成被配置成控制測試儀的儀器激發被測器件(DUT)的儀器命令并且接收來自DUT的響應，并且將這些儀器命令施加到測試儀中的儀器。