[發(fā)明專利]感光性樹脂組合物、感光性元件、抗蝕圖案的形成方法和印刷配線板的制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201380060035.8
• 申請(qǐng)日: 2013-11-14
• 公開（公告）號(hào): CN104781730B
• 公開（公告）日: 2020-03-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 岡出翔太;宮坂昌宏;村松有紀(jì)子
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 日立化成株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G03F7/027
• 分類號(hào): G03F7/027;C08F20/30;C08L25/02;C08L33/14;G03F7/004;G03F7/031;G03F7/033;G03F7/40;H05K3/06;H05K3/18
• 代理公司: 北京銀龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 鐘晶;李家浩

本發(fā)明提供一種感光性樹脂組合物，含有：粘合劑聚合物，其具有來自(甲基)丙烯酸的結(jié)構(gòu)單元、來自苯乙烯或α?甲基苯乙烯的結(jié)構(gòu)單元和來自(甲基)丙烯酸芐酯的結(jié)構(gòu)單元；光聚合性化合物，其含有第一雙酚型二(甲基)丙烯酸酯，前述第一雙酚型二(甲基)丙烯酸酯具有亞乙氧基和亞丙氧基，前述亞乙氧基的結(jié)構(gòu)單元數(shù)為1～20，前述亞丙氧基的結(jié)構(gòu)單元數(shù)為2～7，前述亞乙氧基和前述亞丙氧基的總結(jié)構(gòu)單元數(shù)大于10；以及光聚合引發(fā)劑。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及感光性樹脂組合物、感光性元件、抗蝕圖案的形成方法以及印刷配線板的制造方法。

背景技術(shù)

在印刷配線板的制造領(lǐng)域中，作為用于蝕刻處理或鍍敷處理的抗蝕材料，廣泛使用感光性樹脂組合物。感光性樹脂組合物多用作具有支撐膜和在該支撐膜上使用感光性樹脂組合物形成的層(以下也稱為“感光性樹脂組合物層”)的感光性元件(層疊體)。

印刷配線板例如如下操作進(jìn)行制造。首先，在電路形成用基板上形成(層壓)感光性元件的感光性樹脂組合物層(感光層形成工序)。接著，剝離除去支撐膜后，對(duì)感光性樹脂組合物層的規(guī)定部分照射活性光線而使曝光部固化(曝光工序)。然后，將感光性樹脂組合物層的未曝光部從基板上除去(顯影)，從而在基板上形成由感光性樹脂組合物的固化物(以下也稱為“抗蝕固化物”)構(gòu)成的抗蝕圖案(顯影工序)。將所得的抗蝕圖案作為掩模，實(shí)施蝕刻處理或鍍敷處理而在基板上形成電路后(電路形成工序)，最后剝離除去抗蝕劑而制造印刷配線板(剝離工序)。

作為曝光的方法，以往使用以汞燈為光源隔著光掩模進(jìn)行曝光的方法。此外，近年來提出了被稱作DLP(Digital Light Processing，數(shù)字光處理)或LDI(Laser DirectImaging，激光直接成像)的、將圖案的數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)直接描畫于感光性樹脂組合物層的直接描畫曝光法。與隔著光掩模的曝光法相比，該直接描畫曝光法定位精度良好，并且能夠得到高精細(xì)的圖案，因此正引入該方法用于制作高密度封裝基板。

通常在曝光工序中，有必要為了提高生產(chǎn)效率而縮短曝光時(shí)間。但是，就上述的直接描畫曝光法而言，除了光源使用激光等單色光之外，還一邊掃描基板一邊照射光線，因此與以往的隔著光掩模的曝光方法相比，存在需要更多曝光時(shí)間的傾向。因此，為了縮短曝光時(shí)間、提高生產(chǎn)效率，需要與以往相比提高感光性樹脂組合物的靈敏度。

另一方面，隨著近年來印刷配線板的高密度化，對(duì)于能夠形成分辨率(分辨力)和密合性優(yōu)異的抗蝕圖案的感光性樹脂組合物的要求提高。特別是在封裝基板制作中，要求能夠形成L/S(線寬/間隔寬)小于或等于10/10(單位：μm)的抗蝕圖案的感光性樹脂組合物。

此外，通常抗蝕圖案的高分辨率化例如通過提高感光性樹脂組合物在固化后的交聯(lián)密度來實(shí)現(xiàn)。但是，如果提高交聯(lián)密度則抗蝕圖案變硬變脆，在運(yùn)送工序等中容易產(chǎn)生抗蝕圖案缺口的問題。作為解決該問題的方法，有提高抗蝕圖案的彎曲性的方法。但是，若提高彎曲性，則抗蝕圖案容易倒塌，結(jié)果存在分辨力降低的傾向。因此，可以說所形成的抗蝕圖案的高分辨率化與彎曲性是彼此相悖的特性。

進(jìn)一步在顯影工序中，為了提高生產(chǎn)效率，需要縮短未固化的感光性樹脂組合物的剝離時(shí)間。

對(duì)于這些要求，以往研究了各種感光性樹脂組合物。

例如，日本特開2005-301101號(hào)公報(bào)、日本特開2007-114452號(hào)公報(bào)、日本特開2007-122028號(hào)公報(bào)、國際公開第08/078483號(hào)小冊子、國際公開第10/098175號(hào)小冊子、國際公開第10/098183號(hào)小冊子和國際公開第12/067107號(hào)小冊子中，公開了通過使用特定的粘合劑聚合物、光聚合性化合物、光聚合引發(fā)劑以及敏化色素從而提高了上述要求的特性的感光性樹脂組合物。

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明要解決的問題

但是，在以往的感光性樹脂組合物中，在以下方面尚有改善的余地：在維持了所形成的抗蝕圖案的分辨率和密合性的情況下彎曲性優(yōu)異并進(jìn)一步改善顯影性。