[發(fā)明專(zhuān)利]拋光墊無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201380059902.6 | 申請(qǐng)日： | 2013-10-31 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN104812528A | 公開(kāi)（公告）日： | 2015-07-29 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 中村賢治 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 東洋橡膠工業(yè)株式會(huì)社 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | B24B37/013 | 分類(lèi)號(hào)： | B24B37/013;B24B37/22;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京北翔知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11285 | 代理人： | 鐘守期;侯婧 |
| 地址： | 日本大阪*** | 國(guó)省代碼： | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 拋光 | ||
1.一種拋光墊，其具備拋光層，所述拋光層具有拋光區(qū)域及光透過(guò)區(qū)域，所述拋光墊特征在于，所述光透過(guò)區(qū)域包括位于墊表面?zhèn)鹊谋韺雍驮诒韺拥南路綄盈B的至少1層軟質(zhì)層，其中，軟質(zhì)層比表層硬度低。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光墊，其中表層的ASKER?A硬度為35-80度，軟質(zhì)層的ASKER?A硬度為30-60度。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的拋光墊，其中表層的ASKER?A硬度與軟質(zhì)層的ASKER?A硬度的差為5度以上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1-3中的任一項(xiàng)所述的拋光墊，其中軟質(zhì)層為1層。
5.一種半導(dǎo)體器件的制造方法，其包括使用權(quán)利要求1-4中的任一項(xiàng)所述的拋光墊對(duì)半導(dǎo)體晶片的表面進(jìn)行拋光的步驟。
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