[發明專利]閃爍體面板

在審

• 申請號: 201380059802.3
• 申請日: 2013-11-07
• 公開（公告）號: CN104781889A
• 公開（公告）日: 2015-07-15
• 發明（設計）人: 岡村昌紀;榎本裕;井口雄一朗
• 申請（專利權）人: 東麗株式會社
• 主分類號: G21K4/00
• 分類號: G21K4/00;G01T1/20
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 蔡曉菡;劉力

技術領域

本發明涉及用于在醫療診斷裝置、非破壞檢查儀器等中使用的放射線檢測裝置的閃爍體面板。

背景技術

一直以來，在醫療現場廣泛使用了利用膜的X射線圖像。但是，由于利用了膜的X射線圖像是模擬圖像信息，因此在近年來開發了計算機照射術（computed?radiography：CR）、平板型放射線探測器（flat?panel?detector：FPD）等數字方式的放射線檢測裝置。

平板X射線檢測裝置（FPD）中，為了將放射線轉換成可見光而使用了閃爍體面板。閃爍體面板包含碘化銫（CsI）等X射線熒光體，根據所照射的X射線，該X射線熒光體放射出可見光，該光線通過TFT（thin?film?transistor，薄膜晶體管）、CCD（charge-coupled?device，電荷耦合器件）而轉換成電信號，由此將X射線的信息轉換成數字圖像信息。但是，FPD存在S/N比較低這一問題。作為用于提高S/N比的方法而提出了如下方法：從光檢測器側照射X射線的方法（專利文獻1和2）；為了減小由X射線熒光體帶來的可見光發生散射的影響，而向被隔壁分隔開的單元內填充X射線熒光體的方法（專利文獻3~6）。

作為形成這種隔壁的方法，以往使用的方法有如下方法：對硅晶片進行蝕刻加工的方法；或者，通過絲網印刷法將顏料或陶瓷粉末與低熔點玻璃粉末的混合物即玻璃糊劑進行粉末印刷成多層后進行煅燒，從而形成隔壁的方法等。然而，對于對硅晶片進行蝕刻加工的方法，能夠形成的閃爍體面板的尺寸受到硅晶片尺寸的限制，無法獲得500mm見方之類的大尺寸產物。為了制作大尺寸的產物，需要將小尺寸的產物排列多個來制作，該制作在精度方面較為困難，難以制作大面積的閃爍體面板。

另外，在使用了玻璃糊劑的多層絲網印刷法中，由于絲網印刷模板的尺寸變化等而難以進行高精度的加工。另外，為了防止進行多層絲網印刷時的隔壁崩塌缺損，需要將隔壁寬度設為一定值以上來提高隔壁的強度。然而，隔壁寬度變寬時，隔壁間的空間相對變窄，能夠填充X射線熒光體的體積變小，且填充量不均勻。因此，由該方法得到的閃爍體面板中的X射線熒光體的量少，因而存在發光變弱和產生發光不均之類的缺點。這些因素在低劑量的攝影中會對進行清晰的拍攝造成影響。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特許第3333278號

專利文獻2：日本特開2001-330677號公報

專利文獻3：日本特開平5-60871號公報

專利文獻4：日本特開平5-188148號公報

專利文獻5：日本特開2011-007552號公報

專利文獻6：日本特開2011-021924號公報。

發明內容

發明要解決的問題

為了制作發光效率高、實現清晰畫質的閃爍體面板，需要能夠以高精度進行大面積的加工、且能夠縮小隔壁寬度的隔壁加工技術、以及使熒光體所發出的的可見光不向隔壁外部泄露的技術。

本發明的課題在于，解決上述問題，提供大面積而高精度地形成寬度較細的隔壁、且發光效率高、實現清晰畫質的閃爍體面板。

用于解決問題的方案

該課題通過以下技術方案中的任一項來實現。

（1）一種閃爍體面板，其具有閃爍體層，所述閃爍體層包含平板狀的基板、設置在該基板上的隔壁、以及填充在被上述隔壁間隔出的單元內的熒光體，上述隔壁的僅一個側面形成有反射層。

（2）上述（1）所述的閃爍體面板，其中，上述隔壁在30μm厚度下的波長550nm的光的透射率為10~100%。

（3）上述（1）或（2）所述的閃爍體面板，其中，上述反射層的波長550nm的光的反射率為60%以上。

（4）上述（1）~（3）中任一項所述的閃爍體面板，其中，上述隔壁為格子狀的隔壁。

（5）上述（4）所述的閃爍體面板，其中，上述單元被區分為：所有內側面形成有反射層的單元A、以及所有內側面均未形成反射層的單元B。

（6）上述（5）所述的閃爍體面板，其中，上述單元A的間距寬于上述單元B的間距。

（7）上述（1）~（3）中任一項所述的閃爍體面板，其中，上述隔壁為條紋狀的隔壁。

（8）上述（7）所述的閃爍體面板，其中，上述單元被區分為：所有內側面形成有反射層的單元C、以及所有內側面均未形成反射層的單元D。