[發明專利]供電系統

有效

• 申請號: 201380059697.3
• 申請日: 2013-09-24
• 公開（公告）號: CN104838484B
• 公開（公告）日: 2019-04-16
• 發明（設計）人: 辰巳良昭;菅原利文
• 申請（專利權）人: 株式會社創意科技
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;B23Q3/15;H02N13/00
• 代理公司: 隆天知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 王芝艷;馮志云

本發明提供一種靜電夾盤及供電系統，即使在真空環境內也不會產生放電，而能夠進行高電壓驅動，并且能夠謀求對靜電夾盤的供電系統的構造的簡化。供電系統具備靜電夾盤(2)、及電性接觸機構(4)，該靜電夾盤(2)具有升壓電路(3)。僅將升壓電路(3)的端子(31a、32a)露出于外部。端子(31b、32b)連接在吸附電極(23)。電性接觸機構(4)為以軌條(41、42)、及與這些軌條(41、42)接觸的可撓性接觸件(43、44)所構成。軌條(41、42)連接在外部電源(40)，而可撓性接觸件(43、44)設置于靜電夾盤(2)的導電板(45、46)。導電板(45、46)連接于升壓電路(3)的端子(31a、32a)。

技術領域

本發明有關于一種靜電夾盤及供電系統，其用以吸附玻璃基板等被加工板體。

背景技術

如圖8所示，靜電夾盤100一般為固定于處理裝置的真空室200內的底部。并且，由真空室200外的電源210，將驅動用的電源電壓及電氣信號供電至靜電夾盤100，使被加工板體W吸附在靜電夾盤100(例如，參照專利文獻1)。

然而，在如前述的靜電夾盤100固定于真空室200的系統中，并無法在真空室200內使被加工板體W移動至預定部位、或使被加工板體W翻轉，對于處理作業的靈活性較差。

因此，近年來設計出一種將靜電夾盤100設置成能夠在處理裝置的真空室200內移動的系統。

如圖9所示，該靜電夾盤100為滑動自如地配置在載臺150上。借此，靜電夾盤100為在吸附被加工板體W的狀態下搬運至真空室200內的預定部位，使被加工板體W配置在該部位。

一般在如前述的系統中，電源210配置在真空室200的外部，并通過電壓電纜220、220而連接該電源210與由吸附電極130延伸出的供電銷131、131。

然而，近年來從顯示器的大型化及作業時間的縮短化的觀點來看，產生了利用靜電性夾盤100吸附搬運玻璃基板等大型且具重量的被加工板體W的必要性。

為了如前所述將大型且具重量的被加工板體W予以吸附，必須將供應給靜電夾盤100的吸附電極130的電壓設為高電壓，而提升靜電夾盤100的吸附力。尤其，如在蒸鍍裝置所使用的靜電夾盤100，在必須將沉重的被加工板體W朝下側并予以吸附的夾盤中，必須形成非常高的吸附力。

然而，真空室200內于真空環境下，在電壓電纜220、220間會產生放電的疑慮很高。

因此，就電壓電纜220、220而言，為采用高耐壓電纜，并且考慮帕邢(paschen)的易放電區域，來防止真空室200內的電纜部分的放電。這是利用聚硅氧(silicone)或環氧橡膠系的樹脂將導體部分容易露出的部位予以密封而達成。具體而言，利用密封材231、231密封電壓電纜220、220的裝置內電纜部分221、221與供電銷131、131的連接部分，并且利用密封材232、232來密封裝置內電纜部分221、221與裝置外電纜部分222、222的連接部分。

(先前技術文獻)

(專利文獻)

專利文獻1：日本特開2011－238934號公報。

發明內容

(發明所欲解決的課題)

然而，在前述的現有的技術中，會有如下述的問題點。

也就是，因為長年反復進行靜電夾盤100的移動，使負載施加在裝置內電纜部分221、221與供電銷131、131的連接部分及裝置內電纜部分221、221與裝置外電纜部分222、222的連接部分，而會有使密封材231、232劣化的疑慮。結果，因這些接觸部分的露出，而會有產生放電的疑慮。