[發明專利]質量轉移工具

有效

• 申請號: 201380058025.0
• 申請日: 2013-08-27
• 公開（公告）號: CN104781922B
• 公開（公告）日: 2017-04-26
• 發明（設計）人: J·A·希金森;A·比布爾;D·亞伯塔利
• 申請（專利權）人: 蘋果公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;B65G49/07;H01L21/68;B25J9/04
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所11256
• 代理人: 王茂華,陳穎

1.一種質量轉移工具，包括：

關節運動式轉移頭組件，所述關節運動式轉移頭組件包括：

靜電電壓源連接件，用于與靜電轉移頭的陣列電連接；和

安裝表面，用于保持襯底在所述靜電電壓源連接件上，所述襯底支撐所述靜電轉移頭陣列；

承載襯底保持器；和

致動器組件，所述致動器組件調整所述關節運動式轉移頭組件和所述承載襯底保持器之間的空間關系。

2.根據權利要求1所述的質量轉移工具，其中所述襯底能夠可釋放地附接到所述安裝表面并且能夠與所述靜電電壓源連接件電連接。

3.根據權利要求2所述的質量轉移工具，其中所述安裝表面包括與真空源耦接以向所述襯底施加吸力的真空口。

4.根據權利要求1所述的質量轉移工具，其中所述靜電電壓源連接件包括彈性導體，所述彈性導體用于壓在所述襯底上并且將所述襯底與所述靜電電壓源連接件電連接。

5.根據權利要求1所述的質量轉移工具，其中所述致動器組件在至少六個自由度上調整所述空間關系。

6.根據權利要求5所述的質量轉移工具，其中所述致動器組件包括第一致動器子組件和第二致動器子組件，所述第一致動器子組件與所述關節運動式轉移頭組件耦接以在至少四個自由度上調整關節運動式轉移頭組件位置，所述第二致動器子組件與所述承載襯底保持器耦接以在至少兩個自由度上調整承載襯底保持器位置。

7.根據權利要求6所述的質量轉移工具，其中所述第一致動器組件包括第一彎曲部，所述第一彎曲部與所述關節運動式轉移頭組件耦接以在正交于所述靜電轉移頭陣列的接觸表面的方向上約束所述關節運動式轉移頭組件的移動。

8.根據權利要求7所述的質量轉移工具，其中所述第一致動器組件進一步包括與所述關節運動式轉移頭組件耦接的第二彎曲部，所述第二彎曲部包括基本上平行于所述第一彎曲部的第一彎曲表面取向的第二彎曲表面。

9.根據權利要求6所述的質量轉移工具，還包括第一位置傳感器，所述第一位置傳感器相對于所述關節運動式轉移頭組件的所述安裝表面固定以檢測承載襯底在所述承載襯底保持器上的位置。

10.根據權利要求9所述的質量轉移工具，還包括第二位置傳感器，所述第二位置傳感器相對于所述承載襯底保持器固定以檢測所述關節運動式轉移頭組件位置。

11.根據權利要求10所述的質量轉移工具，其中所述第一位置傳感器和所述第二位置傳感器均包括光譜干擾激光位移計。

12.根據權利要求7所述的質量轉移工具，還包括第三位置傳感器，所述第三位置傳感器與所述致動器組件耦接以檢測所述第一彎曲部的第一彎曲表面的撓曲。

13.根據權利要求1所述的質量轉移工具，還包括測力計，所述測力計與所述承載襯底保持器耦接以測量施加到所述承載襯底保持器的力。

14.根據權利要求1所述的質量轉移工具，還包括接收襯底保持器。

15.根據權利要求1所述的質量轉移工具，還包括用于加熱所述襯底的加熱器。

16.根據權利要求1所述的質量轉移工具，還包括加熱器，所述加熱器與所述承載襯底保持器耦接以加熱所述承載襯底保持器。

17.根據權利要求14所述的質量轉移工具，還包括加熱器，所述加熱器與所述接收襯底保持器耦接以加熱所述接收襯底保持器。

18.根據權利要求1所述的質量轉移工具，還包括：

第一成像設備，所述第一成像設備相對于所述關節運動式轉移頭組件固定并且具有第一成像平面；

第二成像設備，所述第二成像設備相對于所述承載襯底保持器固定并且具有第二成像平面；和

基準標記，所述基準標記位于所述第一成像平面和所述第二成像平面之間。

19.根據權利要求18所述的質量轉移工具，其中所述基準標記是透明板的一部分并且包括不對稱圖案。

20.根據權利要求18所述的質量轉移工具，其中所述第一成像設備或所述第二成像設備中的一個或多個包括相機。