[發(fā)明專利]具有支承軸承接觸傳感器的真空泵

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201380057294.5
• 申請(qǐng)日: 2013-10-14
• 公開（公告）號(hào): CN104769285B
• 公開（公告）日: 2018-10-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: M.E.巴拉米;R.G.霍爾勒
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 愛德華茲有限公司
• 主分類號(hào): F04D19/04
• 分類號(hào): F04D19/04;F04D27/00;F04D29/059
• 代理公司: 中國(guó)專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 李陵峰;譚祐祥

1.一種真空泵（10），其包括真空泵送機(jī)構(gòu)（12），所述真空泵送機(jī)構(gòu)包括受支承來由傳動(dòng)軸（16）旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子（14）、用于在所述傳動(dòng)軸旋轉(zhuǎn)期間控制所述轉(zhuǎn)子移動(dòng)的第一軸承組件（22）、用于限制所述移動(dòng)的支承軸承組件（24），以及用于感測(cè)所述移動(dòng)何時(shí)由所述支承軸承組件限制的傳感器（26）；所述傳感器包括相對(duì)于泵殼固定的加速計(jì)，以用于感測(cè)所述泵殼的加速力，其由施加于泵殼的足以引起由支承軸承組件限制的所述移動(dòng)的力引起。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空泵，其中，所述傳動(dòng)軸（16）的移動(dòng)相對(duì)于所述傳動(dòng)軸的軸線（A）通常在徑向方向上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或權(quán)利要求2所述的真空泵，其中，所述支承軸承組件（24）布置成通過與所述轉(zhuǎn)子（14）或所述傳動(dòng)軸（16）接觸來限制所述移動(dòng)，且所述傳感器（26）布置成感測(cè)所述支承軸承組件與所述轉(zhuǎn)子或所述傳動(dòng)軸之間的各次接觸事件。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或權(quán)利要求2所述的真空泵，其中，所述第一軸承組件（22）為非接觸軸承組件，其控制所述移動(dòng)而不接觸所述轉(zhuǎn)子或所述傳動(dòng)軸。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的真空泵，其中，所述第一軸承組件（22）為磁性軸承組件。

6.根據(jù)權(quán)利要求1或權(quán)利要求2所述的真空泵，其中，所述第一軸承組件（22）與所述轉(zhuǎn)子（14）或所述傳動(dòng)軸（16）間隔開一定距離，所述距離大于所述支承軸承組件（24）與所述轉(zhuǎn)子或所述傳動(dòng)軸間隔開的距離。

7.根據(jù)權(quán)利要求1或權(quán)利要求2所述的真空泵，其中，所述傳感器（26）布置成將信號(hào)輸出至計(jì)算器（40），其用于計(jì)算所述支承軸承組件已限制所述移動(dòng)的事件的數(shù)目。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的真空泵，包括指示器（42），其向使用者指出所述事件數(shù)目何時(shí)超過預(yù)測(cè)的所述支承軸承組件的故障的預(yù)定值。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的真空泵，其中，所述指示器（42；42，44，46）為顯示出所述事件數(shù)目的顯示器。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的真空泵，其中，所述指示器包括用于通過有線或無線連接將事件數(shù)目發(fā)射至較遠(yuǎn)位置的發(fā)射器（46）。

11.根據(jù)權(quán)利要求1或權(quán)利要求2所述的真空泵，其中，所述傳感器（26）布置成感測(cè)給予所述真空泵（10）的力的大小，且取決于所述感測(cè)大小關(guān)聯(lián)對(duì)所述支承軸承組件引起的破壞。

12.根據(jù)權(quán)利要求1或權(quán)利要求2所述的真空泵，包括渦輪分子真空泵送機(jī)構(gòu)。