[發明專利]藍寶石單晶體的熱處理方法及裝置

在審

• 申請號: 201380057280.3
• 申請日: 2013-09-10
• 公開（公告）號: CN104755660A
• 公開（公告）日: 2015-07-01
• 發明（設計）人: 李熙春;崔伊植;文圣皖;張桂源;羅卜基
• 申請（專利權）人: 藍寶石科技株式會社
• 主分類號: C30B33/02
• 分類號: C30B33/02;C30B29/20
• 代理公司: 北京冠和權律師事務所 11399
• 代理人: 朱健

1.一種藍寶石單晶體熱處理方法，其特征在于，包括：

將藍寶石單晶體裝入箱室內部的步驟；

對箱室內進行加熱，從而升溫至目標溫度的步驟；

將箱室內的溫度維持在一定溫度的步驟；以及

將箱室內冷卻至常溫的步驟，

所述升溫步驟包括：第一升溫步驟，其以4℃/min～5℃/min的升溫率實施升溫至第一設定溫度；第二升溫步驟，完成第一升溫步驟后，以1℃/min以下的升溫率實施升溫至第二設定溫度。

2.根據權利要求1所述的藍寶石單晶體熱處理方法，其特征在于，

所述第一設定溫度為1700℃，第二設定溫度為1950℃。

3.根據權利要求2所述的藍寶石單晶體熱處理方法，其特征在于，

所述第一設定溫度為1700℃，第二設定溫度為1850℃。

4.根據權利要求1所述的藍寶石單晶體熱處理方法，其特征在于，

所述維持步驟中，維持溫度為1700℃～1950℃，維持時間為5～50小時。

5.根據權利要求1所述的藍寶石單晶體熱處理方法，其特征在于，

所述冷卻步驟中，冷卻速度為0.1℃/min～5℃/min。

6.一種藍寶石單晶體熱處理裝置，其特征在于，包括：

箱室，其收納有藍寶石單晶體；耐火材料，其安裝于所述箱室的內壁面，從而對箱室的內部進行隔熱；發熱體，其設置于所述箱室內部，從而對藍寶石單晶體進行加熱；保護罩部件，其配置為包圍藍寶石單晶體，從而使發熱體的熱不直接傳遞至藍寶石單晶體，并且為了防止所述箱室由熱引起變形，從而使用具有冷媒流動的通道的雙重箱室。

7.根據權利要求6所述的藍寶石單晶體熱處理裝置，其特征在于，

所述耐火材料使用鎢、鉬、碳及石墨系氈及陶瓷類中的某一個。

8.根據權利要求6所述的藍寶石單晶體熱處理裝置，其特征在于，

所述發熱體使用鎢、鉬、石墨及碳化硅中的某一個。

9.根據權利要求6所述的藍寶石單晶體熱處理裝置，其特征在于，

所述保護罩部件使用鎢、鉬、銥、鉭中的某一個。