[發明專利]感光樹脂組合物、其抗蝕劑層壓體和固化產物

有效

• 申請號: 201380056108.6
• 申請日: 2013-10-25
• 公開（公告）號: CN104756012B
• 公開（公告）日: 2019-06-14
• 發明（設計）人: 今泉尚子;稻垣真也;本田那央
• 申請（專利權）人: 日本化藥株式會社
• 主分類號: G03F7/038
• 分類號: G03F7/038;G03F7/004;G03F7/075
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 楊青;穆德駿

1.一種感光樹脂組合物，其包含：環氧樹脂(A)，多元酚化合物(B)，陽離子光聚合引發劑(C)，和含環氧基的硅烷化合物(D)；

其中環氧樹脂(A)包含從下式(1)表示的苯酚衍生物與表鹵代醇反應得到的環氧樹脂(a)：

和下式(2)表示的環氧樹脂(b)：

其中m是平均值，表示在2至30范圍內的實數，R₁和R₂各自獨立地表示氫原子、具有1至4個碳原子的烷基、或三氟甲基，每個X獨立地表示氫原子或縮水甘油基，并且存在的多個X中的至少一個是縮水甘油基；和

多元酚化合物(B)包含一種或多種選自下式(3)至(6)表示的苯酚化合物的化合物：

其中p是平均值，表示在1至10范圍內的實數，并且每個R獨立地表示氫原子或具有1至4個碳原子的烷基；

其中q是平均值，表示在1至10范圍內的實數；

其中z是平均值，表示在1至10范圍內的實數；

其中y是平均值，表示在1至10范圍內的實數，并且R₈和R₉各自獨立地表示氫原子或具有1至4個碳原子的烷基，

其中相對于所述環氧樹脂(a)的質量，所述環氧樹脂(b)的用量是2質量％～4900質量％；

相對于所述環氧樹脂(A)的總質量，所述多元酚化合物(B)的摻合比是1質量％～40質量％；

相對于所述環氧樹脂(A)和所述多元酚化合物(B)的總質量，所述陽離子光聚合引發劑(C)的摻合比是0.1質量％～15質量％；

相對于所述環氧樹脂(A)、所述多元酚化合物(B)和所述陽離子光聚合引發劑(C)的總質量，所述含環氧基的硅烷化合物(D)的摻合比是1質量％～15質量％。

2.根據權利要求1所述的感光樹脂組合物，其中所述含環氧基的硅烷化合物(D)是含環氧基的烷氧基硅烷化合物。

3.根據權利要求1所述的感光樹脂組合物，其還包含溶劑(E)。

4.根據權利要求3所述的感光樹脂組合物，其中相對于包括所述溶劑(E)的感光樹脂組合物的總質量，所述溶劑(E)的摻合比是5質量％～95質量％。

5.根據權利要求1～4中任一項所述的感光樹脂組合物的固化產物。

6.一種抗蝕劑層壓體，其包含夾在兩個襯底之間的根據權利要求1～4中任一項所述的感光樹脂組合物。

7.由根據權利要求6所述的抗蝕劑層壓體形成的干膜抗蝕劑的固化產物。