[發(fā)明專利]用于二維地偏轉(zhuǎn)激光束的掃描裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201380055024.0 | 申請日: | 2013-08-26 |
| 公開(公告)號: | CN104755991B | 公開(公告)日: | 2018-01-02 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | M·胡翁克;R·布呂斯特勒 | 申請(專利權(quán))人: | 通快激光有限責(zé)任公司 |
| 主分類號: | G02B26/10 | 分類號: | G02B26/10 |
| 代理公司: | 永新專利商標(biāo)代理有限公司72002 | 代理人: | 韓長永 |
| 地址: | 德國施*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 用于 二維 偏轉(zhuǎn) 激光束 掃描 裝置 | ||
1.一種掃描裝置(1),用于借助于兩個分別繞軸線(21a、21b)可樞轉(zhuǎn)地支承的、馬達(dá)驅(qū)動的鏡(11a、11b、12a、12b)二維地偏轉(zhuǎn)激光束(2a、2b),所述掃描裝置具有第一馬達(dá)鏡單元(7a、7b)并且具有用于固定所述第一馬達(dá)鏡單元(7a、7b)的載體(3),所述第一馬達(dá)鏡單元具有第一鏡(11a、11b)連同驅(qū)動馬達(dá)(5a、5b),其中,提供至少兩個分別具有裝配法蘭(6a、6b)的第一馬達(dá)鏡單元(7a、7b),所述第一馬達(dá)鏡單元分別具有相同的接觸面(18)并且在鏡大小和/或鏡位置方面相互不同并且所述裝配法蘭可選地能夠利用所述接觸面(18)可拆卸地固定在所述載體(3)的相同的第一安裝面(8)上,所述至少兩個第一馬達(dá)鏡單元(7a、7b)中的一個第一馬達(dá)鏡單元(7a)具有薄的裝配法蘭(6a),和所述至少兩個第一馬達(dá)鏡單元(7a、7b)中的另一個第一馬達(dá)鏡單元(7b)具有較厚的裝配法蘭(6b)。
2.如權(quán)利要求1所述的掃描裝置,其特征在于,具有第二鏡(12a、12b)連同驅(qū)動馬達(dá)(17a、17b)的第二馬達(dá)鏡單元(15a、15b)為了固定在所述載體(3)上具有裝配法蘭(16a、16b),所述裝配法蘭能夠利用接觸面(19)可拆卸地固定在所述載體(3)的第二安裝面(14)上。
3.如權(quán)利要求2所述的掃描裝置,其特征在于,提供至少兩個分別具有裝配法蘭(16a、16b)的第二馬達(dá)鏡單元(15a、15b),所述第二馬達(dá)鏡單元分別具有相同的接觸面(19)并且在鏡大小和/或鏡位置方面相互不同并且所述裝配法蘭可選地能夠可拆卸地固定在所述載體(3)的相同的第二安裝面(14)上。
4.如權(quán)利要求2所述的掃描裝置,其特征在于,所述載體(3)具有壁,所述壁具有接收開口(13a、13b)以用于將所述馬達(dá)鏡單元(7a、7b、15a、15b)至少部分地配合到所述載體(3)中。
5.如權(quán)利要求4所述的掃描裝置,其特征在于,所述接收開口(13a、13b)的輪廓與多個能夠可選地布置的馬達(dá)鏡單元(7a、7b、15a、15b)的不同的鏡大小或不同的鏡位置相適應(yīng)。
6.如權(quán)利要求4或5所述的掃描裝置,其特征在于,所述接收開口(13a、13b)構(gòu)造成長形孔。
7.如權(quán)利要求1-5中任一項(xiàng)所述的掃描裝置,其特征在于,所述載體(3)具有用于所述激光束(2a、2b)的入射開口(4),所述入射開口的開口橫截面與多個能夠可選地布置的馬達(dá)鏡單元(7a、7b)的不同的鏡大小或不同的鏡位置相適應(yīng)。
8.如權(quán)利要求1-5中任一項(xiàng)所述的掃描裝置,其特征在于,所述載體(3)具有用于所述激光束(2a、2b)的入射開口(4),所述入射開口能夠至少部分地用不同的孔板(22a、22b)覆蓋,所述孔板的孔開口(23a、23b)在直徑或相對位置方面相互不同。
9.如權(quán)利要求1-5中任一項(xiàng)所述的掃描裝置,其特征在于,所述載體(3)至少部分地形成所述掃描裝置(1)的殼體(9)。
10.如權(quán)利要求1-5中任一項(xiàng)所述的掃描裝置,其特征在于,在所述載體(3)上能夠固定不同的保持裝置(24a、24b),所述保持裝置將掃描物鏡(25a、25b)相對于所述掃描裝置(1)的鏡(11a、11b、12a、12b)分別以不同的距離定位。
11.如權(quán)利要求7所述的掃描裝置,其特征在于,所述入射開口(4)構(gòu)造成長形孔。
12.一種由多個用于如前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的掃描裝置的馬達(dá)鏡單元(7a、7b、15a、15b)構(gòu)成的組(20),其中,所述馬達(dá)鏡單元(7a、7b、15a、15b)分別具有鏡(11a、11b、12a、12b)連同驅(qū)動馬達(dá)(5a、5b、17a、17b)以及帶有分別相同的接觸面(18、19)的不同裝配法蘭(6a、6b、16a、16b),其中,各個馬達(dá)鏡單元(7a、7b、15a、15b)在鏡大小或鏡位置方面相互不同。
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