[發明專利]用于處理工件的設備和方法

在審

• 申請號: 201380053828.7
• 申請日: 2013-10-17
• 公開（公告）號: CN104919581A
• 公開（公告）日: 2015-09-16
• 發明（設計）人: 克里斯·霍金斯
• 申請（專利權）人: 先進裝配系統瑞士有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;B65G47/252
• 代理公司: 上海旭誠知識產權代理有限公司 31220
• 代理人: 鄭立;應風曄

技術領域

本發明涉及一種用于處理工件的設備和方法，特別是處理平面的基板，如晶片，例如，燃料或太陽能電池晶片。

背景技術

現存用于翻轉工件的各種設備被統稱為翻轉器。

本發明的目的是提供一種改進的工件處理裝置，其尤其可用于較大的工件吞吐量。

發明內容

在一個方面，本發明提供了一種用于處理工件的工件處理設備，其包括：進料站，工件在所述進料站處被接收；出料站，工件從所述出料站被遞送；及工件翻轉裝置，所述工件翻轉裝置可操作以一個定向從進料站遞送工件至出料站，所述定向為工件在所述進料站被接收的定向或與在所述進料站被接收的定向反向的一個定向。

在一個實施例中，所述進料站包括工件輸送裝置，通過所述工件輸送裝置工件被輸送到所述進料站，并且通過所述工件輸送裝置工件可從所述進料站以所述一個定向被輸送到所述出料站。

在一個實施例中，所述出料站包括工件輸送裝置，通過所述工件輸送裝置工件從所述出料站輸送，并且通過所述工件輸送裝置工件可從所述進料站以所述一個定向被輸送到所述出料站。

在一個實施例中，所述工件翻轉裝置包括第一和第二工件支承部件，所述第一和第二工件支承部件相對于進料站和出料站可移動地設置，通過所述第一和第二工件支承部件工件以所述反向的定向從所述進料站被輸送到所述出料站；以及驅動組件，所述驅動組件用于移動所述工件支承部件。

在一個實施例中，所述工件支承部件繞一個在所述進料站和所述出料站之間的位置可轉動。

在一個實施例中，所述工件支承部件各自可在第一工件接收位置和第二工件接收位置之間轉動，在所述第一工件接收位置，當所述工件支承部件位于所述進料站處時，所述工件支承部件鄰近工件的下表面，并被設置以便允許工件在被輸送至所述進料站時通過所述工件支承部件上方，在所述第二工件接收位置，當所述工件支承部件位于所述出料站時，所述工件支承部件鄰近工件的上表面，并被設置以便允許工件在被輸送至所述出料站或從所述出料站輸送時通過所述工件支承部件下方。

在一個實施例中，所述工件支承部件各自包括支承件，當工件被從所述進料站輸送至所述出料站時，所述支承件支承工件；以及臂，所述支承件通過所述臂在所述進料站和所述出料站之間轉動。

在一個實施例中，所述支承件具有平坦的支承表面，并包括至少一個抽吸孔，可選地是多個抽吸孔，通過所述抽吸孔，施加低壓或真空到工件以便將工件保持在所述支承件的固定位置上。

在一個實施例中，所述驅動組件包括第一驅動部件和第二驅動部件，所述第一工件支承部件附接至所述第一驅動部件，所述第二工件支承部件附接至所述第二驅動部件。

在一個實施例中，所述驅動部件可繞大致垂直于所述進料站和所述出料站之間的輸送方向的軸轉動。

在一個實施例中，所述驅動部件獨立地相對于彼此可轉動，從而允許驅動部件以不同的相對速度在至少一部分轉動相位上轉動。

在一個實施例中，所述驅動部件在所述進料站和所述出料站之間的位置橫向地延伸。

在一個實施例中，所述驅動部件在其端處由第一和第二軸承支承。

在一個實施例中，所述第一驅動部件包括細長的第一驅動元件，其一端由所述第一軸承支承，其另一端由所述第二軸承支承。

在一個實施例中，所述第二驅動部件包括細長的第二驅動元件，其一端由所述第二軸承支承，其另一端由所述第一軸承支承。

在一個實施例中，所述第一驅動元件的所述一端包括孔，所述第二驅動元件的所述另一端包括突起，所述突起在所述第一驅動元件的所述一端處的所述孔中被可轉動地支承，可選地是被軸頸支承，所述第二驅動元件的所述一端包括孔，所述第一驅動元件的所述另一端包括突起，所述突起在所述第二驅動元件的所述一端處的所述孔中被可轉動地支承，可選地是被軸頸支承。

在一個實施例中，所述驅動部件分別在其一端處由相應的所述第一和第二軸承支持。

在一個實施例中，所述第一驅動部件包括細長的第一驅動元件，其一端由第一軸承支承。

在一個實施例中，所述第二驅動部件包括細長的第二驅動元件，其一端由所述第二軸承支承。

在一個實施例中，所述第一驅動部件附接至所述第一工件支承部件，使得所述第一工件支承部件隨著所述第一驅動部件的轉動而轉動。

在一個實施例中，所述第二驅動部件附接至所述第二工件支承部件，使得所述第二工件支承部件隨著所述第二驅動部件的轉動而轉動。