[發(fā)明專利]光學(xué)裝置組件

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201380053825.3
• 申請(qǐng)日: 2013-10-07
• 公開（公告）號(hào): CN104838302A
• 公開（公告）日: 2015-08-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: J·德爾納
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 通快激光有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): G02B7/00
• 分類號(hào): G02B7/00;G02B7/182
• 代理公司: 永新專利商標(biāo)代理有限公司 72002
• 代理人: 侯鳴慧

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種光學(xué)裝置組件，其具有一光學(xué)裝置保持件，一反射光學(xué)裝置固定在所述光學(xué)裝置保持件上，該反射光學(xué)裝置用于使入射到所述光學(xué)裝置上的激光射束轉(zhuǎn)向。在公知的光學(xué)裝置組件中，所述反射光學(xué)裝置(例如反射鏡)通過該反射光學(xué)裝置的一個(gè)側(cè)面(例如反射鏡的背側(cè))全表面地與光學(xué)裝置保持件(反射鏡保持件)連接。替換地，所述反射光學(xué)裝置也通過邊緣側(cè)的部分(例如反射鏡的周向側(cè))或前側(cè)的部分固定在所述光學(xué)裝置保持件上。

背景技術(shù)

反射光學(xué)裝置和光學(xué)裝置保持件的這樣的單側(cè)全表面連接然而具有不同的問題。通過在入射點(diǎn)中入射到所述反射光學(xué)裝置上的激光射束，將熱輸入到反射光學(xué)裝置中(下面稱作光學(xué)中心)，該熱導(dǎo)致反射光學(xué)裝置變熱。被輸入的熱通過連接部位給出到所述光學(xué)裝置保持件上或?qū)С龅剿龉鈱W(xué)裝置保持件上，由此出現(xiàn)從激光射束的視為熱源的入射點(diǎn)到看作為散熱器的光學(xué)裝置保持件的熱流。不僅在開始的短暫狀態(tài)中(例如就在接通激光之后不久或就在激光射束入射到所述反射光學(xué)裝置上之后不久)而且在穩(wěn)定狀態(tài)中(在持續(xù)較長(zhǎng)時(shí)間的激光運(yùn)行之后)，在前述熱源和散熱器之間通過導(dǎo)熱出現(xiàn)溫度降(溫度梯度)，從而使得光學(xué)構(gòu)件(反射光學(xué)構(gòu)件和光學(xué)裝置保持件)相應(yīng)于它們的分別局部存在的溫度和與它們的在所有情況下不同的熱伸長(zhǎng)系數(shù)相關(guān)地被局部不同地伸長(zhǎng)。

這些不同的幾何伸長(zhǎng)導(dǎo)致出現(xiàn)構(gòu)件中的應(yīng)力，這些應(yīng)力會(huì)導(dǎo)致構(gòu)件的翹曲。另一方面，構(gòu)件、尤其是反射光學(xué)裝置的幾何伸長(zhǎng)或形變，結(jié)合所述光學(xué)裝置保持件上的單側(cè)全表面固定造成：反射光學(xué)裝置的空間位態(tài)通過溫度影響被改變并會(huì)導(dǎo)致激光射束從它的額定位置出來的不希望的偏轉(zhuǎn)。例如可以由于前述的溫度影響拱曲所述反射光學(xué)裝置以及平移式移動(dòng)所述反射光學(xué)裝置，由此所述激光射束在所述反射光學(xué)裝置上的入射點(diǎn)以及相應(yīng)的入射垂線就空間中的位置和定向而言發(fā)生改變。但是，這對(duì)于激光運(yùn)行而言是不利的，因?yàn)榧す馍涫纱藭?huì)越來越多地朝一可能不希望的方向偏轉(zhuǎn)。此外，構(gòu)件的不同的、溫度造成的伸長(zhǎng)在兩個(gè)構(gòu)件的連接部位上最強(qiáng)地表現(xiàn)出，這導(dǎo)致連接部位的特別大的機(jī)械負(fù)載。

為了克服這些缺點(diǎn)或問題，已知的是為了所述反射光學(xué)裝置與光學(xué)裝置保持件的連接使用特別厚的彈性粘接層。這樣的(厚的、彈性的)粘接層可以至少部分地平衡在兩個(gè)構(gòu)件的連接部位上的伸長(zhǎng)區(qū)別。但是，在對(duì)于光學(xué)元件的精確性的高要求上，該解決方案是不合適的，因?yàn)楹竦恼辰訉訒?huì)對(duì)濕氣改變和溫度改變作出反應(yīng)。此外可以進(jìn)行的是：所述粘接層非連貫地具有準(zhǔn)確不變的厚度，從而使得出現(xiàn)其它不對(duì)稱起作用的影響。此外，厚的粘接層的長(zhǎng)硬化時(shí)間是不利的。此外，厚粘接層可以阻止到光學(xué)裝置保持件中的導(dǎo)熱并由此導(dǎo)致反射光學(xué)裝置中的不希望的蓄熱。涉及兩個(gè)構(gòu)件的溫度造成的伸長(zhǎng)區(qū)別的另一已知的措施是選擇鈦?zhàn)鳛橛糜诠鈱W(xué)裝置保持件的材料，由此一般減小了熱伸長(zhǎng)的差別。但是，鈦?zhàn)鳛椴牧显谫?gòu)置中是比較貴的并且盡管如此僅相對(duì)困難地可以加工。另外的解決可能性設(shè)置了反射光學(xué)裝置在所述光學(xué)裝置保持件上的借助于能相對(duì)運(yùn)動(dòng)的導(dǎo)向裝置和彈動(dòng)元件的機(jī)械上耗費(fèi)的、能相對(duì)運(yùn)動(dòng)的支承。但是，這以不利的方式伴隨不能精確檢測(cè)的摩擦效應(yīng)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的任務(wù)是提供一種光學(xué)裝置組件，通過所述光學(xué)裝置組件可以以簡(jiǎn)單的方式克服或至少減少了現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)。尤其地，激光射束的不希望的、支承造成和溫度造成的偏轉(zhuǎn)應(yīng)當(dāng)被減小或阻止。