[發(fā)明專利]帶電粒子束裝置以及試樣制作方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201380053492.4 | 申請日： | 2013-10-09 |
| 公開（公告）號： | CN104737266B | 公開（公告）日： | 2016-10-26 |
| 發(fā)明（設計）人： | 佐藤高廣;森川晃成;關原雄 | 申請（專利權）人： | 株式會社日立高新技術 |
| 主分類號： | H01J37/317 | 分類號： | H01J37/317;G01N1/28 |
| 代理公司： | 北京銀龍知識產(chǎn)權代理有限公司 11243 | 代理人： | 丁文蘊;金成哲 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 帶電 粒子束 裝置 以及 試樣 制作方法 | ||
【說明書】：
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