[發(fā)明專利]定位設(shè)備、控制設(shè)備和控制方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201380052699.X
• 申請(qǐng)日: 2013-09-27
• 公開（公告）號(hào): CN104704625B
• 公開（公告）日: 2018-03-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: A.J.W.范里伊文努根;F.B.斯佩林
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 皇家飛利浦有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/68
• 分類號(hào): H01L21/68;G03F7/20
• 代理公司: 中國(guó)專利代理(香港)有限公司72001
• 代理人: 李靜嵐,景軍平

1.一種定位設(shè)備（2），包括：

- 包括一個(gè)或多個(gè)支撐元件（11、12、13）的支撐裝置（10），

- 長(zhǎng)行程臺(tái)（20），

- 相對(duì)于所述長(zhǎng)行程臺(tái)（20）在移動(dòng)方向（M）上可移動(dòng)的短行程臺(tái)（50），所述短行程臺(tái)（50）包括由短行程支撐元件（12、13）支撐的短行程臺(tái)載體元件（51），其中所述長(zhǎng)行程臺(tái)（20）和所述短行程臺(tái)（50）中的一個(gè)承載以固定距離彼此相對(duì)布置的兩個(gè)致動(dòng)器（30、40），在兩個(gè)致動(dòng)器之間具有間隙，每個(gè)致動(dòng)器（30、40）包括鐵磁軛（31、41）和布置在所述軛（31、41）的磁通路徑中的磁體（32、33、42、43），以及

- 控制單元（60），被配置為用于通過(guò)首先移動(dòng)所述長(zhǎng)行程臺(tái)（20）發(fā)起所述長(zhǎng)行程臺(tái)（20）和所述短行程臺(tái)（50）在期望移動(dòng)方向（M1）上的移動(dòng)，

所述定位設(shè)備的特征在于：

所述長(zhǎng)行程臺(tái)（20）由長(zhǎng)行程支撐元件（11）支撐并且相對(duì)于長(zhǎng)行程支撐元件（11）在移動(dòng)方向（M）上可移動(dòng)，所述長(zhǎng)行程臺(tái)包括由長(zhǎng)行程支撐元件（11）支撐的長(zhǎng)行程臺(tái)載體元件（21）；

所述長(zhǎng)行程臺(tái)（20）和所述短行程臺(tái)（50）中的另一個(gè)包括布置在所述致動(dòng)器（30、40）之間的鐵磁中心元件（52）；

由包括在所述定位設(shè)備中的所述控制單元（60）發(fā)起的所述長(zhǎng)行程臺(tái)（20）的首先移動(dòng)是在與所述期望移動(dòng)方向（M1）相反的相反方向（M2）上并且/或者在所述期望移動(dòng)方向（M1）上移動(dòng)所述短行程臺(tái)（50），所述移動(dòng)持續(xù)預(yù)定時(shí)間間隔以及比所述長(zhǎng)行程臺(tái)（20）的靜止?fàn)顟B(tài)中的所述鐵磁中心元件（52）與最靠近的致動(dòng)器（30、40）之間的距離（d）更短的距離，并且然后在所述期望移動(dòng)方向（M1）上移動(dòng)所述長(zhǎng)行程臺(tái)（20）。

2.如權(quán)利要求1所述的定位設(shè)備，其中所述軛（31、41）各自具有E形狀、U形狀或C形狀。

3.如權(quán)利要求1所述的定位設(shè)備，其中所述軛（31、41）各自具有E形狀，并且其中所述磁體是布置在相應(yīng)軛（31、41）的中心腿（34、44）的頂部上的永磁體（32、42）。

4.如權(quán)利要求1所述的定位設(shè)備，其中所述軛（31、41）各自具有E形狀，并且其中所述磁體是由圍繞相應(yīng)軛（31、41）的中心腿（34、44）纏繞的線圈形成的電磁體（33、43）。

5.如權(quán)利要求1所述的定位設(shè)備，其中所述軛（31、41）各自具有E形狀，并且其中所述磁體包括布置在相應(yīng)軛（31、41）的中心腿（34、44）的頂部上的永磁體（32、42）和由圍繞相應(yīng)軛（31、41）的中心腿（34、44）纏繞的線圈形成的電磁體（33、43）。

6.如權(quán)利要求4或5所述的定位設(shè)備，還包括電流源（70）以用于將電流提供到所述線圈（33、43）以穩(wěn)定和/或控制所述鐵磁中心元件（52）的位置。

7.如權(quán)利要求1所述的定位設(shè)備，其中所述控制單元（60）被配置為通過(guò)首先以使得所述鐵磁中心元件（52）不與致動(dòng)器（30、40）接觸的預(yù)定時(shí)間和距離、在所述相反方向（M2）上移動(dòng)所述長(zhǎng)行程臺(tái)（20）和/或通過(guò)在所述期望移動(dòng)方向（M1）上移動(dòng)所述短行程臺(tái)（50）來(lái)控制移動(dòng)，隨后將所述長(zhǎng)行程臺(tái)（20）在所述期望移動(dòng)方向（M1）上移動(dòng)。

8.如權(quán)利要求1所述的定位設(shè)備，其中所述控制單元（60）包括用于實(shí)現(xiàn)所述長(zhǎng)行程臺(tái)（20）和/或所述短行程臺(tái)（50）的移動(dòng)的移動(dòng)致動(dòng)器（61）和用于控制所述移動(dòng)致動(dòng)器（61）的控制器（62）。

9.如權(quán)利要求1所述的定位設(shè)備，其中所述兩個(gè)致動(dòng)器（30、40）安裝在所述長(zhǎng)行程臺(tái)載體元件（21）上，并且其中所述鐵磁中心元件（52）安裝在所述短行程臺(tái)載體元件（51）上。

10.如權(quán)利要求1所述的定位設(shè)備，其中所述兩個(gè)致動(dòng)器（30、40）安裝在所述短行程臺(tái)載體元件（51）上，并且其中所述鐵磁中心元件（52）安裝在所述長(zhǎng)行程臺(tái)載體元件（21）上。