[發明專利]檢查具有不規則凹凸表面的基板的裝置及使用該裝置的檢查方法有效
| 申請號： | 201380050996.0 | 申請日： | 2013-09-13 |
| 公開（公告）號： | CN104685970B | 公開（公告）日： | 2016-10-19 |
| 發明（設計）人： | 佐藤祐輔;西村涼 | 申請（專利權）人： | 吉坤日礦日石能源株式會社 |
| 主分類號： | H05B33/10 | 分類號： | H05B33/10;B29C59/02;G01N21/88;G01N21/958;G02B5/02;H01L51/50;H05B33/02 |
| 代理公司： | 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219 | 代理人： | 王海川;穆德駿 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 檢查 具有 不規則 凹凸 表面 裝置 使用 方法 | ||
【權利要求書】：
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