[發(fā)明專利]表面被覆膜的形成方法和具有表面被覆膜的太陽能電池

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201380050849.3
• 申請(qǐng)日: 2013-09-03
• 公開（公告）號(hào): CN104685611B
• 公開（公告）日: 2018-04-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 上迫浩一;吉葉修平;谷津克也
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東京應(yīng)化工業(yè)株式會(huì)社;國立大學(xué)法人東京農(nóng)工大學(xué)
• 主分類號(hào): H01L21/316
• 分類號(hào): H01L21/316;H01L31/04
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司11021
• 代理人: 葛凡

1.一種具有選自Si、Ti、Zr元素中的2種以上元素的表面被覆膜的形成方法，其包括以下工序：

涂布工序，將包含表面被覆膜形成用化合物成分和有機(jī)溶劑成分的表面被覆膜形成用組合物涂布于被覆對(duì)象基材，形成涂布膜，其中，所述表面被覆膜形成用化合物成分具有選自Si、Ti、Zr元素的2種以上元素；

燒成工序，對(duì)所述涂布膜進(jìn)行燒成，

所述表面被覆膜形成用化合物成分包含在酸催化劑下的部分水解產(chǎn)物，所述部分水解產(chǎn)物是具有Si、Ti、Zr中的任一種的、醇化物及乙酰丙酮化物的部分水解產(chǎn)物，

所述有機(jī)溶劑成分含有一元醇類和酮類。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面被覆膜的形成方法，其中，所述酮類為選自丙酮、乙酰丙酮、甲基乙基酮和甲基異戊基酮中的至少一種酮。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面被覆膜的形成方法，其中，所述表面被覆膜形成用組合物中的所述表面被覆膜形成用化合物成分的固體成分濃度為1～20質(zhì)量％。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面被覆膜的形成方法，其中，所述表面被覆膜為鈍化膜。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面被覆膜的形成方法，其中，所述表面被覆膜形成用組合物包含具有Si和Ti元素的表面被覆膜形成用化合物成分和有機(jī)溶劑成分，并且，換算成SiO₂和換算成TiO₂時(shí)的質(zhì)量比為1∶99～97∶3。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面被覆膜的形成方法，其中，所述表面被覆膜形成用組合物包含具有Si和Zr元素的表面被覆膜形成用化合物成分和有機(jī)溶劑成分，并且，換算成SiO₂和換算成ZrO₂時(shí)的質(zhì)量比為1∶99～97∶3。

7.一種太陽能電池，其具有利用權(quán)利要求1～6中任一項(xiàng)所述的表面被覆膜的形成方法形成的表面被覆膜。