[發明專利]能量衰減器、激光輸出計、激光輸出測定方法以及激光輸出監視系統

有效

• 申請號: 201380050680.1
• 申請日: 2013-09-25
• 公開（公告）號: CN104685329B
• 公開（公告）日: 2017-03-08
• 發明（設計）人: 長谷川正彥;松本康成
• 申請（專利權）人: 三菱電機株式會社
• 主分類號: G01J1/02
• 分類號: G01J1/02;G01J1/42;B23K26/00;H01S3/00
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司11112
• 代理人: 何立波,張天舒

1.一種能量衰減器，其特征在于，具有：

受光體，該受光體在其內表面對來自激光振蕩器的激光進行受光，將激光輸出變換為熱；

殼體，其以包圍所述受光體的外表面的方式安裝在所述受光體上，在與所述受光體的外表面之間形成冷卻水的水路；

向所述水路的入水孔以及出水孔，它們設置在所述殼體上；

隔熱體，其在所述受光體和所述殼體的安裝部上，將所述受光體和所述殼體熱絕緣；以及

溫度測定單元，其測定所述受光體的溫度。

2.一種激光輸出測定方法，其使用權利要求1所述的能量衰減器，

該激光輸出測定方法的特征在于，由下述工序構成：

第1工序，在該工序中，阻斷向所述能量衰減器的冷卻水的流通；

第2工序，在該工序中，使激光振蕩恒定期間；

第3工序，在該工序中，對所述受光體的溫度測定單元的輸出信號的最大變化值進行測定；

第4工序，在該工序中，以所述最大變化值、所述能量衰減器的熱容量以及激光振蕩時間為基礎，利用變換單元計算激光輸出值；以及

第5工序，在該工序中，輸出或顯示所述激光輸出值。

3.根據權利要求2所述的激光輸出測定方法，其特征在于，

所述變換單元由A/D變換器和運算電路構成，以由預想的激光輸出引起的所述溫度測定單元的輸出值成為所述A/D變換器的輸入范圍的大致90％的方式，通過激光振蕩控制單元對激光振蕩期間進行控制。

4.根據權利要求1所述的能量衰減器，其特征在于，

所述溫度測定單元設置在所述受光體的外表面。

5.根據權利要求1所述的能量衰減器，其特征在于，

所述溫度測定單元設置在所述受光體的內表面，且位于向所述殼體的安裝部附近。

6.根據權利要求1所述的能量衰減器，其特征在于，

所述溫度測定單元是熱電偶、鉑電阻或者溫度傳感器IC。

7.一種激光輸出計，其特征在于，

將由權利要求1所述的能量衰減器所具備的所述溫度測定單元檢測出的信號變換為激光輸出。

8.根據權利要求7所述的激光輸出計，其特征在于，具有：

流水阻斷單元，其使所述能量衰減器的冷卻水的流動停止；以及

激光振蕩的控制單元，其將激光向受光體照射恒定時間。

9.根據權利要求7所述的激光輸出計，其特征在于，

所述變換單元根據向所述能量衰減器照射激光的激光振蕩器的振蕩時間測定單元的輸出信號、所述能量衰減器的冷卻水的溫度測定單元的輸出信號、氣溫的測定單元的輸出信號、以及所述溫度測定單元的輸出信號，計算激光輸出。

10.一種激光輸出監視系統，其使用權利要求1所述的能量衰減器，

該激光輸出監視系統的特征在于，具有：

控制單元，其在所述激光振蕩器的電源接通中，而且，在不需要激光振蕩的期間，自動地對激光輸出進行測定；

激光輸出的存儲單元；

對激光輸出的經時變化進行運算的單元；

根據激光輸出的變化而選定激光振蕩器的維護內容的單元；以及

基于所述維護內容而通知維護部件的單元或根據維護內容通知維護時期的單元。