[發(fā)明專(zhuān)利]用于制造光電子器件的方法和設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201380049688.6
• 申請(qǐng)日: 2013-09-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104685653B
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-04-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 安德魯·英格爾;馬克·菲利彭斯;蒂爾曼·施倫克爾
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 歐司朗OLED股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L51/52
• 分類(lèi)號(hào): H01L51/52
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11227
• 代理人: 丁永凡,張春水

技術(shù)領(lǐng)域

在不同的實(shí)施方式中提供用于制造光電子器件的方法和設(shè)備。

背景技術(shù)

例如OLED的有機(jī)光電子器件能夠具有陽(yáng)極和陰極以及在其之間的有機(jī)功能層系統(tǒng)。有機(jī)功能層系統(tǒng)能夠具有一個(gè)或多個(gè)發(fā)射體層，在所述一個(gè)或多個(gè)發(fā)射體層中例如產(chǎn)生電磁輻射；一個(gè)或多個(gè)載流子對(duì)生成層結(jié)構(gòu)，所述一個(gè)或多個(gè)載流子對(duì)生成層結(jié)構(gòu)分別由兩個(gè)或更多個(gè)載流子對(duì)生成層(“charge?generating?layer”，CGL)構(gòu)成以用于產(chǎn)生載流子對(duì)；以及一個(gè)或多個(gè)電子阻擋層，也稱(chēng)作為空穴傳輸層(“hole?transport?layer”，HTL)；和一個(gè)或多個(gè)空穴阻擋層，也稱(chēng)作為電子傳輸層(“electron?transport?layer”，ETL)，以便定向電流流動(dòng)。

有機(jī)基礎(chǔ)的光電子器件、例如有機(jī)發(fā)光二極管(Organic?Light?Emitting?Diode，OLED)越來(lái)越廣泛地被應(yīng)用并且能夠用于對(duì)表面進(jìn)行照明。表面在此例如能夠理解為臺(tái)面、壁或地板。然而有機(jī)器件的、例如有機(jī)光電子器件的有機(jī)組成部分通常相對(duì)于有害的環(huán)境影響是易受影響的。

有害的環(huán)境影響能夠理解為全部下述影響，所述影響可能能夠?qū)е掠袡C(jī)材料或材料混合物的退化或老化、例如交聯(lián)或結(jié)晶進(jìn)而能夠限制有機(jī)器件的運(yùn)行持續(xù)時(shí)間。

有害的環(huán)境影響例如能夠是有害材料的材料混合物或有機(jī)材料，例如氧和/或例如溶劑、例如水。

為了保護(hù)免受有害環(huán)境影響將有機(jī)器件封裝。在封裝時(shí)，將有機(jī)器件用對(duì)于有害環(huán)境影響不可穿透的封裝層包圍，例如對(duì)于水或氧不可穿透的薄膜。

薄膜封裝的有機(jī)的光電子器件、例如有機(jī)發(fā)光二極管的封裝層應(yīng)盡可能是無(wú)缺陷的。即使所述封裝層中的沿著結(jié)晶界限的擴(kuò)散通道或微觀的缺陷也能夠引起整個(gè)OLED的缺陷。借助于濕氣作用在此能夠在OLED的視域中形成不發(fā)光的圓形的點(diǎn)(黑點(diǎn))，所述點(diǎn)能夠隨時(shí)間生長(zhǎng)。

然而，在封裝時(shí)不能夠完全地排除在封裝層中還存在缺陷。為了將OLED的損害保持得小，在常規(guī)的方法中借助于環(huán)氧樹(shù)脂粘結(jié)劑將玻璃覆蓋件層壓到封裝層上。

借助于玻璃覆蓋件能夠降低水?dāng)U散到光電子器件中的速度，使得例如OLED的封裝層中的缺陷顯著變緩地引起OLED中的可見(jiàn)的缺陷。

在另一常規(guī)的方法中，玻璃覆蓋件能夠例如借助于玻璃焊料連接(英文為glass?frit?bonding玻璃焊料接合/glass?soldering玻璃焊接/seal?glass?bonding密封玻璃接合)借助于常規(guī)的玻璃料在有機(jī)光電子器件的幾何的邊緣區(qū)域中施加到封裝層上。

發(fā)明內(nèi)容

在不同的實(shí)施方式中，提供用于制造光電子器件的方法和設(shè)備，借助其可以將光電子器件的、例如光電子器件的薄膜封裝的質(zhì)量改進(jìn)成，使得構(gòu)成無(wú)缺陷的光電子器件進(jìn)而能夠排除由于濕氣損壞引起的早期失效。

在本說(shuō)明書(shū)的范圍內(nèi)，能夠?qū)又械臄U(kuò)散通道理解為具有至少兩個(gè)開(kāi)口的層中的空腔，例如理解為孔、細(xì)孔、連接(互聯(lián))等。擴(kuò)散通道例如能夠構(gòu)成在層中，使得通過(guò)擴(kuò)散通道將層的不同側(cè)彼此連接。材料或材料混合物能夠穿過(guò)擴(kuò)散通道從擴(kuò)散通道的開(kāi)口遷移或擴(kuò)散到擴(kuò)散通道的至少一個(gè)第二開(kāi)口，例如借助于滲透壓力或以電泳的方式來(lái)遷移或擴(kuò)散。

在本說(shuō)明書(shū)的范圍中，能夠不考慮相應(yīng)的聚集態(tài)將有機(jī)材料理解成呈化學(xué)一致的形式存在的、表征特征性的物理和化學(xué)特性的碳化合物。此外，在本說(shuō)明書(shū)的范圍中，能夠不考慮相應(yīng)的聚集態(tài)將無(wú)機(jī)材料理解成呈化學(xué)一致的形式存在的、表征特征性的物理和化學(xué)特性的不具有碳的化合物或單碳化合物。在本說(shuō)明書(shū)的范圍中，能夠不考慮相應(yīng)的聚集態(tài)將有機(jī)-無(wú)機(jī)材料(混合材料)理解成呈化學(xué)一致的形式存在的、表征特征性的物理和化學(xué)特性的具有包含碳的化合物部分和不包含碳的化合物部分的化合物。在本說(shuō)明書(shū)的范圍中，術(shù)語(yǔ)“材料”包括全部上述材料，例如有機(jī)材料、無(wú)機(jī)材料和/或混合材料。此外，在本說(shuō)明書(shū)的范圍中，能夠如下理解材料混合物：組成部分由兩種或更多種不同材料構(gòu)成，其組成部分例如非常精細(xì)地分布。將由一種或多種有機(jī)材料、一種或多種無(wú)機(jī)材料或一種或多種混合材料理解為作為材料類(lèi)。術(shù)語(yǔ)“物質(zhì)”能夠與術(shù)語(yǔ)“材料”同義地應(yīng)用。

在本說(shuō)明書(shū)的范圍內(nèi)，當(dāng)?shù)谝徊牧匣虻谝徊牧匣旌衔锏奈锢砗突瘜W(xué)特性與第二材料或第二材料混合物的物理和化學(xué)特性相同時(shí)，第一材料或第一材料混合物能夠是與第二材料或第二材料混合物相同的。