[發明專利]用于去除和防止金屬線表面形成氧化物的組合物

有效

• 申請號: 201380049569.0
• 申請日: 2013-07-24
• 公開（公告）號: CN104662202B
• 公開（公告）日: 2017-06-20
• 發明（設計）人: 崔好星;柳匡鉉;裵鍾一;李鍾淳;梁惠星;河相求
• 申請（專利權）人: LTC有限公司
• 主分類號: C23F1/44
• 分類號: C23F1/44;C23F1/10
• 代理公司: 北京三高永信知識產權代理有限責任公司11138
• 代理人: 滕一斌

1.一種用于去除和防止金屬線表面氧化物形成的組合物，包括：

0.01-20重量％的下述化學式1所示的化合物；

10-99.99重量％的有機溶劑；以及

0-70重量％的水：

化學式1

其中，化學式1中，X¹是C或S；

X²是CR¹₂、NR²、O或S，此處R¹和R²各自獨立地為氫、C_1-12烷基、C_1-12烷基硫醇或C_1-12烷氧基，C_6-12芳基，或羥基，以及

X³和X⁴各自獨立地為CR³或N，此處R³獨立地為氫、C_1-12烷基或C_1-12烷基硫醇，或氫，以及，此處當X³和X⁴均為CR³且R³為C_1-12烷基時，取代基R³末端的碳可以相互鍵合形成飽和或不飽和的環；

其中，所述有機溶劑為胺系溶劑。

2.根據權利要求1所述的用于去除和防止金屬線表面氧化物形成的組合物，其中，所述胺系溶劑選自由：單乙醇胺、單異丙胺、二乙醇胺、三乙醇胺、N-甲基二乙醇胺、二異丙胺、氨丙醇、單甲基乙醇胺、氨乙基乙醇胺、二甲基乙醇胺、嗎啉、N-甲基嗎啉、N-乙基嗎啉、N-氨乙基哌嗪、二甲基哌嗪、二甲氨基丙胺、氨丙基嗎啉、甲氧基丙胺、五甲基二亞乙基胺、乙二胺、二亞乙基三胺、三亞乙基四胺、四亞乙基五胺、及其混合物組成的組。

3.根據權利要求1所述的用于去除和防止金屬線表面氧化物形成的組合物，其中，所述金屬是Cu。