[發明專利]調度表生成裝置以及方法、基板處理裝置以及方法

有效

• 申請號: 201380049382.0
• 申請日: 2013-07-25
• 公開（公告）號: CN104662640B
• 公開（公告）日: 2017-04-12
• 發明（設計）人: 平藤裕司
• 申請（專利權）人: 斯克林集團公司
• 主分類號: H01L21/02
• 分類號: H01L21/02;G05B19/418;H01L21/677
• 代理公司: 隆天知識產權代理有限公司72003
• 代理人: 董雅會,向勇

技術領域

本發明涉及對基板處理的流程進行計劃的調度表生成裝置、調度表生成程序、具有該調度表生成裝置的基板處理裝置、調度表生成方法以及基板處理方法。

背景技術

具有多種對基板進行處理的基板處理裝置。例如，專利文獻1的基板處理裝置，經由基板翻轉單元以及基板載置部將對未處理基板以及已處理基板進行收集的分度器部、對基板進行清洗等處理的處理部連接。在分度器部以及處理部分別配置各部專用的搬運機械手。

在專利文獻1中公開了具有獨立被驅動來前進或后退的兩個臂部的分度器部用搬運機械手(主機械手)。另外，在該兩個臂部各自的頂端設置有基板保持手部，該基板保持手部能夠保持兩張基板，因此共計能夠搬運4張基板。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：JP特開2010-45214號公報

發明內容

發明要解決的問題

但是，在該文獻中，沒有公開在一系列的基板處理中主機械手在哪個時刻應該訪問哪個處理單元。因此，在一系列的基板處理中，不能夠確切地根據狀況設定各基板的搬運調度表。

本發明是鑒于上述的問題而提出的，其目的在于提供一種在一系列的基板處理中，能夠確切地根據狀況設定各基板的搬運調度表，來提高基板處理裝置的生產率的技術。

用于解決問題的手段

為了解決上述的問題，第1方式的調度表生成裝置，用于生成基板處理裝置的控制調度表，該控制調度表包括搬運處理的調度表，該搬運處理指，利用規定的搬運單元將被多個處理單元并行且在彼此獨立的時刻處理過的多張基板向規定的搬運目的地搬運的處理，該調度表生成裝置的特征在于，具有比較單元和選擇性調度表生成單元，該比較單元針對在先基板和在后基板相互比較第1判定用時刻值和第2判定用時刻值，所述在先基板指，通過所述多個處理單元中的任意的一處理單元進行的處理先結束的基板，所述在后基板指，通過所述多個處理單元中的與所述一處理單元不同的處理單元進行的處理在所述在先基板的處理結束之后結束的基板，在將對所述在先基板進行處理的處理單元稱為第1處理單元，將對所述在后基板進行處理的處理單元稱為第2處理單元時，所述第1判定用時刻值為與依次搬出流程結束的時刻相對應的時刻值，所述依次搬出流程為，依次對所述在先基板和所述在后基板進行所述搬運處理的搬出時序，所述第2判定用時刻值為與一并搬出流程結束的時刻相對應的時刻值，所述一并搬出流程表為，使所述在先基板待機至通過所述第2處理單元對所述在后基板進行的處理結束為止，并在對所述在后基板的處理結束之后，對所述在先基板和所述在后基板一并進行所述搬運處理的搬出時序；在所述第1判定用時刻比所述第2判定用時刻早時，所述選擇性調度表生成單元采用所述依次搬出流程來生成所述基板處理裝置的調度表數據，在所述第2判定用時刻比所述第1判定用時刻早時，所述選擇性調度表生成單元采用所述一并搬出流程來生成所述基板處理裝置的調度表數據。

第2方式的調度表生成裝置，在第1方式的調度表生成裝置中，其特征在于，所述比較單元代替所述第1判定用時刻值采用表示第一特定時刻的時刻值作為所述第1判定用時刻值，該第一特定時刻指，比通過所述處理部對所述在先基板進行的處理結束的時刻延遲包含往返所需時間的時間的時刻，所述比較單元代替所述第2判定用時刻值采用表示第二特定時刻的時刻值作為所述第2判定用時刻值，該第二特定時刻指，通過所述處理部對所述在后基板進行的處理結束的時刻。

第3方式的調度表生成裝置，在第2方式的調度表生成裝置中，其特征在于，在通過所述多個處理單元進行的處理結束的基板被所述搬運單元保持為止的期間，存在需要規定的中間處理時間的中間處理，所述中間處理是不能對兩張以上的基板同時執行，僅能夠依次逐張地對基板執行的排他性處理，將通過所述第1處理單元對所述在先基板進行的處理結束的預計時刻作為第1處理結束預計時刻，將通過所述第2處理單元對所述在后基板進行的處理結束的預計時刻作為第2處理結束預計時刻，所述比較單元基于與所述第1處理結束預計時刻相比延遲包含所述中間處理時間和所述往返所需時間的時間的時刻，確定所述第1判定用時刻值，所述比較單元基于所述第2處理結束預計時刻，確定所述第2判定用時刻值。

第4方式的調度表生成裝置，在第3方式的調度表生成裝置中，其特征在于，所述搬運單元具有多個基板保持單元，所述多個基板保持單元能夠分別從所述多個處理單元一次取出一張基板，所述中間處理是從所述多個基板保持單元所對應的處理單元取出基板的處理。