[發明專利]物體交換方法、物體交換系統、曝光裝置、平面顯示器的制造方法、及組件制造方法

有效

• 申請號: 201380049087.5
• 申請日: 2013-08-07
• 公開（公告）號: CN104662478B
• 公開（公告）日: 2017-08-11
• 發明（設計）人: 青木保夫
• 申請（專利權）人: 株式會社尼康
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;B65G49/06;H01L21/027;H01L21/677
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司11127
• 代理人: 湯在彥

1.一種物體交換方法，是將配置于既定的物體交換位置處的第1物體交換成第2物體，其特征在于，其包含：

使保持有所述第1物體的物體保持裝置位于所述物體交換位置的動作；

使所述第1物體懸垂支撐于設在所述物體交換位置的支撐裝置的動作；

使懸垂支撐于所述支撐裝置的所述第1物體從所述物體保持裝置離開的動作；

沿通過所述物體保持裝置與設于所述物體保持裝置的外部的外部導引構件而形成的搬入用導引面將第2物體插入懸垂支撐于所述支撐裝置的所述第1物體與所述物體保持裝置之間，而使所述第2物體移動搬入至所述物體保持裝置的動作；以及

通過在將所述第2物體移交至所述物體保持裝置后，使所述第1物體相對于所述支撐裝置移動，以將所述第1物體從所述物體交換位置搬出的動作。

2.如權利要求1所述的物體交換方法，其特征在于，所述第1物體在保持于所述物體保持裝置的狀態下其一面對向于該物體保持裝置；

所述支撐的動作，是使所述第1物體的另一面以非接觸狀態懸垂支撐于所述支撐裝置。

3.如權利要求2所述的物體交換方法，其特征在于，所述支撐的動作，是通過使氣體高速通過所述支撐裝置與所述第1物體之間，以使重力方向往上的力作用于所述第1物體。

4.如權利要求3所述的物體交換方法，其特征在于，所述搬入的動作，是使所述第2物體懸浮于所述搬入用導引面上。

5.如權利要求1所述的物體交換方法，其特征在于，所述搬出的動作，是沿通過所述支撐裝置與所述外部導引構件而形成的搬出用導引面，使所述第1物體移動。

6.如權利要求1至5任一項所述的物體交換方法，其特征在于，所述搬入的動作及所述搬出的動作，是使用共同的驅動裝置使所述第1和第2物體移動。

7.如權利要求6所述的物體交換方法，其特征在于，在所述搬出的動作中，所述第1物體的動作路徑與在所述搬入的動作中的所述第2物體的動作路徑相同。

8.如權利要求5所述的物體交換方法，其特征在于，所述搬入的動作包含使所述搬入用導引面相對水平面傾斜，通過所述第2物體的自重使該第2物體移動的動作；

所述搬出的動作包含使所述搬出用導引面相對水平面傾斜，通過所述第1物體的自重使該第1物體移動的動作。

9.一種物體交換系統，是將配置于既定的物體交換位置的第1物體交換成第2物體，其特征在于，其具備：

物體保持裝置，能保持所述第1物體；

支撐裝置，設于所述物體交換位置、能懸垂支撐所述第1物體；

驅動系，在保持有所述第1物體的所述物體保持裝置位于所述物體交換位置且所述第1物體被懸垂支撐于所述支撐裝置的狀態下，使所述第1物體從所述物體保持裝置離開；以及

物體交換裝置，具有設于所述物體保持裝置的外部、與所述物體保持裝置一起形成搬入用導引面的外部導引構件，通過在所述物體保持裝置與所述第1物體離開的狀態下，沿所述搬入用導引面使所述第2物體插入移動至該物體保持裝置與該第1物體之間，而將該第2物體搬入至所述物體保持裝置，且通過在將所述第2物體移交至所述物體保持裝置后，使所述第1物體相對所述支撐裝置移動，以將所述第1物體從所述物體交換位置搬出。

10.如權利要求9所述的物體交換系統，其特征在于，所述第1物體在保持于所述物體保持裝置的狀態下其一面對向于該物體保持裝置；

所述支撐裝置，是將所述第1物體的另一面以非接觸狀態懸垂支撐。

11.如權利要求10所述的物體交換系統，其特征在于，所述支撐裝置，是通過使氣體高速通過其與所述第1物體之間，以使沿重力方向往上的力作用于該第1物體。

12.如權利要求9所述的物體交換系統，其特征在于，所述物體保持裝置及所述外部導引構件是使所述第2物體懸浮于所述搬入用導引面上。

13.如權利要求9所述的物體交換系統，其特征在于，所述物體交換裝置，是沿通過所述支撐裝置與所述外部導引構件而形成的搬出用導引面，使所述第1物體移動以將該第1物體搬出。