[發(fā)明專利]寬離子束用的具多天線電感性耦合等離子體離子源有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201380049073.3 | 申請日： | 2013-08-08 |
| 公開（公告）號： | CN104885186B | 公開（公告）日： | 2017-03-08 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 科斯特爾·拜洛;約瑟·C·歐爾森;艾德沃·W·比爾;瑪尼·斯?fàn)栠_(dá)斯奇 | 申請（專利權(quán)）人： | 瓦里安半導(dǎo)體設(shè)備公司 |
| 主分類號： | H01J37/08 | 分類號： | H01J37/08;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京同立鈞成知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11205 | 代理人： | 馬雯雯,臧建明 |
| 地址： | 美國麻薩諸塞*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 離子束 天線 感性 耦合 等離子體 離子源 | ||
1.一種寬離子束源，包括：
多個射頻窗，其以預(yù)設(shè)關(guān)系布置；
單一等離子體腔體，配置在所述多個射頻窗的第一側(cè)；
多個射頻天線，每一所述多個射頻天線配置在各別的每一所述多個射頻窗的第二側(cè)，且所述第二側(cè)與所述第一側(cè)相對；以及
多個射頻源，每一所述多個射頻源耦接于各別的每一所述多個射頻天線，其中藉由耦接于第一射頻天線的第一射頻源產(chǎn)生的第一射頻信號及藉由耦接于與所述第一射頻天線相鄰的一射頻天線的第二射頻源產(chǎn)生的第二射頻信號之間的頻率差異大于10千赫茲。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的寬離子束源，其中所述頻率差異小于100千赫茲。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的寬離子束源，其中所述第一射頻源產(chǎn)生的所述第一射頻信號的頻率與所述第二射頻源產(chǎn)生的所述第二射頻信號的頻率相差至少5％且少于1.0％。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的寬離子束源，其中所述多個射頻窗的端對端尺寸為至少2米。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的寬離子束源，其中所述多個射頻源彼此各別獨(dú)立運(yùn)作。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的寬離子束源，其中每一所述多個射頻源還包括各自的匹配網(wǎng)絡(luò)與射頻電壓平衡電容。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的寬離子束源，其中所述各別的匹配網(wǎng)絡(luò)是以其各別的射頻源頻率作校準(zhǔn)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的寬離子束源，其中所述多個射頻窗的所述預(yù)設(shè)關(guān)系包括共面關(guān)系。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的寬離子束源，其中多個射頻源包括：
第一源，經(jīng)組態(tài)以產(chǎn)生所述第一射頻信號于13.46兆赫茲頻率；
第二源，經(jīng)組態(tài)以產(chǎn)生第二射頻信號于13.56兆赫茲頻率；以及
第三源，經(jīng)組態(tài)以產(chǎn)生第三射頻信號于13.66兆赫茲頻率。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的寬離子束源，還包括：
提取開口，座落在所述單一等離子體腔體周圍并與所述多個射頻窗相對，所述提取開口經(jīng)組態(tài)以從所述單一等離子體腔體中提取離子，
其中所述寬離子束源經(jīng)組態(tài)以從提取開口提取離子后產(chǎn)生均勻度為8％或小于8％的離子束。
11.一種產(chǎn)生寬離子束源的系統(tǒng)，包括：
多個射頻窗，其以預(yù)設(shè)關(guān)系布置；
單一等離子體腔體，配置在所述多個射頻窗的第一側(cè)；
多個射頻天線，其中每一所述多個射頻天線配置在各別的每一所述多個射頻窗的第二側(cè)，且所述第二側(cè)相對于所述第一側(cè)；以及
多個射頻源，每一所述多個射頻源經(jīng)組態(tài)以運(yùn)轉(zhuǎn)于13.56兆赫茲，變異差在2％以內(nèi)的頻率，其中每一所述多個射頻源耦接于各別的每一所述多個射頻天線，其中藉由耦接于第一射頻天線的第一射頻源產(chǎn)生的第一射頻信號及耦接于與所述第一射頻天線相鄰的一射頻天線的第二射頻源產(chǎn)生的第二射頻信號之間的頻率差異大于10千赫茲。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的產(chǎn)生寬離子束源的系統(tǒng)，其中所述第一射頻源產(chǎn)生的所述第一射頻信號的頻率與所述第二射頻源產(chǎn)生的所述第二射頻信號的頻率相差至少5％且少于1.0％。
13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的產(chǎn)生寬離子束源的系統(tǒng)，其中所述多個射頻源彼此各自獨(dú)立運(yùn)作。
14.根據(jù)權(quán)利要求11所述的產(chǎn)生寬離子束源的系統(tǒng)，包括至少三個射頻窗與至少三個射頻天線，每一射頻天線耦接于各別的一個射頻窗，以及至少三個射頻源，每一射頻源耦接于各別的一個射頻天線。
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