[發(fā)明專利]涂布裝置以及涂布方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201380048511.4
• 申請(qǐng)日: 2013-09-12
• 公開（公告）號(hào): CN104661759B
• 公開（公告）日: 2017-11-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 林田健兒;北村義之;川竹洋;大霜征彥;村尾幸一
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東麗工程株式會(huì)社
• 主分類號(hào): B05C5/02
• 分類號(hào): B05C5/02;B05C11/10;B05D1/26;B05D3/00
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11127
• 代理人: 李輝,于靖帥

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及通過從形成于噴嘴的縫噴出涂布液從而向基板涂布涂布液的涂布裝置以及涂布方法。

背景技術(shù)

作為向玻璃基板和膠片等基板涂布涂布液的裝置，公知有如下的涂布裝置(例如，參照專利文獻(xiàn)1)，該涂布裝置具有噴嘴，該噴嘴形成有噴出涂布液的縫。該涂布裝置具有：積存涂布液的容器；以及用于將該容器內(nèi)的涂布液供給到噴嘴的縫的泵。

縫沿著基板的寬度方向形成為較長(zhǎng)，例如，通過一邊使噴嘴相對(duì)于載置于載臺(tái)上的基板水平移動(dòng)，一邊從縫噴出涂布液，從而能夠在基板的表面上形成涂布液的薄膜(涂膜)。

在使用這樣的涂布裝置開始向基板涂布粘度比較高的涂布液的情況下，因從泵到噴嘴的樹脂制配管以及噴嘴內(nèi)的縫的阻力，導(dǎo)致相對(duì)于泵的動(dòng)作開始，涂布液的流動(dòng)和涂布液從縫的噴出動(dòng)作產(chǎn)生延遲，因該延遲而導(dǎo)致在涂布開始時(shí)涂膜厚度降低而給涂布品質(zhì)帶來(lái)影響。

并且，若為了高速地涂布粘度比較高的涂布液，而提高涂布液從泵的供給速度，則在噴嘴內(nèi)的縫處阻力增大，內(nèi)壓增高。因該內(nèi)壓的增高，而導(dǎo)致作為細(xì)長(zhǎng)的直線形狀的縫向細(xì)長(zhǎng)的鼓狀變形，從縫的長(zhǎng)邊方向(寬度方向)中央部噴出的涂布液所形成的膜厚變得比端部的膜厚厚，成為膜厚在寬度方向上不同的結(jié)果，從而膜厚的精度會(huì)大幅度地降低。此外，為了利用粘度高的涂布液與粘度低的涂布液分別形成相同厚度的涂膜，也存在如下原理性問題：如果不使粘度高的涂布液比粘度低的涂布液的涂布速度(噴嘴的移動(dòng)速度)低，則無(wú)法形成這樣的涂膜。

因此，認(rèn)為在向基板涂布粘度比較高的涂布液的情況下，若以涂布品質(zhì)的確保為第1優(yōu)先，則需要降低涂布液的供給速度，并降低噴嘴的移動(dòng)速度。若降低涂布液的供給速度(涂布液的流速)，則能夠減小流路的阻力，能夠抑制上述這樣的延遲的產(chǎn)生和寬度方向的膜厚精度的降低。

并且，作為其他的方法，通過不降低涂布液的供給速度而增大到噴嘴為止的配管直徑，進(jìn)而增大縫的間隙量(平行的縫隙的寬度)，由此，能夠減小流路的阻力，抑制因上述這樣的延遲的產(chǎn)生和縫的變形而導(dǎo)致的寬度方向的膜厚精度的降低。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開2000－157906號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明要解決的課題

但是，如上所述，在延遲涂布液的供給速度，并延遲噴嘴的移動(dòng)速度的情況下，涂布時(shí)間會(huì)增加，生產(chǎn)率會(huì)降低。

并且，如上所述，若增大到噴嘴為止的配管直徑，例如，在需要將配管彎曲成U字形的情況下，需要將其曲率半徑設(shè)定為較大，并且，需要將用于配管的接頭等也增大，會(huì)使從泵到噴嘴的設(shè)備大型化。并且，若為了減小流路阻力而過度增大噴嘴的縫的間隙量，則會(huì)無(wú)法從縫均勻地噴出涂布液，在基板上形成的涂膜的寬度方向的膜厚精度降低，顯著降低涂布品質(zhì)。

以上的問題是因涂布液的粘度升高而產(chǎn)生的。因此，如果加熱涂布液提高溫度而降低粘度，則能夠避免以上的問題。此外，通過降低粘度還能夠產(chǎn)生如下效果：為了得到相同的膜厚，能夠提高涂布速度。不過，若涂布液未被均勻加熱，而因溫度不勻?qū)е麓嬖谡扯炔粍颍瑒t涂布液無(wú)法從縫沿寬度方向均勻噴出，寬度方向的膜厚精度降低，涂布品質(zhì)會(huì)受損。

因此，本發(fā)明的目的在于，即使在向基板涂布粘度比較高的涂布液的情況下，也能夠在基板上高精度并且高速地形成涂布液的薄膜(涂膜)。

用于解決課題的手段

本發(fā)明提供了一種涂布裝置，其具有：容器，其積存涂布液；以及噴嘴，其形成有縫，該縫噴出從該容器供給的涂布液，所述涂布裝置通過從該縫噴出涂布液從而向基板涂布涂布液，其特征在于，所述涂布裝置具有：升溫部，其使從所述容器供給的所述涂布液升溫；以及均溫部，其在從所述縫噴出由所述升溫部升溫后的涂布液之前，使該涂布液的溫度均勻化。

根據(jù)本發(fā)明，即使在向基板涂布粘度比較高的涂布液的情況下，也能夠通過使從容器供給的涂布液升溫，從而降低從縫噴出的涂布液的粘度，減小流動(dòng)的涂布液的阻力。并且，在從縫噴出的涂布液中，在該縫的長(zhǎng)邊方向上產(chǎn)生溫度差(溫度不勻)的情況下，會(huì)因粘度不勻而導(dǎo)致產(chǎn)生膜厚不勻，但是，根據(jù)本發(fā)明，由于在從縫噴出升溫后的涂布液前，能夠通過使該涂布液的溫度均勻化從而使粘度也為較低值且均勻化，因此，能夠在基板上形成均勻厚度的涂膜。其結(jié)果為，能夠在基板上高精度地形成涂膜。此外，也能夠通過使粘度變低，從而更高速地進(jìn)行涂布。