[發(fā)明專利]負型感光性樹脂組合物

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201380048469.6
• 申請日: 2013-09-24
• 公開（公告）號: CN104641294B
• 公開（公告）日: 2019-08-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 內(nèi)山芽育;畑中真
• 申請（專利權(quán)）人: 日產(chǎn)化學工業(yè)株式會社
• 主分類號: G03F7/033
• 分類號: G03F7/033;G02B5/20;G03F7/004;H01L51/50;H05B33/22
• 代理公司: 北京市中咨律師事務(wù)所 11247
• 代理人: 段承恩;田欣

本發(fā)明的課題是提供即使為低粘度的溶液也能夠厚膜化，即使在曝光前也沒有粘性，能夠通過堿性顯影而以高析像度進行圖案形成，所形成的涂膜透明性高，后烘烤后收縮也小的負型感光性樹脂組合物。作為解決本發(fā)明課題的手段涉及含有下述(A)成分、(B)成分、(C)成分、(D)成分和(E)溶劑的感光性樹脂組合物、使用該樹脂組合物而獲得的固化膜、包含該固化膜的液晶顯示器用層間絕緣膜、包含該固化膜的濾光器。(A)成分：將至少含有(i)N?烷氧基甲基(甲基)丙烯酰胺和(ii)具有堿溶性基團的單體的單體混合物共聚而得的共聚物，(B)成分：具有2個以上聚合性基團的化合物，(C)成分：光聚合引發(fā)劑，(D)成分：含有羥基的聚合物，(E)溶劑。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及負型感光性樹脂組合物以及由該負型感光性樹脂組合物獲得的固化膜。更詳細地說，本發(fā)明涉及在顯示器材料的用途中適合的感光性樹脂組合物及其固化膜、以及使用了該固化膜的各種材料。

背景技術(shù)

已知：含有環(huán)氧化合物和光產(chǎn)酸劑的環(huán)氧陽離子聚合系UV固化樹脂的透明性高，此外含有該樹脂的感光性樹脂組合物由于可以將曝光的靈敏度高靈敏度化，因此能夠厚膜光刻，即能夠?qū)⑼坎荚摳泄庑詷渲M合物而得的感光性樹脂組合物層厚膜化(例如，專利文獻1)。然而，涂布后、曝光前涂膜有粘性，因此操作性差。此外，由于不能通過堿性水溶液進行顯影，因此需要通過有機溶劑進行顯影。可以認為雖然堿性顯影能夠通過在聚合物中導(dǎo)入羧基來實現(xiàn)，但在具有環(huán)氧基的單體與具有羧基的單體的共聚時，在聚合中環(huán)氧基與羧基易于發(fā)生反應(yīng)，聚合物的合成控制困難。此外，即使可以控制反應(yīng)而合成聚合物，保存穩(wěn)定性也低。

作為能夠堿性顯影的材料，已知含有具有丙烯酰基的聚合物、多官能丙烯酸系單體和光自由基引發(fā)劑的自由基聚合系的負型材料(例如，專利文獻2)。在該發(fā)明中，在后烘烤時以圖案形成時的曝光量使未反應(yīng)的丙烯酰基進行反應(yīng)直至獲得充分的可靠性的情況下，需要200℃以上這樣的高溫，對可以使用的基材有限制。

另一方面，正型材料雖然析像度高，但通常將由該正型材料獲得的涂膜進行曝光和顯影處理后大多耐溶劑性不充分，厚膜化困難，透明性也低(例如，專利文獻3)。

從這些方面考慮，期望透明性高，能夠堿性顯影，即使在將涂膜厚膜化時操作性也高，此外后烘烤時的收縮小，能夠進行固化膜的厚膜化，且能夠進行低溫后烘烤的材料。另外，在以往體系中添加了熱自由基引發(fā)劑的情況下，預(yù)料到保存穩(wěn)定性降低，或圖案形成時發(fā)生顯影不良。

現(xiàn)有技術(shù)文獻

專利文獻

專利文獻1:國際公開WO2008/007764號小冊子

專利文獻2:日本特開2004-302389號公報

專利文獻3:日本特開平8-339082號公報

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明所要解決的課題

本發(fā)明是鑒于上述情況而提出的，提供一種負型感光性樹脂組合物、其固化膜、以及包含該固化膜的顯示器用層間絕緣膜和濾光器，所述負型感光性樹脂組合物即使為低粘度的溶液也能夠進行涂膜的厚膜化，所得的涂膜即使在曝光前也沒有粘性，能夠通過堿性顯影而以高析像度進行圖案形成，圖案形成靈敏度優(yōu)異，透明性高，此外，后烘烤后收縮也小，能夠進行固化膜的厚膜化，此外即使在低溫后烘烤后，該固化膜的耐溶劑性也高，具有優(yōu)異的可靠性。

用于解決課題的方法

本發(fā)明人為了解決上述課題而進行了深入研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)本發(fā)明。

即，作為第1觀點，涉及一種感光性樹脂組合物，其含有下述(A)成分、(B)成分、(C)成分、(D)成分和(E)溶劑。

(A)成分：將單體混合物共聚而得的共聚物，所述單體混合物至少含有(i)N-烷氧基甲基(甲基)丙烯酰胺和(ii)具有堿溶性基團的單體，