[發明專利]管狀靶件

有效

• 申請號: 201380048331.6
• 申請日: 2013-09-13
• 公開（公告）號: CN104641449B
• 公開（公告）日: 2018-10-23
• 發明（設計）人: 沃爾特·穆施勒希納;安德烈·德龍豪弗;克里斯汀·林克
• 申請（專利權）人: 普蘭西歐洲股份公司
• 主分類號: H01J37/34
• 分類號: H01J37/34;C23C14/35
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 張天舒;張杰

本發明是關于一種用于陰極霧化系統的靶件(2a)，其具有由霧化材料制成的管狀靶體(4a)；及可緊固至該靶體(4a)的兩個連接件(10a)，其用于將該靶體(4a)連接至陰極霧化系統，其中第一連接件可連接至該靶體(4a)的第一末端，且第二連接件可連接至該靶體(4a)的第二末端，且其中至少一個鎖定機構(12a?d)是形成于各連接件(10a)上，以便將各別連接件(10a)以抵制旋轉的固定方式連接至該靶體(4a)。

技術領域

本發明涉及一種用于陰極霧化系統的靶件，其具有管狀靶體。

背景技術

EP 1 225 249 B1揭露一種用于陰極霧化系統的管狀靶件。根據一種設計方案，在各種情況下將背襯管或連接管布置于由霧化材料制成的管狀靶體的末端處。該靶件是借助于突出該靶體的背襯管而被安裝于系統中。在一種設計方案中，背襯管是裝入該靶體的開端中且接著借助于螺釘來固定，該螺釘穿過該背襯管的凸緣擰入該靶體的末端邊緣中?；蛘?，在該靶體上提供用于接合螺帽的外螺紋，借助于該螺帽可將該背襯管的凸緣按壓在該靶體的端面上。

發明內容

本發明的目的之一為提供一種管狀靶件，其可容易地及牢固地安裝。

此目的通過權利要求1的特征達成。

從屬權利要求涉及到有利的實施方式。

根據權利要求1，提供一種用于陰極霧化系統的靶件，其具有由霧化材料制成的管狀靶體及可緊固至該靶體的兩個連接件。借助于該等連接件，可將該靶體連接或緊固至陰極霧化系統或濺射系統。第一連接件可連接至該靶體的第一末端且第二連接件可連接至該靶體的第二末端。連接件可由一或多個部件制造或由一或多個部件組成，以使得確保該靶體與陰極霧化系統的可靠的真空密閉連接。

每個連接件具有至少一個鎖定機構，以便將各別連接件以抵制旋轉的固定方式緊固或鎖定至該靶體。亦即，在該各別連接件已連接至該靶體之后，借助于該至少一個鎖定機構來阻擋或禁止該各別連接件繞該管狀靶體的縱軸的旋轉。換言之，該至少一個鎖定機構將該各別連接件固定來抵制相對于該靶體的旋轉。鎖定機構可例如作為突出凸塊或作為閂鎖組件形成于連接件上，該鎖定機構在該連接件處于其在該靶體上的最終位置或操作位置時是接合或閂扣于該靶體上的相應切口中。換言之，至少一個鎖定機構是形成于各連接件上且在使用期間-亦即系統中該靶件的旋轉之后-確保傳送至該等連接件的轉矩可靠地傳送至該靶體。該等連接件繞該管狀靶體的縱軸的相對于該靶體的旋轉或移位得以阻止。在EP 1225249B1中，連接管是借助于螺釘、通過凸緣或借助于接合螺帽而固定在靶體上。相對于此，本發明提供一種靶件，其中鎖定機構是形成于各別連接件上，尤其是與該連接件形成為零件。換言之，本發明提供一種具有較少構件的靶件，因此使得該靶件的較簡單的及因而省時的安裝變得可能，而不會由此削弱該靶體與該等連接件之間的固定連接。

該各別連接件上的該至少一個鎖定機構較佳地是設計來接合于該靶體圓周上的至少一個凹口中。舉例而言，該至少一個鎖定機構是形成為該各別連接件上的一或多個突起或一或多個(閂鎖)凸塊。

尤其較佳的是：該至少一個鎖定機構是形成為具有至少一個凹口、岔斷或間隙的凸緣，以使得該凸緣在該各別連接件插入或推入時接合于該靶體上的相應凹口中。舉例而言，該靶體的末端邊緣具有上升部(elevation)，該上升部接合于該凸緣上的該相應凹口中。舉例而言，在該凸緣上提供至少2、3、4或8個凹口，以便產生抵制旋轉的固定鎖定。

根據一種設計方案，該至少一個鎖定機構形成為閂鎖組件，該閂鎖元是設計來閂扣于該靶體上的相應閂鎖插口中。舉例而言，該鎖定機構是形成為一彈簧銷或利用彈簧來預拉緊的閂鎖凸塊，該彈簧銷或該閂鎖凸塊在該連接件插入該靶體中且到達其最終位置時閂扣于該靶體中的相應插口或凹陷部中。