[發明專利]用于檢測在結構元件試樣中材料的特性的檢驗裝置和方法

無效

• 申請號: 201380045934.0
• 申請日: 2013-07-15
• 公開（公告）號: CN104603625A
• 公開（公告）日: 2015-05-06
• 發明（設計）人: 羅伯特·尼切;維爾納·貝克爾
• 申請（專利權）人: 西姆弗泰克有限責任公司
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 車文;張建濤

1.一種用于檢測包含在至少一個結構元件試樣(1)中的至少一種材料的特性的檢驗裝置(100)，所述檢驗裝置包括：

-測量設備(10)，利用所述測量設備能在所述結構元件試樣(1)上檢測電測量值，和

-模擬與評價設備(20)，所述模擬與評價設備被安置用于將模擬函數匹配于所述電測量值，所述模擬函數包含作為參數的所述結構元件試樣(1)的特性，其中，

-設置有輸出設備(30)，所述輸出設備被安置用于從所述被匹配的模擬函數中輸出所述材料特性，

其特征在于具有

-控制設備(40)，利用所述控制設備能依賴于存儲的、試樣特定的控制函數來控制所述測量設備(10)和所述模擬與評價設備(20)中的至少一個。

2.根據權利要求1所述的檢驗裝置，在所述檢驗裝置中，所述控制設備(40)包括如下特征中的至少一個：

-所述控制設備(40)被安置用于在所述測量設備(10)上調整電測量范圍和/或幾何的測量條件和/或環境條件，

-所述控制設備(40)被安置用于由使用者限定地改變所述控制函數，并且

-所述控制設備(40)被安置用于依賴于所述控制函數地控制所述模擬設備(20)。

3.根據前述權利要求中任一項所述的檢驗裝置，所述檢驗裝置包括：

-過濾裝置(50)，利用所述過濾裝置能從所述電測量值的至少一個數據集中選出成組的用于輸入到所述模擬設備(20)的有效數據。

4.根據權利要求3所述的檢驗裝置，在所述檢驗裝置中，

-所述過濾裝置(50)利用所述控制設備(40)能依賴于所述存儲的、試樣特定的控制函數來控制。

5.根據權利要求3或4所述的檢驗裝置，在所述檢驗裝置中，

-所述過濾裝置(50)被安置用于從所述電測量值的至少一個數據集中過濾出錯誤的測量值，并且/或者使所述數據集經受用于獲得所述有效數據的基于模型的匹配，并且/或者調整所述有效數據的經優化的數量，并且/或者使所述優選數據經受加權。

6.根據前述權利要求中任一項所述的檢驗裝置，在所述檢驗裝置中，

-所述測量設備(10)被安置用于檢測作為測量值的依賴于被施加到所述結構元件試樣(1)的電壓的電流值和/或檢測依賴于被施加到所述結構元件試樣(1)的電壓和所述電壓的頻率的阻抗值，

-所述測量設備(10)被安置用于檢測依賴于所述結構元件試樣(1)的溫度的測量值，且/或

-所述測量設備(10)被安置用于檢測依賴于時間的測量值。

7.根據權利要求6所述的檢驗裝置，在所述檢驗裝置中，

-所述模擬與評價設備(20)被安置用于將電流-電壓模擬函數、阻抗模擬函數和/或瞬態模擬函數匹配于所述電測量值。

8.根據前述權利要求中任一項所述的檢驗裝置，所述檢驗裝置包括：

-一致性測試設備(60)，所述一致性測試設備被安置用于使來自被匹配的模擬函數的所述結構元件試樣(1)的特性經受一致性測試。

9.根據前述權利要求中任一項所述的檢驗裝置，在所述檢驗裝置中，

-所述輸出設備(30)被安置用于作為材料特性地輸出能量級，特別是最高占據分子軌道(“Highest?Occupied?Molecular?Orbital”，HOMO)和/或最低占據分子軌道(“Lowest?Unoccupied?Molecular?Orbital”，LUMO)、載流子遷移率和/或電作用的陷阱態，特別是污物、雜質和/或缺陷。

10.一種用于檢測被包含在至少一個結構元件試樣(1)中的至少一種材料的特性的方法，所述方法具有如下步驟：

-在所述至少一個結構元件試樣(1)上檢測電測量值，

-將模擬函數匹配于所述電測量值，所述模擬函數包含作為參數的所述至少一個結構元件試樣(1)的特性，并且

-從所述被匹配的模擬函數中輸出所述至少一個結構元件試樣(1)的特性，

其特征在于具有如下步驟

-控制所述檢測電測量值和依賴于存儲的、試樣特定的控制函數匹配模擬函數的步驟中的至少一個。

11.根據權利要求10所述的方法，在所述方法中，

-所述控制檢測電測量值包括對電測量范圍和/或幾何測量條件和/或環境條件的調整。