[發明專利]玻璃膜輸送裝置

有效

• 申請號: 201380044982.8
• 申請日: 2013-07-19
• 公開（公告）號: CN104583102B
• 公開（公告）日: 2017-07-14
• 發明（設計）人: 玉垣浩;碇賀充;大庭尚樹;櫻井武
• 申請（專利權）人: 株式會社神戶制鋼所
• 主分類號: B65H18/08
• 分類號: B65H18/08;B65H20/02;B65H23/16;B65H41/00;C03B35/00;C23C14/34
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司72001
• 代理人: 姜云霞,李婷

技術領域

本發明涉及一種具有撓性且能夠卷成卷狀的薄膜玻璃（玻璃膜）的輸送裝置。

背景技術

近年，作為顯示影像等的顯示裝置用的基板材料，使用阻氣性和透光性等優異的薄膜玻璃、即玻璃膜。現在，一般的玻璃膜的厚度為200μm左右，但是最近開發了比200μm薄的厚度為30μm～150μm左右的極薄的玻璃膜。

此種極薄的玻璃膜基于其薄度而具有撓性，因此，可作為將玻璃膜卷繞成卷狀的玻璃膜卷而使用。為了防止被卷成卷狀的玻璃膜與鄰接于內周側以及外周側的玻璃膜接觸而破損，在玻璃膜卷的相鄰的玻璃膜之間夾入保護片材（例如保護膜）。

專利文獻1公開了在相鄰的玻璃膜之間夾入保護片材的玻璃膜卷的制造方法。

專利文獻1公開的玻璃膜卷的制造方法是通過下拉法成形玻璃膜，并將該成形的玻璃膜與保護片材重疊而卷取成卷狀的玻璃膜卷的制造方法。該制造方法具有一邊向所述保護片材施加大于所述玻璃膜的卷取方向的張力，一邊將所述玻璃膜和所述保護片材卷取的特征。

作為對此種具有撓性的玻璃膜高效率地實施各種處理的方法，提出有各種從長玻璃膜以卷狀被卷繞的玻璃膜卷送出玻璃膜并以卷到卷的方式輸送，且在其表面實施涂敷等各種處理的技術。

作為對該玻璃膜的表面進行的各種處理，例如有真空蒸鍍、真空濺射（sputtering）等在被減壓至真空壓力附近的真空容器內進行的處理。在被減壓至真空壓力附近的容器內，產生因壓力變化而引起的各種影響。因此，提出了考慮到所產生的影響而一邊輸送玻璃膜一邊實施真空蒸鍍、真空濺射等處理（表面處理）的各種技術。

專利文獻2公開了一種在近于真空壓力的壓力下輸送薄膜玻璃的薄膜玻璃的輸送裝置。

專利文獻2公開的薄膜玻璃的輸送裝置具備能夠控制真空容器內的壓力的壓力控制裝置，是在被減壓至真空壓力附近的所述真空容器內輸送長薄膜玻璃的薄膜玻璃的輸送裝置。在該輸送裝置中，所述壓力控制裝置在卷狀的所述薄膜玻璃被配置在所述真空容器內的狀態下，花三分鐘以上的時間將所述真空容器內的壓力減至10000Pa后，再減壓至真空壓力附近。

在該薄膜玻璃的輸送裝置中，以上述的條件減壓后，在放卷時將夾于玻璃膜卷的薄膜玻璃之間的保護膜從薄膜玻璃取下，此外，在卷取被實施表面處理后的薄膜玻璃時，在薄膜玻璃之間夾入另外的保護膜并將薄膜玻璃卷成卷狀。

此外，專利文獻3公開了一種連續成膜裝置，從層疊了保護材料并卷成卷狀的基材分離保護材料并送出，且將送出的保護材料再次與被實施成膜處理的基材一起卷成卷狀。

專利文獻3公開的連續成膜裝置具有放卷部、卷取部以及成膜源，其中，所述放卷部具備：保持層疊有保護材料并卷成卷狀的基材，并將所述基材與保護材料一起送出的放卷卷軸；以及旋轉自如地支撐從所述放卷卷軸與所述保護材料一起送出的基材以使所述保護材料接觸，并向下游側輸送該基材的放卷側支撐輥，所述卷取部具備：將掛于所述放卷側支撐輥的基材旋轉自如地支撐并輸送至下游側的卷取側支撐輥；通過所述卷取側支撐輥卷取所述基材的卷取卷軸，所述成膜源在基材的表面成膜，其中，該基材以被施加張力的狀態從所述放卷側支撐輥向所述卷取側支撐輥連續地被輸送。而且，該連續成膜裝置具有保護材料分離供應部。保護材料分離供應部包括：在所述基材與保護材料一起通過所述放卷側支撐輥時，將保護材料從所述基材分離并向卷取側輸送的保護材料分離輸送機構；和在成膜后的基材被支撐于所述卷取側支撐輥時，以使由所述保護材料分離輸送機構分離輸送的保護材料接觸于所述卷取側支撐輥并層疊于所述基材的方式，將該保護材料輸送并供應至基材上的保護材料輸送供應機構。

根據該連續成膜裝置，能夠在不讓基材發生缺損的情況下形成成膜。

專利文獻3的連續成膜裝置并不是特別為了進行以玻璃膜作為對象的處理。但可認為，該裝置的結構，即、將保護材料從成膜對象物分離并輸送，且在卷取時重疊而卷取的結構是優選作為專利文獻1中記載的將玻璃膜與保護片材重疊的玻璃膜卷的成膜裝置的結構。

為了對通過專利文獻1的制造方法制造的薄膜玻璃（玻璃膜）實施表面處理等，考慮采用專利文獻3的連續成膜裝置的情況。

在此，專利文獻3的連續成膜裝置以基材以及保護材料均為樹脂系材料為前提而設計。因此，如果采用如專利文獻2的無機物的薄膜玻璃作為專利文獻3的連續成膜裝置中的基材，就會產生如下問題。