[發明專利]撓性玻璃基材和包括撓性玻璃基材與載體基材的基材堆疊件的加工在審
| 申請號: | 201380044389.3 | 申請日: | 2013-08-12 |
| 公開(公告)號: | CN104919591A | 公開(公告)日: | 2015-09-16 |
| 發明(設計)人: | S·B·道斯;S·M·加納 | 申請(專利權)人: | 康寧股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L27/12 | 分類號: | H01L27/12;B32B7/06 |
| 代理公司: | 上海專利商標事務所有限公司 31100 | 代理人: | 項丹;沙永生 |
| 地址: | 美國*** | 國省代碼: | 美國;US |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 玻璃 基材 包括 載體 堆疊 加工 | ||
1.一種對撓性玻璃基材進行加工的方法,所述方法包括:
提供基材堆疊件,所述基材堆疊件包括采用碳粘結層與載體基材粘結的撓性玻璃基材;以及
從載體基材分離撓性玻璃基材。
2.如權利要求1所述的方法,其特征在于,所述碳粘結層是脆性的,所述方法還包括在所述碳粘結層內引發裂紋。
3.如權利要求1所述的方法,所述方法還包括向碳粘結層提供能量輸入,從而引入碳粘結層中的結構變化。
4.如權利要求3所述的方法,其特征在于,所述能量輸入是光能,其將碳粘結層加熱到至少250℃的溫度。
5.如權利要求3所述的方法,其特征在于,所述結構變化包括增加碳粘結層的孔隙率。
6.如權利要求3所述的方法,其特征在于,使用激光、LED或者閃光燈光源加熱碳粘結層。
7.如權利要求1-6中任一項所述的方法,所述方法還包括向撓性玻璃基材施加電組件。
8.一種基材堆疊件,其包括:
具有玻璃支撐表面的載體基材;
撓性玻璃基材,其由載體基材的玻璃支撐表面支撐;以及
碳粘結層,其使得撓性玻璃基材與載體基材粘結,所述碳粘結層是脆性的,以有助于裂紋擴展通過碳粘結層。
9.如權利要求8所述的基材堆疊件,其特征在于,所述撓性玻璃基材的厚度不大于約0.3mm。
10.如權利要求8或9所述的基材堆疊件,其特征在于,所述碳粘結層的厚度不大于約0.1mm。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L27-00 由在一個共用襯底內或其上形成的多個半導體或其他固態組件組成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共絕緣襯底上形成的無源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有專門適用于整流、振蕩、放大或切換的半導體組件并且至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的;包括至少有一個躍變勢壘或者表面勢壘的無源集成電路單元的
H01L27-14 . 包括有對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射或者微粒子輻射并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的,或適用于通過這樣的輻射控制電能的半導體組件的
H01L27-15 .包括專門適用于光發射并且包括至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的半導體組件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料結點的熱電元件的;包括有熱磁組件的





