[發明專利]帶電粒子線裝置用部件、帶電粒子線裝置以及隔膜部件

無效

• 申請號: 201380043744.5
• 申請日: 2013-07-11
• 公開（公告）號: CN104584180A
• 公開（公告）日: 2015-04-29
• 發明（設計）人: 佐久間憲之;大南佑介
• 申請（專利權）人: 株式會社日立高新技術
• 主分類號: H01J37/18
• 分類號: H01J37/18;H01J37/16;H01J37/28
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 張敬強;嚴星鐵

1.一種帶電粒子線裝置用部件，其使用于帶電粒子線裝置，該帶電粒子線裝置將通過了被第一框體與第二框體劃分并設置為氣密的第一室的內部的帶電粒子線以掃描的方式照射至在所述第一室的外部被保持的試樣，

所述帶電粒子線裝置用部件的特征在于，具有：

所述第二框體，其安裝于所述第一框體；

隔膜部件，其設置于所述第二框體，包括第一膜部，在將所述第二框體安裝于所述第一框體時，在通過對所述第一室進行排氣的排氣部將所述第一室的內部的壓力相比所述第一室的外部的壓力減壓了的狀態下，該第一膜部對所述第一室的內部與所述第一室的外部氣密地進行隔離，并且使通過了所述第一室的內部的所述帶電粒子線透射；

保持部，其在將所述第二框體安裝于所述第一框體時，在所述第一室的外部對所述試樣進行保持；以及

驅動部，其對所述隔膜部件或者所述保持部進行驅動，從而對保持于所述保持部的所述試樣與所述隔膜部件的距離進行調整，

所述隔膜部件包括形成為在將所述第二框體安裝于所述第一框體時，位于比所述第一膜部更靠所述保持部一側的第二膜部，

所述第二膜部防止保持于所述保持部的所述試樣與所述第一膜部接觸。

2.一種帶電粒子線裝置，其特征在于，具有：

第一室，其設置為氣密；

排氣部，其對所述第一室進行排氣；

保持部，其在所述第一室的外部對試樣進行保持；

隔膜部件，其設置于所述第一室的壁部，包括第一膜部，在通過對所述第一室進行排氣的排氣部將所述第一室的內部的壓力相比所述第一室的外部的壓力減壓了的狀態下，該第一膜部對所述第一室的內部與所述第一室的外部氣密地進行隔離，并且使通過了所述第一室的內部的帶電粒子線透射；

帶電粒子光學系統，其將供所述第一膜部透射的所述帶電粒子線以掃描的方式照射至保持于所述保持部的所述試樣；以及

驅動部，其對所述保持部或者所述隔膜部件進行驅動，從而改變保持于所述保持部的所述試樣與所述隔膜部件的距離，

所述隔膜部件包括形成為位于比所述第一膜部更靠所述保持部一側的第二膜部，

所述第二膜部防止保持于所述保持部的所述試樣與所述第一膜部接觸。

3.根據權利要求2所述的帶電粒子線裝置，其特征在于，

所述隔膜部件包括具有面對所述第一室的外部的第一主面、面對和所述第一主面相反的一側的第二主面的基體，

在所述基體形成有從所述第一主面到達所述第二主面的貫通孔，

所述第一膜部以覆蓋所述貫通孔的開口的方式形成于所述第一主面上，

所述第二膜部形成于所述第一主面上。

4.根據權利要求3所述的帶電粒子線裝置，其特征在于，

所述第二膜部在俯視時形成于所述第一主面中的隔著形成所述第一膜部的區域的兩個區域。

5.根據權利要求3所述的帶電粒子線裝置，其特征在于，

所述第一膜部在俯時形成于所述第一主面的中央部，

所述第二膜部在俯視時形成于比所述第一主面中的形成所述第一膜部的區域更向周緣側分離，并且比所述基體的周緣更向所述中央部一側分離的區域。

6.根據權利要求2所述的帶電粒子線裝置，其特征在于，

所述第一膜部由氮化硅、氮化鋁或者聚酰亞胺構成。

7.根據權利要求3所述的帶電粒子線裝置，其特征在于，

所述隔膜部件包括供所述基體安裝的安裝體，

將供所述基體安裝的所述安裝體安裝于所述壁部，從而能夠將所述隔膜部件設置于所述壁部。

8.根據權利要求7所述的帶電粒子線裝置，其特征在于，

所述隔膜部件包括對所述基體與所述安裝體之間氣密地進行密封的密封部件，

所述安裝體具有在將所述安裝體安裝于所述壁部時面對所述第一室的外部的第三主面、以及與所述第三主面相反的一側的第四主面，

所述基體安裝于所述安裝體的所述第三主面側，

在將所述基體安裝于所述安裝體時，所述第一主面與所述第三主面形成相同的面，或者所述第一主面突出到所述第三主面上。

9.根據權利要求3所述的帶電粒子線裝置，其特征在于，

所述隔膜部件包括形成于所述第二膜部的表面的第三膜部，

所述第三膜部由導電膜構成。