[發明專利]用于可控地顯示隱藏在對象如晶片中的結構的方法和裝置

有效

• 申請號: 201380043727.1
• 申請日: 2013-08-20
• 公開（公告）號: CN104620071B
• 公開（公告）日: 2018-06-29
• 發明（設計）人: 吉萊斯·弗萊斯闊特;西爾萬·佩羅
• 申請（專利權）人: 統一半導體公司
• 主分類號: G01B11/00
• 分類號: G01B11/00;B24B49/12;G01B11/06;G01N21/95;H01L21/66;H01L21/67
• 代理公司: 北京柏杉松知識產權代理事務所(普通合伙) 11413
• 代理人: 王春偉;劉繼富

1.一種用于在對象(20)的表面處檢查包圍在所述對象(20)中的結構(70a、70b、70c)的存在的成像方法，其使用成像傳感器(22)、能夠在所述成像傳感器(22)上產生在視場中的所述對象(20)的和所述結構(70a、70b、70c)的圖像(73、74)的光學成像單元(34)、和用于產生照明光束(25)并以反射方式照亮所述視場的照明單元(23)，所述照明光束(25)在所述視場中沿著與所述光學成像單元(34)的光軸(49)基本平行的照明軸入射，其特征在于，其包括以下步驟：

-通過用第一照明光束(25)照明所述對象(20)來獲取所述對象(20)的第一圖像(73)，所述第一照明光束(25)的光譜成分適合于所述對象(20)的性質以使得所述第一照明光束(25)的光基本能夠射入到所述對象(20)中，

-通過用第二照明光束(25)照明所述對象(20)來獲取所述對象(20)的第二圖像(74)，所述第二照明光束(25)的光譜成分適合于所述對象(20)的性質以使得所述第二照明光束(25)的光基本上被所述對象(20)的表面反射，和

-比較所述第一圖像(73)和所述第二圖像(74)以識別出現在所述第一圖像(73)中但不出現在所述第二圖像(74)中的結構(71a)。

2.根據權利要求1所述的方法，其中所述對象(20)是晶片。

3.根據權利要求1或2所述的方法，其中所述結構(70a、70b、70c)是通孔。

4.一種用于在對象(20)的表面處檢查包圍在所述對象(20)中的結構(70a、70b、70c)的存在的成像裝置，其包括：

-成像傳感器(22)，

-能夠在所述成像傳感器(22)上產生在視場中的所述對象(20)的和所述結構(70a、70b、70c)的圖像的光學成像單元(34)，

-用于產生照明光束(25)并以反射方式照亮所述視場的照明單元(23)，所述照明光束(25)在所述視場中沿著與所述光學成像單元(34)的光軸(49)基本平行的照明軸入射，

其特征在于，所述照明單元(23)能夠：

-產生第一照明光束(25)，所述第一照明光束(25)的光譜成分適合于所述對象(20)的性質以使得所述第一照明光束(25)的光基本能夠射入到所述對象(20)中，和

-產生第二照明光束(25)，所述第二照明光束(25)的光譜成分適合于所述對象(20)的性質以使得所述第二照明光束(25)的光基本被所述對象(20)的表面反射。

5.根據權利要求4所述的裝置，其中，所述照明單元(23)包括能夠將照明光束的光譜限制到基本能夠射入到所述對象(20)中的波長的光譜濾波器(26)。

6.根據權利要求5所述的裝置，其中，所述光譜濾波器(26)包括由與所述對象(20)的材料相同或相似的材料制成的板。

7.根據權利要求5或6所述的裝置，其中，所述光譜濾波器(26)包括硅板。

8.根據權利要求5或6所述的裝置，其中，所述照明單元(23)還包括：

-能夠發射光譜包括以下波長的光的光源(24)：基本能夠被所述對象(20)的表面反射的第一波長和基本能夠射入到所述對象(20)中的第二波長，和

-用于將所述光譜濾波器(26)插入到所述照明光束中、或從所述照明光束中移出的切換單元。

9.根據權利要求4所述的裝置，其中，所述照明單元(23)包括光源，所述光源能夠發射光譜被限制到基本能夠射入到所述對象(20)中的波長的光。

10.根據權利要求9所述的裝置，其中，所述照明單元(23)還包括第二光源，所述第二光源能夠發射光譜被限制到基本能夠被所述對象(20)的表面反射的波長的光。