[發明專利]振動致動器單元、光學裝置以及臺裝置

有效

• 申請號: 201380043409.5
• 申請日: 2013-05-31
• 公開（公告）號: CN104584415B
• 公開（公告）日: 2019-01-25
• 發明（設計）人: 松川英二;草野正明
• 申請（專利權）人: 株式會社尼康
• 主分類號: H02N2/00
• 分類號: H02N2/00
• 代理公司: 北京市中咨律師事務所 11247
• 代理人: 段承恩;徐健

一種振動致動器單元，具備：電機械變換元件，其將被施加的驅動電壓的電振動變換為機械振動；和抵接部，其與驅動對象的被驅動面抵接，將電機械變換元件的機械振動作為驅動力傳遞到被驅動面，電機械變換元件在與被驅動面交叉的第一振動面內周期性彎曲而使抵接部在第一振動面內振動，且在與第一振動面交叉的第二振動面內周期性彎曲而使抵接部在第二振動面內振動。

技術領域

本發明涉及振動致動器單元、光學裝置以及臺裝置。

背景技術

存在使臺(stage)二維地移動的臺裝置(例如，參照專利文獻1)。 另外，存在設置標尺和編碼器而根據檢測到的移位信號來控制驅動信號的 驅動裝置(例如，參照專利文獻2)。

專利文獻1：日本特開平11-316607號公報

專利文獻2：日本特開2011-147266號公報

發明內容

發明要解決的問題

由于在X方向驅動和Y方向驅動中分別具備致動器，所以裝置規模大。 成本和空間因素因標尺和編碼器的附加而上升。

用于解決問題的手段

根據本發明的第一技術方案，提供一種振動致動器單元，具備：電機 械變換元件，其將被施加的驅動電壓的電振動變換為機械振動；和抵接部， 其與驅動對象的被驅動面抵接，將電機械變換元件的機械振動作為驅動力 傳遞到被驅動面，電機械變換元件在與被驅動面交叉的第一振動面內周期 性地彎曲而使抵接部在第一振動面內振動，且在與第一振動面交叉的第二 振動面內周期性地彎曲而使抵接部在第二振動面內振動。

根據本發明的第二技術方案，提供一種具備上述振動致動器單元的光 學裝置。另外，根據本發明的第三技術方案，提供一種具備上述振動致動 器單元的臺裝置。

根據本發明的第四技術方案，提供一種振動致動器單元，具備：電機 械變換元件，其將被供給的驅動電力變換為機械振動；接觸部，其被從電 機械變換元件傳遞機械振動來驅動驅動對象物；作用力產生部，其產生朝 向驅動對象物對接觸部施力的作用力；以及位置檢測部，其基于成為作用 力產生部所產生的作用力的物理量的變化，檢測驅動對象物和電機械變換 元件的相對位置。

根據本發明的第五技術方案，提供一種具備上述振動致動器單元的光 學裝置。另外，根據本發明的第六技術方案，提供一種具備上述振動致動 器單元的臺裝置。

上述發明內容沒有列舉本發明所需的所有特征。這些特征群的亞組合 也可以成為發明。

附圖說明

圖1是臺裝置101的示意剖視圖。

圖2是振動致動器單元201的示意性的分解立體圖。

圖3是振動致動器單元201的示意側視圖。

圖4是示出振動致動器單元201的驅動信號波形的圖。

圖5是振動致動器單元201的示意側視圖。

圖6是示出振動致動器單元201的構造的示意圖。

圖7是示出振動致動器單元201的驅動信號波形的圖。

圖8是振動致動器單元201的示意側視圖。

圖9是臺裝置102的示意剖視圖。

圖10是振動致動器單元202的示意性的分解立體圖。

圖11是示出振動致動器單元202的驅動信號波形的圖。

圖12是示出振動致動器單元202的驅動信號波形的圖。

圖13是臺裝置103的示意剖視圖。