[發(fā)明專利]像差校正光學(xué)單元及激光顯微鏡有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201380043341.0 | 申請(qǐng)日： | 2013-08-16 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN104583845B | 公開（公告）日： | 2018-04-24 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 松本健志 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 西鐵城時(shí)計(jì)株式會(huì)社 |
| 主分類號(hào)： | G02F1/13 | 分類號(hào)： | G02F1/13;G02B21/00;G02F1/03 |
| 代理公司： | 上海市華誠(chéng)律師事務(wù)所31210 | 代理人： | 金玲 |
| 地址： | 日本國(guó)東京都西*** | 國(guó)省代碼： | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 校正 光學(xué) 單元 激光 顯微鏡 | ||
1.一種像差校正光學(xué)單元，所述像差校正光學(xué)單元是校正光學(xué)系統(tǒng)所產(chǎn)生的波像差的像差校正光學(xué)單元，其特征在于，包括：
第一相位調(diào)制元件，其具有光學(xué)軸，對(duì)于通過所述光學(xué)系統(tǒng)的光束之中的與所述光學(xué)軸平行的偏振成分，校正所述光學(xué)系統(tǒng)的波像差的規(guī)定成分；
第二相位調(diào)制元件，其具有光學(xué)軸，對(duì)于所述光束之中的與所述光學(xué)軸平行的偏振成分，校正所述波像差的所述規(guī)定成分；
可變波長(zhǎng)板，其被配置于所述第一相位調(diào)制元件和所述第二相位調(diào)制元件之間，具有光學(xué)軸，并能夠變更所述光束的偏振特性，
所述可變波長(zhǎng)板被配置為，所述可變波長(zhǎng)板的光學(xué)軸與所述第一相位調(diào)制元件的光學(xué)軸或所述第二相位調(diào)制元件的光學(xué)軸形成規(guī)定角度，
所述可變波長(zhǎng)板根據(jù)施加的電壓，使賦予到所述光束的相位調(diào)制量改變。
2.如權(quán)利要求1所述的像差校正光學(xué)單元，其特征在于，
所述第一相位調(diào)制元件及所述第二相位調(diào)制元件被配置為，所述第一相位調(diào)制元件的光學(xué)軸與所述第二相位調(diào)制元件的光學(xué)軸成為平行或者互相正交，
所述規(guī)定角度為45°。
3.如權(quán)利要求1所述的像差校正光學(xué)單元，其特征在于，
所述第一相位調(diào)制元件及所述第二相位調(diào)制元件被配置為，所述第一相位調(diào)制元件的光學(xué)軸與所述第二相位調(diào)制元件的光學(xué)軸成為平行，
所述可變波長(zhǎng)板根據(jù)施加的電壓的變化來進(jìn)行以下兩種作用的切換，即，作為1/2波長(zhǎng)板來發(fā)揮作用，或以將與所述光束的波長(zhǎng)的整數(shù)倍相當(dāng)?shù)南辔徊钯x予到互相正交的兩束直線偏振光的方式來發(fā)揮作用。
4.如權(quán)利要求1所述的像差校正光學(xué)單元，其特征在于，
所述第一相位調(diào)制元件及所述第二相位調(diào)制元件被配置為，所述第一相位調(diào)制元件的光學(xué)軸與所述第二相位調(diào)制元件的光學(xué)軸互相正交，
所述可變波長(zhǎng)板根據(jù)施加的電壓的變化來進(jìn)行以下兩種作用的切換，即，作為1/2波長(zhǎng)板來發(fā)揮作用，或以將與所述光束的波長(zhǎng)的整數(shù)倍相當(dāng)?shù)南辔徊钯x予到互相正交的兩束直線偏振光的方式來發(fā)揮作用。
5.如權(quán)利要求1所述的像差校正光學(xué)單元，其特征在于，
所述光學(xué)系統(tǒng)具有物鏡，且所述像差校正光學(xué)單元被配置于相干光源與所述物鏡之間。
6.如權(quán)利要求1所述的像差校正光學(xué)單元，其特征在于，
所述第一相位調(diào)制元件、所述第二相位調(diào)制元件、所述可變波長(zhǎng)板分別為液晶元件。
7.一種激光顯微鏡，其特征在于，包括：
第一光學(xué)系統(tǒng)，其利用來自于相干光源的光束來掃描試樣；
物鏡，其將所述光束聚光于所述試樣；
檢測(cè)器；
第二光學(xué)系統(tǒng)，其通過所述光束入射進(jìn)所述試樣，將從所述試樣發(fā)出的第二光束傳輸?shù)剿鰴z測(cè)器，其中，所述第二光束包含所述試樣的信息；
如權(quán)利要求1-6中的任一項(xiàng)所述的像差校正光學(xué)單元，其被配置于所述相干光源與所述物鏡之間。
8.如權(quán)利要求7所述的激光顯微鏡，其特征在于，還包括：
控制電路，其根據(jù)觀察模式，通過調(diào)節(jié)施加到所述可變波長(zhǎng)板的電壓，對(duì)所述可變波長(zhǎng)板賦予到所述光束的相位調(diào)制量進(jìn)行控制。
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G02F 用于控制光的強(qiáng)度、顏色、相位、偏振或方向的器件或裝置，例如轉(zhuǎn)換、選通、調(diào)制或解調(diào)，上述器件或裝置的光學(xué)操作是通過改變器件或裝置的介質(zhì)的光學(xué)性質(zhì)來修改的；用于上述操作的技術(shù)或工藝；變頻；非線性光學(xué)；光學(xué)
G02F1-00 控制來自獨(dú)立光源的光的強(qiáng)度、顏色、相位、偏振或方向的器件或裝置，例如，轉(zhuǎn)換、選通或調(diào)制；非線性光學(xué)
G02F1-01 .對(duì)強(qiáng)度、相位、偏振或顏色的控制
G02F1-29 .用于光束的位置或方向的控制，即偏轉(zhuǎn)
G02F1-35 .非線性光學(xué)
G02F1-355 ..以所用材料為特征的
G02F1-365 ..在光波導(dǎo)結(jié)構(gòu)中的
