[發(fā)明專利]有機(jī)物沉積裝置及利用該裝置的有機(jī)物沉積方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201380042123.5
• 申請(qǐng)日: 2013-03-26
• 公開（公告）號(hào): CN104756276B
• 公開（公告）日: 2017-03-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 崔昌植;任暎;李塋鐘;金省護(hù);金宣焃;李程均;黃仁鎬
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 銑益系統(tǒng)有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): H01L51/56
• 分類號(hào): H01L51/56;H05B33/10
• 代理公司: 北京鴻元知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11327
• 代理人: 姜虎,陳英俊

1.一種有機(jī)物沉積裝置，其特征在于，包括：

主腔室，劃分成第一沉積區(qū)域和第二沉積區(qū)域，第一基板從一個(gè)中心點(diǎn)沿著第一徑向向上述第一沉積區(qū)域引入或從上述第一沉積區(qū)域引出，第二基板從上述中心點(diǎn)沿著第二徑向向上述第二沉積區(qū)域引入或從上述第二沉積區(qū)域引出；

第一基板裝載部，用于向上述第一徑向裝載并安置上述第一基板；

第二基板裝載部，用于向上述第二徑向裝載并安置上述第二基板；

掃描儀，包括：線形的有機(jī)物沉積源，用于噴射有機(jī)物粒子；源移動(dòng)單元，與上述有機(jī)物沉積源相結(jié)合，并使上述有機(jī)物沉積源沿著上述第一基板或上述第二基板的表面進(jìn)行直線移動(dòng)，以便向上述第一基板或上述第二基板的表面噴射上述有機(jī)物粒子；旋轉(zhuǎn)單元，使上述源移動(dòng)單元進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，以使上述線形的有機(jī)物沉積源與上述第一基板或上述第二基板的一邊保持平行；以及

掃描儀移動(dòng)單元，使上述掃描儀進(jìn)行往返移動(dòng)，以使上述掃描儀位于上述第一沉積區(qū)域或上述第二沉積區(qū)域。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)物沉積裝置，其特征在于，

上述源移動(dòng)單元包括：

移動(dòng)臺(tái)，以隨著上述旋轉(zhuǎn)單元的旋轉(zhuǎn)而平行于上述基板的方式配置；以及

源引導(dǎo)部，沿著縱向方向配置于上述移動(dòng)臺(tái)，使得與上述有機(jī)物沉積源相結(jié)合而向上述移動(dòng)臺(tái)的長(zhǎng)度方向進(jìn)行移動(dòng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)物沉積裝置，其特征在于，

上述掃描儀移動(dòng)單元包括一對(duì)掃描儀引導(dǎo)部，上述一對(duì)掃描儀引導(dǎo)部橫穿上述第一沉積區(qū)域和上述第二沉積區(qū)域并以相互并列的方式配置，且分別支撐上述移動(dòng)臺(tái)的兩端部；

上述旋轉(zhuǎn)單元包括：旋轉(zhuǎn)引導(dǎo)部，與上述一對(duì)掃描儀引導(dǎo)部中的一個(gè)相結(jié)合，用于引導(dǎo)上述移動(dòng)臺(tái)的旋轉(zhuǎn)；以及轉(zhuǎn)動(dòng)部，與上述一對(duì)掃描儀引導(dǎo)部中的另一個(gè)相結(jié)合，且可旋轉(zhuǎn)地與上述移動(dòng)臺(tái)相結(jié)合。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)物沉積裝置，其特征在于，還包括：

屏蔽板，以與上述第一基板或上述第二基板的表面相向的方式配置，用于覆蓋上述第一基板或上述第二基板。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的有機(jī)物沉積裝置，其特征在于，還包括：

隔壁，結(jié)合于上述主腔室內(nèi)，且位于上述第一基板裝載部和上述第二基板裝載部之間。

6.一種有機(jī)物沉積方法，利用權(quán)利要求1至5中的任一項(xiàng)所述的有機(jī)物沉積裝置來沉積有機(jī)物，其特征在于，包括如下步驟：

將上述第一基板沿著上述第一徑向裝載并安置于上述第一基板裝載部；

上述掃描儀移動(dòng)單元使上述掃描儀向第一沉積區(qū)域移動(dòng)；

上述掃描儀的上述旋轉(zhuǎn)單元使上述源移動(dòng)單元進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，使得上述線形的有機(jī)物沉積源與上述第一基板的一邊保持平行；

上述源移動(dòng)單元使上述有機(jī)物沉積源進(jìn)行直線移動(dòng)，以向上述第一基板沉積有機(jī)物粒子；

進(jìn)行向上述第一基板沉積有機(jī)物粒子的步驟的同時(shí)，將上述第二基板沿著上述第二徑向裝載并安置于上述第二基板裝載部；

當(dāng)完成對(duì)上述第一基板的沉積時(shí)，上述掃描儀移動(dòng)單元使上述掃描儀向第二沉積區(qū)域移動(dòng)；

上述掃描儀的上述旋轉(zhuǎn)單元使上述源移動(dòng)單元進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，使得上述線形的有機(jī)物沉積源與上述第二基板的一邊保持平行；以及

上述源移動(dòng)單元使上述有機(jī)物沉積源進(jìn)行直線移動(dòng)，以向上述第二基板沉積有機(jī)物粒子。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的有機(jī)物沉積方法，其特征在于，

在進(jìn)行向上述第一基板沉積有機(jī)物粒子的步驟之后，還包括如下步驟：將完成沉積的上述第一基板從上述主腔室引出，并將新的第一基板沿著上述第一徑向裝載并安置于上述第一基板裝載部。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的有機(jī)物沉積方法，其特征在于，

在進(jìn)行向上述第二基板沉積有機(jī)物粒子的步驟之后，還包括如下步驟：將完成沉積的上述第二基板從上述主腔室引出，并將新的第二基板沿著上述第二徑向裝載并安置于上述第二基板裝載部。