[發(fā)明專利]用于有機(jī)金屬化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器的平面加熱器的加熱組件有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201380041878.3 | 申請(qǐng)日： | 2013-08-05 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN104662197B | 公開(kāi)（公告）日： | 2016-11-30 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 漢斯-彼得·馬丁斯;曼弗萊德·蘇利克;瓦迪姆·博古斯拉夫斯基 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 普蘭西歐洲股份公司;威科儀器有限公司 |
| 主分類號(hào)： | C23C16/46 | 分類號(hào)： | C23C16/46;H05B3/14;H05B3/24 |
| 代理公司： | 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112 | 代理人： | 丁業(yè)平;金小芳 |
| 地址： | 奧地利*** | 國(guó)省代碼： | 奧地利;AT |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 用于 有機(jī) 金屬 化學(xué) 沉積 反應(yīng)器 平面 加熱器 加熱 組件 | ||
【說(shuō)明書(shū)】：
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C23 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制
C23C 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面擴(kuò)散法，化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過(guò)氣態(tài)化合物分解且表面材料的反應(yīng)產(chǎn)物不留存于鍍層中的化學(xué)鍍覆，例如化學(xué)氣相沉積
C23C16-01 .在臨時(shí)基體上，例如在隨后通過(guò)浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無(wú)機(jī)材料為特征的
C23C 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面擴(kuò)散法，化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過(guò)氣態(tài)化合物分解且表面材料的反應(yīng)產(chǎn)物不留存于鍍層中的化學(xué)鍍覆，例如化學(xué)氣相沉積
C23C16-01 .在臨時(shí)基體上，例如在隨后通過(guò)浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無(wú)機(jī)材料為特征的
- 應(yīng)用有機(jī)材料制作有機(jī)發(fā)光裝置
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