[發明專利]可光致固化的組合物

在審

• 申請號: 201380041871.1
• 申請日: 2013-08-06
• 公開（公告）號: CN104737075A
• 公開（公告）日: 2015-06-24
• 發明（設計）人: D·C·法爾;裘再明
• 申請（專利權）人: 3M創新有限公司
• 主分類號: G03F7/075
• 分類號: G03F7/075;G03F7/004;H05K3/34;B23K35/24
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 陳長會;馬慧

1.一種可光致固化的組合物，所述可光致固化的組合物包含：

a)光致抗蝕劑組分，和

b)由下式表示的全氟聚醚硅烷：

(R^PFPE-X¹-CO-NH)_x-R¹-(NH-CO-X²-R^甲硅烷基)_y，

其中

R^PFPE表示全氟聚醚基團，

X¹和X²獨立地為-O-、-S-或-NR²-，其中R²為H或C₁-C₄烷基，

R¹為多異氰酸酯的殘基，

R^甲硅烷基為包含硅烷基團的部分，

下標x和y各自獨立地為1至6，以及

c)光引發劑。

2.根據權利要求1所述的可光致固化的組合物，所述可光致固化的組合物包含相對于100重量份的光致抗蝕劑組分0.1至5重量份的全氟聚醚硅烷化合物。

3.根據權利要求1所述的可光致固化的組合物，其中所述光致抗蝕劑組分為正性光致抗蝕劑。

4.根據權利要求1所述的可光致固化的組合物，其中所述光致抗蝕劑組分為負性光致抗蝕劑。

5.根據權利要求1所述的可光致固化的組合物，其中所述光致抗蝕劑組分為阻焊劑。

6.根據權利要求1所述的可光致固化的組合物，其中所述全氟聚醚基團R^PFPE由下式表示：R_f¹-O-R_f²-(R_f³)_q-，其中R_f¹表示全氟烷基基團，R_f²表示C₁-C₄全氟亞烷基氧基基團或它們的混合，R_f³表示全氟化的亞烷基基團，并且q為0至1。

7.根據權利要求6所述的含氟化合物氨基甲酸酯，其中R_f¹為包含一種或多種全氟化的重復單元的一價全氟烷基基團，所述一種或多種全氟化的重復單元選自F-C_nF_2n-、F-(CF(Z)-、F-(CF(Z)C_nF_2n-、F-C_nF2_nCF(Z)-、F-CF₂CF(Z)-、以及它們的組合，其中n為1至4，并且Z為全氟烷基基團或全氟烷氧基基團。

8.根據權利要求1所述的含氟化合物氨基甲酸酯，其中所述全氟氧亞烷基基團選自下列中的一種或多種：-(CF₂-CF₂-O)_r-、-(CF(CF₃)-CF₂-O)_s-、-(CF₂CF₂-O)_r-(CF₂O)_t-、-(CF₂CF₂CF₂CF₂-O)_u和-(CF₂-CF₂-O)_r-(CF(CF₃)-CF₂-O)_s-，其中r、s、t和u中的每一個各自為1至50的整數。