[發明專利]透明氧化物膜形成用濺射靶及其制造方法有效
| 申請號： | 201380041837.4 | 申請日： | 2013-08-09 |
| 公開（公告）號： | CN104540976B | 公開（公告）日： | 2017-02-22 |
| 發明（設計）人： | 齋藤淳;張守斌;山口剛;近藤佑一 | 申請（專利權）人： | 三菱綜合材料株式會社 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34;C04B35/16;C04B35/453;G11B7/26 |
| 代理公司： | 北京德琦知識產權代理有限公司11018 | 代理人： | 康泉,王珍仙 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 透明 氧化物 形成 濺射 及其 制造 方法 | ||
【權利要求書】：
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