[發(fā)明專利]空氣軸承裝置及涂布裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201380041409.1
• 申請日: 2013-06-21
• 公開（公告）號: CN104583618A
• 公開（公告）日: 2015-04-29
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 池田俊之;上田智士
• 申請（專利權(quán)）人: 奧依列斯工業(yè)株式會社
• 主分類號: F16C32/06
• 分類號: F16C32/06;B05C5/02;H01L21/027
• 代理公司: 北京信慧永光知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11290
• 代理人: 周善來;李雪春

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及空氣軸承裝置及具備該空氣軸承裝置的涂布裝置，更具體而言，本發(fā)明涉及能控制噴出的氣體的氣流的空氣軸承裝置及具備該空氣軸承裝置的涂布裝置。

背景技術(shù)

以往以來，在液晶面板或半導(dǎo)體元件等的制造工序中，使用將抗蝕液等涂布液涂布于玻璃基板或半導(dǎo)體晶片等薄板狀的被涂布物上的涂布裝置，并且在該涂布裝置中利用空氣軸承裝置。

例如，專利文獻(xiàn)1所公開的涂布裝置具備：噴嘴，涂布涂布液；長方體狀的平臺，放置被涂布物；以及門型架，在橫穿平臺的短邊方向的狀態(tài)下安裝有噴嘴，構(gòu)成門型架的保持構(gòu)件通過空氣軸承以非接觸的方式被平臺支承。此外，要被涂布涂布液的被涂布物，利用真空吸附固定在平臺上。在所述構(gòu)成的涂布裝置中，通過使門型架相對于固定在平臺上的被涂布物相對移動，使噴嘴進(jìn)行掃描，并且從噴嘴噴出涂布液并將其涂布于被涂布物的表面。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本專利公開公報特開2008－149238號

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題

然而，近年來伴隨著要求產(chǎn)品小型化的需求，期望使液晶面板的厚度變薄(薄型化)、使半導(dǎo)體元件微細(xì)化。不過，在以往的空氣軸承裝置中用于使目標(biāo)上浮而噴出的氣體，在現(xiàn)階段的產(chǎn)品規(guī)格的制造條件下的使用條件雖然不會成為問題，但卻存在無法應(yīng)對要求產(chǎn)品進(jìn)一步小型化的需求的問題。此外，對于用使用了以往的空氣軸承裝置的涂布裝置能確保的涂膜的厚度精度及平坦精度而言，可以預(yù)料到難以實(shí)現(xiàn)使涂膜進(jìn)一步變薄及涂膜的進(jìn)一步平坦化，并且應(yīng)對要求產(chǎn)品的小型化的需求也很困難。具體而言，現(xiàn)有技術(shù)存在下述問題：由于從空氣軸承裝置噴出的氣體對涂布液的影響，所以無法獲得對于涂膜厚度所期望的精度，并且無法實(shí)現(xiàn)涂膜的厚度精度及平坦精度。

本發(fā)明是鑒于所述的問題而做出的發(fā)明。即，本發(fā)明的目的在于提供一種能提高涂膜的厚度精度及平坦精度的空氣軸承裝置、以及具備該空氣軸承裝置的涂布裝置。

解決技術(shù)問題的技術(shù)方案

為了解決所述的問題并達(dá)成目的，本發(fā)明的空氣軸承裝置的第一方式，其包括襯墊部，所述襯墊部利用通過噴出氣體所產(chǎn)生的上浮力而上浮，所述襯墊部具有：軸承面，設(shè)置有用于噴出氣體的噴出口；以及氣流控制機(jī)構(gòu)，控制從所述噴出口噴出的氣體的流動方向。

此外，按照本發(fā)明的空氣軸承裝置的第二方式，其是所述第一方式的空氣軸承裝置，其中，所述氣流控制機(jī)構(gòu)具有排氣溝，所述排氣溝配置在所述軸承面上，以部分或完全包圍所述噴出口的方式不連續(xù)或連續(xù)地延伸設(shè)置。

此外，按照本發(fā)明的空氣軸承裝置的第三實(shí)施方式，其是所述第二方式的空氣軸承裝置，其中，所述氣流控制機(jī)構(gòu)具有排氣貫通路，所述排氣貫通路與所述排氣溝連通，并且貫通所述襯墊部。

按照本發(fā)明的空氣軸承裝置的第四實(shí)施方式，其是所述第二方式的空氣軸承裝置或第三方式的空氣軸承裝置，其中，所述排氣溝在俯視所述軸承面時為圓環(huán)狀。

此外，為了解決所述的問題并達(dá)成目的，本發(fā)明的涂布裝置的第一方式，其包括：涂布機(jī)構(gòu)，用于將涂布液涂布到被涂布構(gòu)件上；放置物體構(gòu)件，具有涂布區(qū)域，當(dāng)通過所述涂布機(jī)構(gòu)涂布涂布液時，所述被涂布構(gòu)件位于所述涂布區(qū)域；空氣軸承裝置，噴出用于使所述涂布機(jī)構(gòu)從所述放置物體構(gòu)件上浮并離開規(guī)定距離的氣體；以及氣流控制機(jī)構(gòu)，控制從所述空氣軸承裝置噴出的氣體的流動方向，并防止所述氣體進(jìn)入所述涂布區(qū)域。

此外，按照本發(fā)明的涂布裝置的第二方式，其是所述第一方式的涂布裝置，其中，所述氣流控制機(jī)構(gòu)是排氣路徑，所述排氣路徑設(shè)置于所述空氣軸承裝置及所述放置物體構(gòu)件中的至少一方，并且用于排出從所述空氣軸承裝置噴出的氣體。

此外，按照本發(fā)明的涂布裝置的第三方式，其是所述第二方式的涂布裝置，其中，用于該涂布裝置的所述空氣軸承裝置包括噴出所述氣體的噴出口，所述排氣路徑具有排氣溝，所述排氣溝以部分或完全包圍所述噴出口的方式不連續(xù)或連續(xù)地延伸設(shè)置。

此外，按照本發(fā)明的涂布裝置的第四方式，其是所述第二方式的涂布裝置或第三方式的涂布裝置，其中，所述排氣路徑具有排氣貫通路，所述排氣貫通路貫通所述空氣軸承裝置及所述放置物體構(gòu)件中的至少一方。

此外，按照本發(fā)明的涂布裝置的第五方式，其是所述第四方式的涂布裝置，其中，所述排氣溝與所述排氣貫通路連通。

此外，按照本發(fā)明的涂布裝置的第六方式，其是所述第二方式的涂布裝置～第四方式的涂布裝置中的任一涂布裝置，其中，所述排氣路徑與抽吸機(jī)構(gòu)連接，所述抽吸機(jī)構(gòu)能對所述排氣路徑提供負(fù)壓。